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题名一种低横向效应的压阻式加速度传感器设计
被引量：4
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作者
赵思晗
石云波
赵永祺
孙亚楠
任建军
李飞
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机构
中北大学电子测试技术重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第8期577-582,共6页
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基金
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(51705477)
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文摘
为了提高传感器的测试精度、抑制传统传感器的横向效应问题,通过改变压阻排布方式设计了一种低横向效应的压阻式加速度传感器。该传感器采用8电阻十字梁结构,电阻全部对称排布在应力变化的线性区,使传感器在满足高灵敏度的同时消除了横向效应。通过有限元仿真分析得出该传感器的灵敏度为0.297 4μV/g,横向灵敏度为零,对封装后的传感器进行了Hopkinson杆冲击测试,横向灵敏度只占工作轴向灵敏度的1.1%,远小于相同结构尺寸下传统四电阻传感器的20.7%,而工作轴向灵敏度基本相同。实验表明,该传感器具有较高的工作轴向灵敏度和极低的横向灵敏度。
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关键词
压阻式加速度传感器
横向效应
灵敏度
压阻排布
有限元仿真
HOPKINSON杆
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Keywords
piezoresistive acceleration sensor
transverse effect
sensitivity
arrangement of thepiezoresistor
finite element simulation
Hoplinson rod
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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