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多磨头数控抛光对大口径离轴抛物面镜中频误差的抑制 被引量：7
1
作者 李智钢 鲍振军 +2 位作者 朱衡 蔡红梅 周衡 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期41-46,共6页
大口径非球面光学元件的面形中频误差对光路中的光斑扩散函数精度以及高能激光的能量散射有着直接的影响,针对该问题,提出一种计算机控制的多磨头组合抛光技术,用于对非球面元件中频误差的有效控制。对半刚性抛光盘抛光过程进行了力学... 大口径非球面光学元件的面形中频误差对光路中的光斑扩散函数精度以及高能激光的能量散射有着直接的影响,针对该问题,提出一种计算机控制的多磨头组合抛光技术,用于对非球面元件中频误差的有效控制。对半刚性抛光盘抛光过程进行了力学有限元分析,并基于Bridging模型对半刚性抛光盘抛光过程进行了理论模拟,对其贴合特性进行了研究分析。实验结果表明:采用多磨头组合抛光的技术能够有效改善大尺寸非球面元件的面形中频误差,加工的两件φ460 mm离轴抛物面元件面形PSD1值相对于之前降低了近70%,达到2.835nm,并且PV小于0.16λ(632.8nm),RMS小于0.02λ。 展开更多
关键词 数控抛光 离轴抛物面 中频误差 半刚性盘 匀滑抛光
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