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题名基于协调同步控制的MEMS微运动测量
被引量：4
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作者
谢勇君
史铁林
刘世元
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机构
暨南大学电气自动化研究所
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
武汉光电国家实验室(筹)光电材料与微纳制造研究部
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出处
《测控技术》
CSCD
北大核心
2010年第1期35-38,共4页
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基金
国家自然科学基金(50775090)
新世纪优秀人才支持计划(NCET-06-0639)
+2 种基金
广东省自然科学基金博士研究启动项目(9451063201002281)
广东高校优秀青年创新人才培育项目(LYM08019)
暨南大学青年基金项目(51208027)
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文摘
为协调有效地利用频闪成像、显微视觉和相移干涉技术实现微机电系统(MEMS,micro-electro-me-chanical systems)微运动的可靠测量,提出了一种改进的协调同步控制方法,该方法通过2块5 MHz频率的任意波形发生卡实现激光二极管(LD,laser diode)脉冲信号和MEMS激励信号的同频率相对延时,最小延时增量可达0.3 ns,最小脉冲宽度可达10 ns。基于该方法构建的测试系统可实现MEMS的离面(out-of-plane)和面内(in-plane)微运动的自动测量。通过对硅微悬臂梁离面振动以及硅微谐振器阵列面内振动的实验测量验证了新协调同步控制方法的有效性和实用性,其中离面微运动测量重复性误差小于10 nm,面内微运动测量重复性误差小于25 nm。
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关键词
MEMS
协调同步控制
离面微运动
面内微运动
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Keywords
MEMS
harmonious-synchronous-control
out-of-plane micro-motions
in-plane micro-motions
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分类号
TH741.8
[机械工程—光学工程]
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题名速度-张力型三电机协调同步控制平台研制
被引量：1
- 2
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作者
李景
李慧
刘星桥
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机构
淮阴工学院
江苏大学
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出处
《微特电机》
北大核心
2017年第9期5-11,共7页
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基金
江苏高校优势学科建设工程资助项目(PAPD
6-2011)
+4 种基金
国家自然科学基金资助项目(60874014
51273154)
江苏省2013年度普通高校研究生科研创新计划项目(CXLX13_669)
江苏省科技支撑计划项目(BE2013402)
淮安市农业科技指导性项目(HANZ2014007)
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文摘
为了改进传统的基于PLC总线控制的速度-张力型三电机同步测控平台,进一步提高数据采集以及系统控制的速度和精度,提出了基于多微处理器的速度-张力型三电机协调同步控制平台设计方案,复杂可编程逻辑器件(CPLD)、数据信号处理器(DSP)以及单片机(MCU)相结合为平台服务。利用CPLD的并行特性实现三串口并发同步控制,提高控制系统的快速性和同步性;自主研发了基于状态机的全数字低通滤波模块,测试效果良好,为系统减轻了硬件负担;利用DSP的快速高效的数据处理能力实现复杂的控制算法。仿真和实验表明:控制平台系统稳定,在同等波特率下控制实时性比传统的PLC总线控制实验平台速度提高了3倍多;在同一种控制算法下,调节时间比传统的PLC总线控制平台快0.53 s,系统超调量是传统PLC总线控制平台超调量的13.53%,跟踪最大误差相比传统的PLC总线控制平台减少了60.53%。
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关键词
多微处理器
协调同步控制
超调量
调节时间
实时性
三电机
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Keywords
multi-microprocessor
coordinate synchronous control
overshoot
real-time
regulation time
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分类号
TM343
[电气工程—电机]
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