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MEMS微构件动态特性测试的激励技术和方法
被引量：
4
1
作者
王晓东
杨洋
+2 位作者
佘东生
王涛
王立鼎
《测试技术学报》
2008年第5期377-386,共10页
在微机电系统(MEMS)微构件动态特性的测试中,激励是基本环节,通过激励使微构件振动,并测量和分析振动响应信号,实现对微构件动态特性的测试.由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高,限制了传统的激励技术和方法在其动态特性测试中的应用...
在微机电系统(MEMS)微构件动态特性的测试中,激励是基本环节,通过激励使微构件振动,并测量和分析振动响应信号,实现对微构件动态特性的测试.由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高,限制了传统的激励技术和方法在其动态特性测试中的应用.目前应用在MEMS微构件动态特性测试中的激励技术和方法,根据实现激励的方式不同,归纳为三类:利用外部场能的激励方法、内部集成激励元件的方法和基于底座激励的方法,具体介绍了声波激励、超声激励、静电激励、磁激励、电热激励、光热激励和压电激励等具体激励方式的原理及其特点,并对各种激励方法的特点进行了比较和分析.
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关键词
微机电系统微构件
动态特性
的
测试
激励方法
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职称材料
高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究
被引量：
6
2
作者
佘东生
王晓东
+1 位作者
张习文
王立鼎
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期2494-2499,共6页
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用...
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果。
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关键词
MEMS
测试
动态特性
的
测试
高温环境
微悬臂梁
激励装置
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职称材料
题名
MEMS微构件动态特性测试的激励技术和方法
被引量：
4
1
作者
王晓东
杨洋
佘东生
王涛
王立鼎
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
出处
《测试技术学报》
2008年第5期377-386,共10页
基金
国家自然科学基金资助项目(50535030)
辽宁省自然科学基金资助项目(20062187)
新世纪优秀人才支持计划资助
文摘
在微机电系统(MEMS)微构件动态特性的测试中,激励是基本环节,通过激励使微构件振动,并测量和分析振动响应信号,实现对微构件动态特性的测试.由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高,限制了传统的激励技术和方法在其动态特性测试中的应用.目前应用在MEMS微构件动态特性测试中的激励技术和方法,根据实现激励的方式不同,归纳为三类:利用外部场能的激励方法、内部集成激励元件的方法和基于底座激励的方法,具体介绍了声波激励、超声激励、静电激励、磁激励、电热激励、光热激励和压电激励等具体激励方式的原理及其特点,并对各种激励方法的特点进行了比较和分析.
关键词
微机电系统微构件
动态特性
的
测试
激励方法
Keywords
MEMS microstructure
dynamic characteristic testing
excitation method
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
TH825 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究
被引量：
6
2
作者
佘东生
王晓东
张习文
王立鼎
机构
辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期2494-2499,共6页
基金
国家自然科学基金重点项目(50535030)
辽宁省自然科学基金(20062187)资助项目
文摘
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果。
关键词
MEMS
测试
动态特性
的
测试
高温环境
微悬臂梁
激励装置
Keywords
MEMS measurement
dynamic testing
high temperature environment
micro-cantilever
excitation device
分类号
TH825 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS微构件动态特性测试的激励技术和方法
王晓东
杨洋
佘东生
王涛
王立鼎
《测试技术学报》
2008
4
下载PDF
职称材料
2
高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究
佘东生
王晓东
张习文
王立鼎
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
6
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职称材料
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