半导体装备工程化批产脉动生产线技术应用与研究 被引量：2

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作者 谢于柳 何远湘 +3 位作者 赵瓛 刘洪文 黄升 任哲 《电子工业专用设备》 2023年第4期11-13,共3页

国产半导体装备在国家政策及国内市场的双重推动下迎来了新发展机遇,未来设备交货能力将成为半导体工艺设备厂商竞争的重点,为进一步提高设备出货及市场交货能力,加强企业竞争力,通过脉动生产线技术应用,使得国产半导体装备工程化批产... 国产半导体装备在国家政策及国内市场的双重推动下迎来了新发展机遇,未来设备交货能力将成为半导体工艺设备厂商竞争的重点,为进一步提高设备出货及市场交货能力,加强企业竞争力,通过脉动生产线技术应用,使得国产半导体装备工程化批产能力建设进一步得到加强,目前该生产线年产能180台套装备,其中200 mm(8英寸)立式炉、150 mm(6英寸)SiC外延设备等半导体装备已实现研转批工程化批产生产。该技术在半导体设备制造过程中具有重要的应用价值,可以有效提高生产效率和产品质量。然而,目前该技术在实际应用中还存在一些问题,需要进一步研究和改进。希望本文的研究成果对相关领域的研究者和实践者有所启示和借鉴。 展开更多

关键词 半导体装备 工程化技术 脉动生产线技术

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系统工程方法及其在先进半导体装备领域的应用 被引量：2

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作者 殳峰 许智磊 +1 位作者 何乐 杨晓峰 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2022年第9期427-437,共11页

系统工程方法在国内外以航空航天、国防科技和船舶工程等为代表的复杂设备系统的研发中发挥了重要作用。针对以光刻机为代表的先进半导体装备的研发,发展和提升以正向设计引领、以系统工程方法为指导的自主创新和设计制造一体化能力显... 系统工程方法在国内外以航空航天、国防科技和船舶工程等为代表的复杂设备系统的研发中发挥了重要作用。针对以光刻机为代表的先进半导体装备的研发,发展和提升以正向设计引领、以系统工程方法为指导的自主创新和设计制造一体化能力显得尤其重要。从系统工程的起源着手,介绍了系统工程的常见方法,并以半导体装备领域的应用为背景重点介绍了系统工程的工具链和基于模型的系统工程(MBSE)的部分关键技术。最后对系统工程方法,特别是对MBSE方法在我国半导体装备行业中的应用前景作了展望。 展开更多

关键词 光学设计与制造 系统工程 基于模型的系统工程 半导体装备 信息物理系统

原文传递

国际半导体装备产业主要发展模式及对我国的启示 被引量：2

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作者 张丞廷 金飞 刘恩廷 《未来与发展》 2014年第11期15-18,共4页

半导体装备产业具有技术更新周期很短,市场垄断程度极高,客户关系极其微妙等特征,由此形成了比较独特的发展模式,大致可分为水平整合、生产外包、策略联盟等三种类型。由于行业龙头企业在各自专业装备领域地位牢固,并与既有客户合作关... 半导体装备产业具有技术更新周期很短,市场垄断程度极高,客户关系极其微妙等特征,由此形成了比较独特的发展模式,大致可分为水平整合、生产外包、策略联盟等三种类型。由于行业龙头企业在各自专业装备领域地位牢固,并与既有客户合作关系密切,因此建议我国发展半导体装备制造产业应主要采取策略联盟战略,推动国内晶圆厂、装备商及相关产业共同合作研发装备技术,进一步提升市场占有率。 展开更多

关键词 半导体装备 发展模式 启示

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用工匠精神打造半导体装备

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作者 李兴彩 《企业文化》 2021年第5期43-44,共2页

在合肥的西面,沿着创新大道行至“无人处”,就是国产PCB光刻机公司芯碁微装的新生产基地。初春暖阳斜照人窗,在厂房内辟出的简易办公区,公司董事长程卓接受了记者的专访。“压力是大,最难的时候账上只剩下1万块钱。世上没有救世主,我们... 在合肥的西面,沿着创新大道行至“无人处”,就是国产PCB光刻机公司芯碁微装的新生产基地。初春暖阳斜照人窗,在厂房内辟出的简易办公区,公司董事长程卓接受了记者的专访。“压力是大,最难的时候账上只剩下1万块钱。世上没有救世主,我们从来就没有想过靠政策、靠政府……” 展开更多

关键词 工匠精神 光刻机 办公区 救世主 半导体装备 董事长

原文传递

一种基于K连通的AMC无线监测系统

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作者 兰少峰 陈雯柏 +2 位作者 郝翠 刘玉伟 李卫 《兵器装备工程学报》 CAS 北大核心 2020年第10期222-227,共6页

针对目前半导体装备生产环境中的悬浮分子级污染物无线监测系统网络可靠性差、部署成本高,设计了一种基于K连通的AMC无线监测系统。基于ZigBee网络,路由层应用了链路优化的K连通算法,构建了一拖多式的终端数据采集节点、低功耗路由节点... 针对目前半导体装备生产环境中的悬浮分子级污染物无线监测系统网络可靠性差、部署成本高,设计了一种基于K连通的AMC无线监测系统。基于ZigBee网络,路由层应用了链路优化的K连通算法,构建了一拖多式的终端数据采集节点、低功耗路由节点和数据汇总分析平台。实验结果表明:该系统可以对AMC数据进行有效采集、存储和分析,优化的K连通网络,降低了网络丢包率和路由延迟,有助于提高网络的可靠性。该系统符合半导体装备生产环境中AMC的监测需求,网络节点的设计有助于降低系统部署成本,网络性能较优。 展开更多

关键词 K连通 AMC监测 半导体装备 传感器节点

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Mini/Micro LED巨量转移关键技术与装备研究现状 被引量：1

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作者 汤晖 廖智燊 +3 位作者 魏玉章 林志杭 董志强 张晓辉 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2023年第5期839-849,1033,共12页

微型半导体发光二极管显示技术(mini/micro light emitting diode,简称Mini/Micro LED)是一种基于微型LED芯片的自发光显示技术,相较于液晶显示技术(liquid crystal display,简称LCD)和有机发光二极管显示技术(organic light‑emitting d... 微型半导体发光二极管显示技术(mini/micro light emitting diode,简称Mini/Micro LED)是一种基于微型LED芯片的自发光显示技术,相较于液晶显示技术(liquid crystal display,简称LCD)和有机发光二极管显示技术(organic light‑emitting diode,简称OLED),具有显著性能优势,被视为次世代显示技术的发展趋势。由于巨量转移技术与装备的限制,Mini/Micro LED显示设备尚未实现大规模量产。针对此问题,首先,根据现有Mini/Micro LED巨量转移工艺方法的不同工作原理,总结了3种主要工艺方法,即接触式微转印技术、非接触式激光转移技术和自组装转移技术;其次,调研了现有Mini/Micro LED巨量转移工艺方法中涉及到的技术与装备,归纳了其中的通用关键技术,即高速高精对位和视觉检测;然后,针对上述关键技术挑战,围绕Mini/Micro LED新型显示装备若干关键技术与典型设备集成开发介绍了笔者的前期研究工作;最后,讨论了实现Mini/Micro LED大规模量产中存在的问题及发展方向。 展开更多

关键词 微型半导体发光二极管显示技术 巨量转移 显示半导体装备 高速高精对位 振动抑制

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中国半导体装备制造业的创新崛起 被引量：1

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作者 范福全 《管理学家》 2023年第1期4-6,共3页

半导体装备制造业属于资本、技术密集型产业,是集合了半导体材料学、化学、电子电路、计算机、精密机械学、精密光学和流体力学等多个学科的工程,需要多学科专业人才的共同配合才能实现攻关发展。半导体行业的发展情况与国家经济发展息... 半导体装备制造业属于资本、技术密集型产业,是集合了半导体材料学、化学、电子电路、计算机、精密机械学、精密光学和流体力学等多个学科的工程,需要多学科专业人才的共同配合才能实现攻关发展。半导体行业的发展情况与国家经济发展息息相关,从某种程度上讲,国家的半导体装备制造业水平会影响国家的国际地位和竞争力。在半导体产业发展方面,设备、工艺和器件等都是相互影响的。基于此,文章分析了我国半导体装备制造业的发展状况,探索其创新对策,希望能够对提高我国半导体装备制造业水平有所启发。 展开更多

关键词 中国半导体装备 创新 崛起

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半导体装备制造业的税务筹划现状分析

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作者 贺明辉 《商业2.0（经济管理）》 2021年第4期0059-0059,0061,共2页

根据SEMI2020年终预测报告,2020年半导体制造设备的全球销售额创下689亿美元新记录,相比2019年的596亿美元增长 16%,随着全球芯片紧缺以及美国商务部对国内芯片企业的制裁,预计国内半导体装备制造市场将持续保持增长。同时,半导体装备 ... 根据SEMI2020年终预测报告,2020年半导体制造设备的全球销售额创下689亿美元新记录,相比2019年的596亿美元增长 16%,随着全球芯片紧缺以及美国商务部对国内芯片企业的制裁,预计国内半导体装备制造市场将持续保持增长。同时,半导体装备 制造行业近年来迅速发展,企业面临竞争越来越激烈。半导体装备制造企业充足的运营资金和良好的税务筹划是保障企业健康持续发 展的重要条件。因此,本文主要对半导体装备制造业税务筹划现状分析,提出完善固定资产支出筹划、融资费用支出筹划、资产损失 税前扣除、收入成本筹划、研发费用筹划等策略。 展开更多

关键词 半导体装备制造业 税务筹划 策略

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光伏行业把我惊着了!

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作者 孙滢 《中国机电工业》 2022年第11期9-9,共1页

先来看一家上市公司的2022年三季度报告,这家公司叫晶盛机电。报告中说,2022年第三季度,该公司营业收入30.93亿元,而归母净利润竞高达8.02亿元!看到这两个数字,可能很多人会很好奇,这家公司是做什么的,利润率这么高?其实,说出来,很多机... 先来看一家上市公司的2022年三季度报告,这家公司叫晶盛机电。报告中说,2022年第三季度,该公司营业收入30.93亿元,而归母净利润竞高达8.02亿元!看到这两个数字,可能很多人会很好奇,这家公司是做什么的,利润率这么高?其实,说出来,很多机械行业的企业可能不一定会想到,如果从收入占比上看,它在很大程度上可以说是做装备的!一是半导体装备,二是光伏装备,在目前阶段,它90%左右的装备是光伏装备。知道了这一点,很多机械企业可能会叹口气、摊开手:难怪嘛!但光伏装备离我们有点远,我们做不了! 展开更多

关键词 上市公司 净利润 光伏行业 营业收入 利润率 机械行业 半导体装备 第三季度

原文传递

集成电路赋能绍“芯”版图

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《光源与照明》 2020年第6期2-2,共1页

近日,浙江最成中日韩高端半导体装备材料产业园在绍兴集成电路产业园正式开工。2018年,绍兴全面落实《培育发展新兴产业三年行动计划》,加快做大育强新兴产业集群。在“两业经”引领下,绍兴抢抓新一轮科技革命和产业变革机遇,前瞻布局,... 近日,浙江最成中日韩高端半导体装备材料产业园在绍兴集成电路产业园正式开工。2018年,绍兴全面落实《培育发展新兴产业三年行动计划》,加快做大育强新兴产业集群。在“两业经”引领下,绍兴抢抓新一轮科技革命和产业变革机遇,前瞻布局,高规格、高起点、高标准发展“芯”产业。 展开更多

关键词 产业变革 新兴产业 中日韩 三年行动计划 产业园 集成电路 新一轮科技革命 半导体装备

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一个新的半导体工业标准

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《数字化工》 2003年第7期21-21,共1页

关键词 半导体工业标准 半导体装备和原料国际组织 SEMI 传感器总线

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上海半导体装备产业基地在金桥南区揭牌

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《集成电路应用》 2005年第6期23-23,共1页

上海半导体装备产业基地和上海半导体装备产业发展中心，日前在金桥出口加工区南区举行揭牌仪式。落户金桥南区的中微半导体(上海)有限公司和睿励科学仪器(上海)有限公司同时揭牌。

关键词 上海半导体装备产业基地 金桥南区 中微半导体有限公司 睿励科学仪器有限公司

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