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带制冷机的超导磁拉单晶杜瓦的设计与实验研究 被引量：5
1
作者 施锦 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期7-12,共6页
在磁场中生长单晶可以获得大尺寸、高品质的单晶。我国首台带制冷机的超导磁拉单晶杜瓦已由合肥低温电子研究所研制成功。其室温孔径为φ615mm、外径φ1100mm、高430mm。试验结果为：在一个月内LHe日蒸发率为0．32升，制冷机二级冷头温... 在磁场中生长单晶可以获得大尺寸、高品质的单晶。我国首台带制冷机的超导磁拉单晶杜瓦已由合肥低温电子研究所研制成功。其室温孔径为φ615mm、外径φ1100mm、高430mm。试验结果为：在一个月内LHe日蒸发率为0．32升，制冷机二级冷头温度低于14K，一级冷头温度为92K，坩埚区最高中心磁场强度为0．3T。文中主要阐述其设计和实验结果及分析。 展开更多
关键词 真空设备 杜瓦 超导磁体 制冷机 单晶生产
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单晶硅市场概述
2
作者 邓志杰 《中国金属通报》 2000年第15期9-16,共2页
据预测,未来20年内,半导体工业可能超过钢铁工业.年均增长率将高达20%,大大高于其它工业的增长速度,到2000年,全世界半导体工业总产值将达3000亿元。
关键词 单晶硅 半导体工业 基础材料 半导体集成电路产业 单晶生产 晶片加工 芯片 钢铁工业 年均增长率 增长速度
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半绝缘GaAs单晶材料发展现状
3
作者 邓志杰 郑安生 俞斌才 《中国集成电路》 2002年第6期97-100,34,共5页
一、前言 GaAs是目前工艺最成熟、生产量最大的化合物半导体材料。它具有直接跃迁较大带隙、电子迁移率高、易于制成半绝缘单晶(其电阻率可达10~9Ωcm,是理想的微波传输介质,在IC加工中不必另外制作绝缘隔离层,既简化了IC加工过程又降... 一、前言 GaAs是目前工艺最成熟、生产量最大的化合物半导体材料。它具有直接跃迁较大带隙、电子迁移率高、易于制成半绝缘单晶(其电阻率可达10~9Ωcm,是理想的微波传输介质,在IC加工中不必另外制作绝缘隔离层,既简化了IC加工过程又降低了寄生电容从而更有利于提高器件工作速度)等优良性能(表1)。 展开更多
关键词 单晶生产 材料发展现状 半绝缘 晶体生长 位错密度 电阻率 工艺 单晶生长技术 晶片 加工过程
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TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析 被引量：2
4
作者 李留臣 杨润 《电子工业专用设备》 2003年第1期51-56,共6页
随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大... 随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大家参考。 展开更多
关键词 TDR-70A型 单晶炉 维护 人工晶体 故障维修 硅单晶生产设备
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科技兴企 敢为人先——宁晋县电力局单晶硅生产发展纪实
5
作者 温如昌 柳辉强 李素现 《农电管理》 2002年第3期30-31,共2页
关键词 单晶硅生产 宁晋县 科技兴企 单晶硅棒 太阳能级硅 电力局 半导体 科技创新 太阳能电站 中子嬗变掺杂
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主副并举 企业腾飞
6
作者 温如昌 柳辉强 李素现 《农电管理》 2000年第7期36-37,共2页
关键词 发展思路 经济效益 单晶硅生产 电力系统 创办高科技产业 宁晋县 国民经济增长 发展机遇 中子嬗变掺杂 农电系统
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单晶硅棒在线晶线测量
7
作者 陈世斌 《太阳能》 2017年第6期27-28,共2页
单晶炉非接触式硅棒晶线的测量过程需始终在高温负压的环境中进行,针对此种现象,本文提供了一种单晶炉非接触式硅棒晶线测量方法,该方法可检测出硅棒在高温负压的环境中进行生长时是否存在晶线。
关键词 单晶硅生产 晶线 测量
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行业综述
8
《中国金属通报》 2000年第31期7-12,共6页
概述我公司是我国于六十年代中后期建成的半导体硅材料骨干企业,也是我国最早从事硅材料研制和生产的企业。从多晶硅原料的生产到单晶硅生产的制备和单晶硅切割片、研磨片、抛光片的加工整个系统配套齐全,工艺技术水平高,设备力量强。
关键词 单晶硅生产 国内市场 工艺技术水平 系统配套 市场份额 骨干企业 技术改造 经济效益 国际市场 公司
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基于ExtendSim的单晶硅生产线仿真研究
9
作者 杨菲菲 吕智林 《装备制造技术》 2014年第9期29-35,共7页
针对单晶硅生产线生产工艺和生产工序之间的复杂性问题,研究了离散事件仿真方法,构建了单晶硅生产线仿真模型的评价分析指标体系,采用ECRS原则对某单晶硅生产线进行了无删减的生产简化,利用ExtendSim软件,采用层级仿真建模法,对该单晶... 针对单晶硅生产线生产工艺和生产工序之间的复杂性问题,研究了离散事件仿真方法,构建了单晶硅生产线仿真模型的评价分析指标体系,采用ECRS原则对某单晶硅生产线进行了无删减的生产简化,利用ExtendSim软件,采用层级仿真建模法,对该单晶硅生产线进行了仿真。仿真结果表明该单晶硅生产线仿真是符合现行生产方式的,完整全面地反映了现实生产情况,所建立的指标体系对仿真结果的评价分析是可信的,通过指标体系分析,发现了该单晶硅生产线存在的问题。 展开更多
关键词 ExtendSim 单晶硅生产线 仿真模型
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新闻摘要
10
《电子元器件应用》 2004年第2期J003-J004,共2页
我国首条200mm硅单晶抛光片生产线通过验收我国首条可满足0.25μm线宽IC需求的200mm(8英寸)硅单晶抛光片生产线——硅单晶抛光片高技术产业化示范工程日前通过整体验收。业内人士认为,200mm硅单晶抛光片示范工程项目,可在一定程度上满... 我国首条200mm硅单晶抛光片生产线通过验收我国首条可满足0.25μm线宽IC需求的200mm(8英寸)硅单晶抛光片生产线——硅单晶抛光片高技术产业化示范工程日前通过整体验收。业内人士认为,200mm硅单晶抛光片示范工程项目,可在一定程度上满足中国半导体器件市场的需求,促进中国深亚微米集成电路的技术进步,这是中国大直径硅单晶工程化技术开发和实现工业经济规模生产的有益尝试。 展开更多
关键词 中国 硅单晶抛光片生产线 工业经济规模 印刷验证系统 微电子
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