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小形变变形镜的设计及其在低像差脉冲压缩光栅中的应用 被引量：2
1
作者 陈新荣 李朝明 +2 位作者 王丹 韦晓茹 吴建宏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期2993-2999,共7页
考虑激光脉冲啁啾放大与压缩技术要求脉冲压缩光栅有较低的像差,设计并制作了一个小形变变形镜来补偿大口径光栅基板加工残余的亚微米级静态像差对光栅波像差的影响。该变形镜有效口径为80mm、厚度为5mm,包含19个分立式压电促动器。采... 考虑激光脉冲啁啾放大与压缩技术要求脉冲压缩光栅有较低的像差,设计并制作了一个小形变变形镜来补偿大口径光栅基板加工残余的亚微米级静态像差对光栅波像差的影响。该变形镜有效口径为80mm、厚度为5mm,包含19个分立式压电促动器。采用干涉仪测量得到各个促动器的响应函数,构建了变形镜的刚度矩阵;采用最小二乘法求解出获得目标面形时各个促动器上所需施加的控制电压;通过整体优化和局部优化的结合,使变形镜的目标面形得到了有效控制。应用该变形镜构建了主动式全息光学记录系统,并选用具有较大像差的基板开展了光栅像差补偿实验。实验显示,对残余像差为~0.93λ的基板,采用变形镜后制作出了残余波面PV可达0.14λ（@633nm）的脉冲压缩光栅,验证了小形变变形镜在光栅基底像差补偿上的有效性。 展开更多
关键词 变形镜 全息光栅 脉冲压缩光栅 压电促动器 响应函数 像差补偿
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挠性接头角刚度静态测量方法研究 被引量：1
2
作者 黄永超 谭小群 +2 位作者 张晓宇 朱力敏 王战玺 《河北科技大学学报》 CAS 2016年第5期423-430,共8页
挠性接头角刚度的测量精度直接关系到陀螺仪的控制精度和灵敏度,但传统方法存在较多问题。根据挠性接头角刚度静态测量原理,基于不同的加载方式提出2种角刚度静态测量方法,即机械式加载角刚度测量和压电式加载角刚度测量。搭建以电动倾... 挠性接头角刚度的测量精度直接关系到陀螺仪的控制精度和灵敏度,但传统方法存在较多问题。根据挠性接头角刚度静态测量原理,基于不同的加载方式提出2种角刚度静态测量方法,即机械式加载角刚度测量和压电式加载角刚度测量。搭建以电动倾斜台为分度加载驱动的机械式挠性接头角刚度测量系统,进行挠性接头角刚度测试试验,得出挠性接头角刚度数值。针对机械式加载测量方法中测试结果不稳定的问题,设计利用压电促动器的静态加载机构,提出了一种利用压电促动器测量挠性接头角刚度的方法。使用ANSYS Workbench对压电加载机构位移输出进行仿真,位移输出满足挠性接头角刚度静态测试加载要求,验证了压电式静态测量方法理论的可行性。 展开更多
关键词 精密仪器制造 挠性接头 压电促动器 角刚度 静态测试 放大机构
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展开式拼接望远镜粗共焦共相调整系统设计 被引量：1
3
作者 齐荔荔 王刚 +1 位作者 武国梁 王磊 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期52-58,66,共8页
为实现展开式拼接望远镜粗共焦共位相的调整,本文采用三块子镜拼接的方式进行主镜面形的调整。首先由步进电机和直线电机实现宏动范围(微米量级)内动态子镜的展开,然后由压电促动器进行微动范围(纳米量级)的调整。由三组压电促动器构成... 为实现展开式拼接望远镜粗共焦共位相的调整,本文采用三块子镜拼接的方式进行主镜面形的调整。首先由步进电机和直线电机实现宏动范围(微米量级)内动态子镜的展开,然后由压电促动器进行微动范围(纳米量级)的调整。由三组压电促动器构成的三自由度调整平台可实现对子镜倾斜误差和活塞误差的精密调整。经试验验证,三自由度调整平台对反射镜调整后的误差小于0.5″;利用ZYGO干涉仪对三子镜光学系统进行共焦检测,测试结果显示三块子镜达到了共焦调整的目的。拼接式望远镜粗共焦共位相的调整为进一步面形误差补偿,最终实现精共焦共位相提供了一定的技术基础。 展开更多
关键词 展开式拼接望远镜 粗共焦共位相 压电促动器 三自由度平台
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压电式快刀加工微透镜阵列的前馈控制算法研究
4
作者 刘艺 王波 刘广润 《航空精密制造技术》 2019年第5期12-15,42,共5页
根据压电陶瓷一般控制方法,针对微结构阵列加工中所面临的周期性驱动信号,提出了差值补偿法和多项式校正法两种修正非线性输出的前馈算法,并在压电式快刀装置上进行加工实验,结果表明采用多项式校正法的开环前馈控制算法可将输出位移的... 根据压电陶瓷一般控制方法,针对微结构阵列加工中所面临的周期性驱动信号,提出了差值补偿法和多项式校正法两种修正非线性输出的前馈算法,并在压电式快刀装置上进行加工实验,结果表明采用多项式校正法的开环前馈控制算法可将输出位移的最大误差由6.455%降低至1.742%,可有效提高微结构阵列加工精度。 展开更多
关键词 快刀伺服 压电促动器 非线性校正 微透镜阵列
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基于压电陶瓷驱动的小力值测量装置设计
5
作者 刘永录 秦海峰 +1 位作者 田峰 王磊 《计测技术》 2008年第4期25-27,共3页
设计了一种新的小力值测量装置,该装置使用了压电陶瓷促动器、力传感器、电子天平和计算机控制。用PID控制法进行闭环控制试验研究。达到了较高的控制精度。
关键词 压电促动器 小力值 力测量装置 PID
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压电促动器的研制及其减振效果 被引量：1
6
作者 姚晓成 蒋春燕 +1 位作者 赵程 曾涛 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期89-93,共5页
基于压电叠堆的结构特征,设计并研制了压电促动器,确定了压电促动器的最佳预紧力;将该预紧力下的压电促动器与惯性质量块连接组成惯性式压电促动器,研究了其减振效果。结果表明:压电促动器的最佳预紧力为225 N,该预紧力下的最大输出位移... 基于压电叠堆的结构特征,设计并研制了压电促动器,确定了压电促动器的最佳预紧力;将该预紧力下的压电促动器与惯性质量块连接组成惯性式压电促动器,研究了其减振效果。结果表明:压电促动器的最佳预紧力为225 N,该预紧力下的最大输出位移为10.35μm;在压电促动器最大输出位移为10.35μm、惯性质量块质量为130 g的减振试验装置中,振动频率为50,75,100 Hz时,惯性式压电促动器均具有良好的减振效果。 展开更多
关键词 压电叠堆 惯性式压电促动器 预紧力 减振
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基于压电陶瓷促动器的连续镜面变形镜研制进展 被引量：15
7
作者 林旭东 刘欣悦 +2 位作者 王建立 王亮 卫沛锋 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2014年第9期27-36,共10页
为了开展自适应光学技术研究，研制了一系列的基于压电陶瓷促动器的连续镜面变形镜，促动器控制单元数分别为21、97、137和961。利用变形镜作为自适应光学波前校正器，进行了多个室内、室外的自适应光学校正实验，取得了很好的实验效果... 为了开展自适应光学技术研究，研制了一系列的基于压电陶瓷促动器的连续镜面变形镜，促动器控制单元数分别为21、97、137和961。利用变形镜作为自适应光学波前校正器，进行了多个室内、室外的自适应光学校正实验，取得了很好的实验效果，其中137单元变形镜在1．23m望远镜上面的自适应光学系统中取得了对O．2”双星的校正效果，在700～900nm波段接近望远镜的衍射极限。介绍了变形镜的基本结构，各变形镜的主要参数测试及关键性能指标，列举了各变形镜在自适应光学系统中的应用情况。最后对变形镜的研制进展及应用进行了展望。 展开更多
关键词 自适应光学 学光学设计 变形镜 压电陶瓷促动器 连续镜面 波前校正器
原文传递
新颖的压电陶瓷显示器 被引量：2
8
作者 虞云 《今日电子》 2003年第8期5-6,共2页
关键词 压电陶瓷显示器 发光原理 压电微促动器 面板拼接结构 视角 应用
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