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微机械谐振器动力学模态耦合的多尺度诠释
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作者 周鑫 肖定邦 吴学忠 《微纳电子与智能制造》 2020年第4期5-13,共9页
微纳谐振器与众多物理场的相互作用是被广泛研究的课题。当前,微纳谐振器本身模态之间的相互作用逐渐成为研究热点,通过参数泵浦实现的动力学模态耦合尤其引人关注。以一种嵌套环式微机械谐振器为研究平台,开展了基于静电参数泵浦的动... 微纳谐振器与众多物理场的相互作用是被广泛研究的课题。当前,微纳谐振器本身模态之间的相互作用逐渐成为研究热点,通过参数泵浦实现的动力学模态耦合尤其引人关注。以一种嵌套环式微机械谐振器为研究平台,开展了基于静电参数泵浦的动力学耦合操控研究,并采用多尺度摄动法对动力学耦合过程进行解析和模拟,计算得到了比以往研究更加精细的耦合强度公式,加深了对动力学耦合物理过程的理解。为动力学耦合的下一步应用打下了坚实基础。 展开更多
关键词 微机电系统 嵌套环式谐振器 参数泵浦 动力学模态耦合 多尺度摄动法
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