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Ronchi光栅检测非球面镜系统的设计及实验研究 被引量:1
1
作者 包兴臻 何锋赟 +1 位作者 赵楠 董健 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期57-63,共7页
为指导大口径非球面反射镜的精磨至抛光过程的加工,设计了Ronchi光栅检测系统。采用零位补偿器替代补偿光栅的设计制作,既能用Ronchi法对粗加工过程检测,也能用于干涉仪检测;模拟Ronchi检测过程中条纹形状与对应面型像差的关系,通过判... 为指导大口径非球面反射镜的精磨至抛光过程的加工,设计了Ronchi光栅检测系统。采用零位补偿器替代补偿光栅的设计制作,既能用Ronchi法对粗加工过程检测,也能用于干涉仪检测;模拟Ronchi检测过程中条纹形状与对应面型像差的关系,通过判断条纹形状对加工过程进行指导;针对某600mm口径的双曲面反射镜,设计了Ronchi光栅检测系统、零位补偿系统、成像系统。分析检测系统元件剩余反射对成像结果的影响,并提出相应的解决方案。分析表明,在Ronchi光栅检测光路中,分光棱镜表面5%剩余反射相对0.1%剩余反射,像面暗条纹的照度值增量大于30倍,条纹明暗对比度下降,难以分辨;光栅剩余反射大于3%时条纹中心产生亮斑,亮斑照度与条纹照度值比大于5倍。通过优化系统结构,降低元件表面剩余反射,提高了像面条纹对比度。将Ronchi检测系统用于双曲面镜抛光过程的检测,测得双曲面粗抛光后RMS值为0.042λ,PV值为0.291λ,可有效指导非球面的精磨与粗抛光过程。 展开更多
关键词 Ronchi光栅检测 像差 剩余反射 条纹对比度
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基于Ronchi光栅检测非球面镜系统中的杂光现象分析 被引量:1
2
作者 包兴臻 何锋赟 +2 位作者 赵楠 董健 王尧 《红外》 CAS 2023年第1期1-10,共10页
为指导某600 mm口径的双曲面反射镜的加工,设计了Ronchi光栅检测系统。针对系统检测过程中存在的杂光现象,分析产生该现象的原因,并提出相应的解决方案。结果表明,在光线两次经过光栅的光路结构中,分光棱镜的剩余反射率大于5%时,像面处... 为指导某600 mm口径的双曲面反射镜的加工,设计了Ronchi光栅检测系统。针对系统检测过程中存在的杂光现象,分析产生该现象的原因,并提出相应的解决方案。结果表明,在光线两次经过光栅的光路结构中,分光棱镜的剩余反射率大于5%时,像面处暗条纹的照度增大27倍,条纹明暗对比度下降,难以分辨;随着光栅剩余反射增加,条纹中心产生亮斑现象,条纹无法分辨。条纹面正对分光镜的亮斑区域的背景照度增加40多倍,玻璃面正对分光镜的亮斑区域的背景照度增加80多倍。通过优化系统结构,对分光镜与光栅进行替换与表面处理,有效解决了杂光问题,提高了像面条纹对比度。 展开更多
关键词 Ronchi光栅 分光棱镜 剩余反射 条纹对比度
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双波段宽带减反膜的研究 被引量:4
3
作者 苏现军 徐岩 司俊杰 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期551-552,556,共3页
根据电视/红外双色制导的要求,研制了锗酸盐基底上的双波段宽带减反膜。其膜系设计采用二氧化钛和二氧化硅分别作为高、低折射率膜料的13层膜堆,镀制的膜层满足环境稳定性标准。在0.56-0.75μm波长范围内,双面镀膜后的平均透过率大... 根据电视/红外双色制导的要求,研制了锗酸盐基底上的双波段宽带减反膜。其膜系设计采用二氧化钛和二氧化硅分别作为高、低折射率膜料的13层膜堆,镀制的膜层满足环境稳定性标准。在0.56-0.75μm波长范围内,双面镀膜后的平均透过率大于98%,单面平均剩余反射率不超过0.5%;在3.6~4.8μ波长范围内,双面镀膜后的平均透过率至少可达到85%,单面平均剩余反射率不超过1.5%。 展开更多
关键词 薄膜光学 减反膜 剩余反射 双波段
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激光玻璃与包边玻璃的折射率匹配 被引量:1
4
作者 唐景平 胡丽丽 +2 位作者 孟涛 董擎雷 干福熹 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1573-1578,共6页
从理论上详细探讨了基质激光玻璃与包边玻璃的折射率匹配与剩余反射率的关系,并从实验上验证了折射率匹配越好,吸收系数与包边玻璃厚度的乘积越大,则剩余反射率越低,从而对激光放大器中寄生振荡的抑制越好,增益也就越高。
关键词 激光技术 激光玻璃包边 折射率匹配 剩余反射 增益
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超低剩余反射计的研制
5
作者 曹锋 张敏明 刘德明 《光学仪器》 2006年第2期46-50,共5页
针对光通信器件端面剩余反射率的测量的需要,介绍了剩余反射率的测量原理和实现方案,对超低剩余反射率的测量中的关键技术作了分析说明,按照该方案设计制作出超低剩余反射计,其可测量剩余反射率范围10dB^70dB,测量精度小于1dB,光源稳定... 针对光通信器件端面剩余反射率的测量的需要,介绍了剩余反射率的测量原理和实现方案,对超低剩余反射率的测量中的关键技术作了分析说明,按照该方案设计制作出超低剩余反射计,其可测量剩余反射率范围10dB^70dB,测量精度小于1dB,光源稳定度小于0.003dB/h,光功率测量范围-70dBm^10dBm。 展开更多
关键词 剩余反射 测量 回波损耗
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一种适合于大量制备行波SOA增透膜新技术
6
作者 段子刚 刘德明 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期547-549,共3页
提出了一种适合于批量制备SOA减反膜的实时监控技术。监控系统简单 ,操作方便 ,可以应用于国产镀膜机。由此技术批量制备SOA ,腔面剩余反射均接近 10 -4。
关键词 半导体光放大器 增透膜 剩余反射 适时监控
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剩余反射在激光主动探测中的适用条件分析
7
作者 蒋治国 樊洋 张家昌 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期353-356,共4页
阐述用激光主动探测的原理及实验技术。以红外光学系统为例,运用矩阵光学追迹法对光学系统中各镜片的回波强度、分布及影响因素作定性、定量分析,并用实验加以验证。研究结果表明,回波强度受探测距离、扫描激光光束的入射角等因素影响... 阐述用激光主动探测的原理及实验技术。以红外光学系统为例,运用矩阵光学追迹法对光学系统中各镜片的回波强度、分布及影响因素作定性、定量分析,并用实验加以验证。研究结果表明,回波强度受探测距离、扫描激光光束的入射角等因素影响非常大。例如,在主动扫描装置与被探测观瞄仪器相距约1000m、扫描光束的入射角从0rad增大到0.18rad时,光学系统的前两块透镜表面所产生回波能量与发射脉冲能量之比由理想条件下的28.4%下降到0%。 展开更多
关键词 激光技术 矩阵光学追迹法 剩余反射 实验验证
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红外增透与保护膜技术的研究 被引量:12
8
作者 付秀华 董连和 +1 位作者 付新华 王崇娥 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1162-1164,共3页
采用电子束与离子辅助沉积技术,在氟化镁晶体材料上制备3.5~4.9μm增透与保护膜。经过实验,选取氧化钛与二氧化硅作为薄膜材料,并优化沉积工艺参数,尽可能减少吸收损失,对氟化镁基底实现有效的增透和保护。实验结果表明,镀膜... 采用电子束与离子辅助沉积技术,在氟化镁晶体材料上制备3.5~4.9μm增透与保护膜。经过实验,选取氧化钛与二氧化硅作为薄膜材料,并优化沉积工艺参数,尽可能减少吸收损失,对氟化镁基底实现有效的增透和保护。实验结果表明,镀膜后其单面剩余反射率由未镀膜时的2.5%减少到1.2%,并能承受湿热和雨淋测试。 展开更多
关键词 红外增透膜 保护膜 离子辅助沉积 吸收损失 剩余反射
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低损耗193nm增透膜 被引量:9
9
作者 尚淑珍 邵建达 范正修 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期1946-1950,共5页
计算了适用于193nm增透膜设计与制备的基底与薄膜材料的光学常数,并在此基础上对193nm增透膜进行了设计、制备与性能分析.发现基底材料的吸收损耗对增透膜元件的影响很大,超过一定值时,增透膜元件的设计透过率将达不到理想水平.对单面... 计算了适用于193nm增透膜设计与制备的基底与薄膜材料的光学常数,并在此基础上对193nm增透膜进行了设计、制备与性能分析.发现基底材料的吸收损耗对增透膜元件的影响很大,超过一定值时,增透膜元件的设计透过率将达不到理想水平.对单面增透膜的设计与制备结果表明,当吸收损耗降低到一定程度,散射损耗成为不可忽略的因素.采用热舟蒸发方法实现了性能良好的193nm减反射膜,剩余反射率在0.2%以下. 展开更多
关键词 193nm增透膜 光学损耗 剩余反射 设计 热舟蒸发方法
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半导体光放大器端面镀膜的实验与研究 被引量:1
10
作者 常进 黄德修 《光通信研究》 北大核心 2004年第5期65-67,共3页
在中心波长为1310nm的InGaAsP半导体激光器的端面镀制了剩余反射率<10-4的3层减反射膜,得到了自发辐射谱波纹<0.5dB的半导体光放大器.
关键词 半导体光放大器 减反膜镀制 剩余反射
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Anti-Reflective Fluoride Coatings for Widely Tunable Deep-Ultraviolet Diode-Pumped Solid-State Laser Applications 被引量:3
11
作者 李斌成 林大伟 +3 位作者 韩艳玲 郭春 张云洞 刘洪祥 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2010年第4期110-113,共4页
An anti-reflective (AR) fluoride coating in the 170-230 nm spectral range is prepared by the thermal evaporation method for the applications of widely tunable deep-ultraviolet diode-pumped solid-state lasers. The tr... An anti-reflective (AR) fluoride coating in the 170-230 nm spectral range is prepared by the thermal evaporation method for the applications of widely tunable deep-ultraviolet diode-pumped solid-state lasers. The transmittance of an AR coated calcium fluoride (CaF2) window in thickness 3mm is measured to be in the range of 95.8% at 170 nm to 97.1 % at 230 nm, with the maximum transmittance 99.2% and the minimum residual reflectance 0.04% appeared at 195 nm. The experimental results indicate that treating the AR coated window and the bare substrate with ultraviolet irradiation can significantly improve their optical performance. 展开更多
关键词 二极管泵浦固体激光器 紫外线照射 氟化物 反射涂料 应用 可调谐 剩余反射 光谱范围
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固体反射光谱的挖孔机制——红外吸波材料机理探讨之三 被引量:2
12
作者 戴松涛 张光寅 张存洲 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期126-130,共5页
深入研究了固体反射光谱红外活性模剩余反射带短波边对介电常数变化的敏感性,并在此基础上研究了强弱振子介电耦合对反射光谱的影响。
关键词 挖孔 反射光谱 剩余反射 红外吸波材料
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193nm氟化物增透膜的特性 被引量:2
13
作者 薛春荣 易葵 邵建达 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期675-680,共6页
为了研制低损耗、高性能的193 nm氟化物增透膜,研究了基底和不同氟化物材料组合对氟化物增透膜的影响。在熔石英基底上,将挡板法和预镀层技术相结合,采用热舟蒸发方式制备了不同氟化物材料组合增透膜,对增透膜的剩余反射率和光学损耗等... 为了研制低损耗、高性能的193 nm氟化物增透膜,研究了基底和不同氟化物材料组合对氟化物增透膜的影响。在熔石英基底上,将挡板法和预镀层技术相结合,采用热舟蒸发方式制备了不同氟化物材料组合增透膜,对增透膜的剩余反射率和光学损耗等光学特性,以及表面粗糙度和应力等特性进行了测量和比较。在分析比较和优化的基础上,设计制备的3层1/4波长规整膜系AlF3/LaF3增透膜在193 nm的剩余反射率低于0.14%,单面镀膜增透膜的透射率为93.85%,增透膜表面均方根粗糙度为0.979 nm,总的损耗约为6%。要得到高性能的193 nm增透膜,应选用超级抛光基底。 展开更多
关键词 氟化物薄膜 193nm增透膜 预镀层 基底 剩余反射
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环形谐振腔中结构特征参数的优化设计 被引量:1
14
作者 潘炜 张晓霞 +2 位作者 罗斌 吕鸿昌 陈建国 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期229-232,共4页
利用光纤环形腔半导体激光器 (FRSLs)模型 ,同时考虑到增益介质端面剩余反射率、系统光路的耦合效率和耦合分光比的影响 ,对FRSLs速率方程进行理论计算 ,提出优化结构特征参数 ,调控环形腔损耗、阈值、外量子效率和输出功率的方案。给... 利用光纤环形腔半导体激光器 (FRSLs)模型 ,同时考虑到增益介质端面剩余反射率、系统光路的耦合效率和耦合分光比的影响 ,对FRSLs速率方程进行理论计算 ,提出优化结构特征参数 ,调控环形腔损耗、阈值、外量子效率和输出功率的方案。给出了剩余反射率对最大腔增益和增益稳定度的制约关系。此外 ,从实验上证实阈值电流与分光比倒数的对数满足线性关系。理论分析结果较好地预测了器件的性能。 展开更多
关键词 环形腔 光纤耦合器 剩余反射 增益
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深紫外宽入射角范围增透膜设计与制备 被引量:1
15
作者 蒲玲琳 林大伟 李斌成 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期13-17,共5页
在大数值孔径深紫外光学系统中,需要使用宽入射角范围的增透膜光学元件。选择LaF3和MgF2两种镀膜材料,设计了适用于深紫外宽入射角范围的三层、五层和七层三种增透膜系。实验使用热舟蒸发在熔融石英基底上镀制了设计的薄膜,并用紫外分... 在大数值孔径深紫外光学系统中,需要使用宽入射角范围的增透膜光学元件。选择LaF3和MgF2两种镀膜材料,设计了适用于深紫外宽入射角范围的三层、五层和七层三种增透膜系。实验使用热舟蒸发在熔融石英基底上镀制了设计的薄膜,并用紫外分光光度计对其光谱性能进行了测试,得到了在宽入射角范围内具有较高透过率的深紫外增透膜元件。双面镀五层增透膜系的熔石英基片在0°?55°入射角内的剩余反射率小于2.5%,在0°?20°入射角内的透过率大于98%。 展开更多
关键词 深紫外 增透膜 宽入射角范围 剩余反射
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光子晶体的减反特性研究 被引量:1
16
作者 王婷 梁斌明 +2 位作者 蒋强 曹恒 高伦 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第4期188-192,共5页
利用时域有限差分法研究了光在三角形晶格二维光子晶体中的传播特性,从TM波的反射着手,系统研究了不同入射光角度、波长以及温度的变化对于光子晶体减反特性的影响。通过仿真可以看到,设置合适的光子晶体参数,很大带宽波长和入射角度范... 利用时域有限差分法研究了光在三角形晶格二维光子晶体中的传播特性,从TM波的反射着手,系统研究了不同入射光角度、波长以及温度的变化对于光子晶体减反特性的影响。通过仿真可以看到,设置合适的光子晶体参数,很大带宽波长和入射角度范围内光子晶体在TM波反射端面都有较低的剩余反射率,具有较好的减反特性;温度的漂移对减反效果的影响小,具有较好的温度稳定性。 展开更多
关键词 材料 光子晶体 减反 时域有限差分 剩余反射
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激光玻璃包边后剩余反射率的测量和计算 被引量:1
17
作者 薄铁柱 刘辉 +3 位作者 黄永刚 张弦 张洋 王云 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期381-384,共4页
对抑制激光玻璃自发辐射放大和寄生振荡效应的方法进行了论述,分别讨论了在硬包边和软包边情况下激光玻璃与包边材料折射率匹配及对剩余反射率的影响。进而提出采用分光光度计测量反射率的方法来计算剩余反射率,分别推导了在硬包边和软... 对抑制激光玻璃自发辐射放大和寄生振荡效应的方法进行了论述,分别讨论了在硬包边和软包边情况下激光玻璃与包边材料折射率匹配及对剩余反射率的影响。进而提出采用分光光度计测量反射率的方法来计算剩余反射率,分别推导了在硬包边和软包边情况下剩余反射率的计算公式。推导出普适的剩余反射率的计算公式。 展开更多
关键词 激光玻璃 寄生振荡 包边 折射率匹配 剩余反射
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基于H参量模型的外腔激光器双稳特性分析 被引量:1
18
作者 黄立平 潘炜 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期647-650,共4页
采用H参量模型,导出了外腔激光器(ECLD)调谐范围内双稳环的环宽解析式以及决定双稳环存在条件的倾斜因子表达式;数值模拟了剩余反射率对倾斜因子的影响,并比较了引入倾斜因子前后的环宽。结果表明,在调谐范围内偏离增益峰值的频率处不... 采用H参量模型,导出了外腔激光器(ECLD)调谐范围内双稳环的环宽解析式以及决定双稳环存在条件的倾斜因子表达式;数值模拟了剩余反射率对倾斜因子的影响,并比较了引入倾斜因子前后的环宽。结果表明,在调谐范围内偏离增益峰值的频率处不仅存在双稳环,而且环宽极大值可达以往计算结果的2倍,环宽极大值位于两种环宽相等的频率处;同时发现环宽极大值随剩余反射率减小向低频移动,频率大于增益峰值时双稳环因倾斜因子的影响可能提前消失。 展开更多
关键词 激光技术 H参量模型 双稳特性 归一化环宽 倾斜因子 剩余反射
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激光用高质量减反射膜的制备 被引量:1
19
作者 徐颖 高劲松 +2 位作者 王笑夷 陈红 冯君刚 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期804-805,809,850,共4页
激光用减反射膜要求镀膜后的基片可以在激光的输出波长处剩余反射率低于0.1%,从这一要求出发,优化设计了两种不同的膜系,并根据膜系的需求采用了两种不同的监控方法,结果发现,使用光学膜厚控制膜层厚度的精度高,误差小,可以在一定程度... 激光用减反射膜要求镀膜后的基片可以在激光的输出波长处剩余反射率低于0.1%,从这一要求出发,优化设计了两种不同的膜系,并根据膜系的需求采用了两种不同的监控方法,结果发现,使用光学膜厚控制膜层厚度的精度高,误差小,可以在一定程度上提高成品率.使用光学膜厚控制手段成功地制备出用于激光系统的单点632.8nm处剩余反射率低于0.05%,表面形貌均匀且无较大起伏的优质减反射膜. 展开更多
关键词 光学薄膜 反射 剩余反射 石英晶体膜厚监控 光学膜厚监控
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H表达的ECLD双稳环环宽的研究 被引量:1
20
作者 黄立平 潘炜 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期26-28,共3页
采用H参量简化模型研究光栅调谐外腔半导体激光器的双稳特性,导出以H参量表达的双稳环环宽解析式,给出了其适用范围,得到剩余反射率减小时导致双稳环消失的临界值,然后数值模拟了光栅反射率、谱线展宽因子、H参量、剩余反射率对载流子... 采用H参量简化模型研究光栅调谐外腔半导体激光器的双稳特性,导出以H参量表达的双稳环环宽解析式,给出了其适用范围,得到剩余反射率减小时导致双稳环消失的临界值,然后数值模拟了光栅反射率、谱线展宽因子、H参量、剩余反射率对载流子密度与频率关系曲线的影响,从中发现了剩余反射率增大时也存在双稳环环宽为零的情况,数值计算了剩余反射率极限值,并指出了环宽极大值的位置。 展开更多
关键词 激光技术 光栅调谐外腔半导体激光器 双稳环 H参量 剩余反射
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