期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
新型氮化铝MEMS声压传感器技术
被引量：
3
1
作者
陈丽洁
雷亚辉
+3 位作者
于洋
杨月
朴胜春
龚李佳
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第9期1355-1362,共8页
为了解决水下声学传感器技术领域中一直存在的提高低频响应灵敏度方面的迫切需求,本文利用氮化铝新型氮化铝敏感材料与声传感器设计技术相结合进行了声学传感器设计技术研究。开展了基于MEMS微结构的弯曲振动声敏感模式、力敏特性与压...
为了解决水下声学传感器技术领域中一直存在的提高低频响应灵敏度方面的迫切需求,本文利用氮化铝新型氮化铝敏感材料与声传感器设计技术相结合进行了声学传感器设计技术研究。开展了基于MEMS微结构的弯曲振动声敏感模式、力敏特性与压电敏感特性耦合、电荷信号提取电极设计等相关技术验证研究,完成了氮化铝MEMS声传感器测试芯片的工艺与版图设计及加工与制作。通过样品测试分析,在典型检测电极上分别得到了0.61、1.12、1.64μV/Pa的单电极声压灵敏度和平坦的低频频率响应曲线,验证了基于ALN薄膜、采用弯曲振动模式的MEMS声敏感芯片设计可以实现低频高灵敏度声传感器。
展开更多
关键词
氮化铝薄膜
MEMS传感器
高灵敏度
低频响应
力学
敏感
结构
弯曲振动模式
水听器
灵敏度仿真
下载PDF
职称材料
题名
新型氮化铝MEMS声压传感器技术
被引量：
3
1
作者
陈丽洁
雷亚辉
于洋
杨月
朴胜春
龚李佳
机构
哈尔滨工程大学水声技术重点实验室
中国电子科技集团公司第
哈尔滨工程大学水声工程学院
出处
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第9期1355-1362,共8页
基金
国家重点研发计划(2016YFC1400100).
文摘
为了解决水下声学传感器技术领域中一直存在的提高低频响应灵敏度方面的迫切需求,本文利用氮化铝新型氮化铝敏感材料与声传感器设计技术相结合进行了声学传感器设计技术研究。开展了基于MEMS微结构的弯曲振动声敏感模式、力敏特性与压电敏感特性耦合、电荷信号提取电极设计等相关技术验证研究,完成了氮化铝MEMS声传感器测试芯片的工艺与版图设计及加工与制作。通过样品测试分析,在典型检测电极上分别得到了0.61、1.12、1.64μV/Pa的单电极声压灵敏度和平坦的低频频率响应曲线,验证了基于ALN薄膜、采用弯曲振动模式的MEMS声敏感芯片设计可以实现低频高灵敏度声传感器。
关键词
氮化铝薄膜
MEMS传感器
高灵敏度
低频响应
力学
敏感
结构
弯曲振动模式
水听器
灵敏度仿真
Keywords
ALN film
MEMS sensor
high sensitivity
low frequency response
mechanical sensitive structure
bending vibration mode
hydrophone
sensitivity simulation
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型氮化铝MEMS声压传感器技术
陈丽洁
雷亚辉
于洋
杨月
朴胜春
龚李佳
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
