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碲和镁掺杂的新型GaAs隧道结的MBE生长与器件特性
被引量:
1
1
作者
甘兴源
郑新和
+2 位作者
吴渊渊
王海啸
王乃明
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2014年第5期472-478,共7页
本文采用分子束外延(MBE)的生长方法,研究了单质碲(Te)和单质镁(Mg)分别作为n型和p型掺杂剂时在III-V族半导体GaAs中的掺杂行为,并且实现了以Te和Mg为掺杂剂的新型GaAs隧道结的生长.通过对生长温度、As4与Ga束流强度V/III比和掺杂剂束...
本文采用分子束外延(MBE)的生长方法,研究了单质碲(Te)和单质镁(Mg)分别作为n型和p型掺杂剂时在III-V族半导体GaAs中的掺杂行为,并且实现了以Te和Mg为掺杂剂的新型GaAs隧道结的生长.通过对生长温度、As4与Ga束流强度V/III比和掺杂剂束流强度的优化调节,获得了载流子迁移率较高且晶体质量良好的重掺杂的GaAs样品;在此基础上生长的新型n-GaAs(Te)/p-GaAs(Mg)隧道结的峰值电流密度高达21 A/cm2.
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关键词
单质
碲
单质
镁
砷化镓
分子束外延
隧道结
原文传递
题名
碲和镁掺杂的新型GaAs隧道结的MBE生长与器件特性
被引量:
1
1
作者
甘兴源
郑新和
吴渊渊
王海啸
王乃明
机构
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
中国科学院大学
出处
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2014年第5期472-478,共7页
基金
国家自然科学基金(批准号:61274134)
苏州市国际合作项目(编号:SH201215)资助项目
文摘
本文采用分子束外延(MBE)的生长方法,研究了单质碲(Te)和单质镁(Mg)分别作为n型和p型掺杂剂时在III-V族半导体GaAs中的掺杂行为,并且实现了以Te和Mg为掺杂剂的新型GaAs隧道结的生长.通过对生长温度、As4与Ga束流强度V/III比和掺杂剂束流强度的优化调节,获得了载流子迁移率较高且晶体质量良好的重掺杂的GaAs样品;在此基础上生长的新型n-GaAs(Te)/p-GaAs(Mg)隧道结的峰值电流密度高达21 A/cm2.
关键词
单质
碲
单质
镁
砷化镓
分子束外延
隧道结
Keywords
Te, Mg, GaAs, molecular beam epitaxy, tunnel junction
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
碲和镁掺杂的新型GaAs隧道结的MBE生长与器件特性
甘兴源
郑新和
吴渊渊
王海啸
王乃明
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2014
1
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参考文献
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