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金属硅化物的应用与发展 被引量：36
1
作者 马勤 阎秉钧 +1 位作者 康沫狂 杨延清 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期10-13,共4页
回顾了金属硅化物在电热元件、高温抗氧化涂层以及集成电路电极薄膜等功能元器件方面的应用、存在的问题和改进的措施。
关键词 金属硅化物 合金化 复合材料 功能硅合物
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