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题名新型箔式锰铜超高压力传感器
被引量：1
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作者
崔红玲
杨邦朝
杜晓松
周鸿仁
滕林
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机构
电子科技大学电子工程学院电子实验中心
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第F11期464-465,共2页
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基金
“十五”电子预研资助项目（AW030412）
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文摘
为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限，须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层。用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层，代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜，从根本上消除高压旁路效应，提高传感器的测压上限。初步的动态超高压测试结果表明，该传感器所承受的压力为54．55GPa，压阻系数为0．0237GPa，延续时间可达1．6μs。
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关键词
箔式锰铜传感器
AL2O3薄膜
动态高压测试
超高压力传感器
绝缘层
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Keywords
foil manganin sensors,Al2O3 thin film, ultra-high pressure testing
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名箔式锰铜传感器的新进展
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作者
崔红玲
杨邦朝
杜晓松
周鸿仁
滕林
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机构
电子科技大学电子工程学院电子实验中心
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1957-1958,共2页
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基金
"十五"电子预研资助项目(AW030412)
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文摘
箔式锰铜传感器主要应用于动高压的测试中,现有的箔式锰铜传感器采用有机物作为绝缘层,其测压上限为40GPa。而采用绝缘封装层为Al2O3薄膜的箔式传感器,可拓宽其测压上限。动高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为55.32GPa,压阻系数为0.0272,传感器的延续时间可达2.5μm。
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关键词
箔式锰铜传感器
AL2O3薄膜
动态高压测试
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Keywords
foil manganin sensors
Al2O3 thin film
ultra-high pressure testing
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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