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环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度（英文） 被引量：1
1
作者 熊壮 屈明山 +1 位作者 张照云 杨荷 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第5期351-358,共8页
基于微电子机械系统（MEMS）技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜（AFM）探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效... 基于微电子机械系统（MEMS）技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜（AFM）探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效刚度以及品质因数等关键指标进行综合分析与比较。在此基础上,对上述MEMS探针的力灵敏度进行了评估。结果表明,环形MEMS探针适用于对柔性物体的高精度成像,而I2形MEMS探针则更适合于对大范围区域的高速实时成像。通过对机械结构与检测电路的进一步优化,MEMS探针的力灵敏度有望达到并超越现有悬臂式探针的水平。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 谐振器 力灵敏度 原子力显微镜(AFM)探针 品质因数 谐振频率
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差动石英谐振式力传感器的温度特性及其温度自测 被引量：1
2
作者 尹教建 贾瑞皋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2004年第6期45-47,共3页
推导出了差动石英谐振式力传感器的一种输出表达式,考虑温度的影响进一步得到了温度影响下的传感器输出特性。并找到了一种新的温度自测方法———差动式温度自测法。结果表明:选择较高的泛音次数、合适的作用力方位,能够提高传感器的... 推导出了差动石英谐振式力传感器的一种输出表达式,考虑温度的影响进一步得到了温度影响下的传感器输出特性。并找到了一种新的温度自测方法———差动式温度自测法。结果表明:选择较高的泛音次数、合适的作用力方位,能够提高传感器的测力灵敏度,可使其达到单敏感型传感器的4 1倍;温度是影响传感器输出特性的一个主要因素,温度越高,影响越大,必须对输出特性进行补偿。选择合适的泛音次数、作用力方位能提高温度自测的灵敏度,可使其达到双频温度自测的2 7倍。 展开更多
关键词 石英谐振器 力频特性 力灵敏度温度系数 温度自测 泛音
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石英谐振器力频特性的ANSYS分析及实验对比 被引量：2
3
作者 宁永怀 田文杰 +1 位作者 鄂然 崔媛媛 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期28-30,共3页
利用ANSYS有限元理论模型,对AT切石英晶体受沿x轴方向的对径力作用时,晶片内的应力分布进行了分析计算;通过在不同区域蒸镀电极的方法对石英晶体的力频特性进行了实验检测。结果表明,ANSYS理论计算结果与实验结果近乎一致,最大误差约为4%。
关键词 电子技术 ANSYS分析 石英谐振器 力频灵敏度系数
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薄圆片石英晶体应力分布及谐振器力频实验 被引量：2
4
作者 罗兵 田文杰 邹淑芳 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第8期489-493,共5页
利用ANSYS有限元理论模型分析AT切石英晶体受沿x轴方向的对径力作用时晶片内的应力分布情况,并计算三电极位置处的应力变化比值。测试了三电极谐振器的基频振荡频率,并计算其相应的力频系数。通过比较ANSYS仿真分析的结果和实验所得结果... 利用ANSYS有限元理论模型分析AT切石英晶体受沿x轴方向的对径力作用时晶片内的应力分布情况,并计算三电极位置处的应力变化比值。测试了三电极谐振器的基频振荡频率,并计算其相应的力频系数。通过比较ANSYS仿真分析的结果和实验所得结果,表明ANSYS仿真分析计算结果与实验结果基本一致,从而证明ANSYS仿真分析是可行的。因此,在同一晶体基片上设计谐振器时,可借助有限元分析手段,根据晶片内的应力分布情况,在有限空间范围内初步选择应力变化差异较大的位置设置电极,以此获得力频敏感特性显著的集成式石英晶体谐振器。 展开更多
关键词 石英晶体 ANSYS分析 谐振器 力频灵敏度系数 应力分布
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