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城市污水中药品和个人护理用品(PPCPs)削减技术研究 被引量：6
1
作者 乔学兵 由佩骅 《能源与环境》 2012年第2期48-50,共3页
药品和个人护理用品(PPCPs)所引起的环境安全风险问题已经受到全世界的关注。从城市污水中PPCPs的分析方法、城市污水的削减技术和削减机理研究3个方面综述了有关城市污水中PPCPs削减技术的研究进展。
关键词 PPCPS 检测方法 削减工艺 机理分析
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基于热模压和切削减薄工艺制备聚合物微静电驱动器 被引量：1
2
作者 金敏慧 王洁 +2 位作者 蔡金东 吴文渊 李以贵 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第9期715-719,共5页
为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统。与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高、驱动电压低和能耗少等优点。首先通过微细加工工艺,制备硅... 为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统。与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高、驱动电压低和能耗少等优点。首先通过微细加工工艺,制备硅静电梳齿驱动器模具。基于硅模具,利用热模压工艺制备PMMA微驱动器,再通过机械切削工艺释放制备好的PMMA微驱动器结构,得到带基底的PMMA微静电梳齿驱动器,最后通过切削减薄工艺,释放静电梳齿微结构,得到可动的PMMA微静电梳齿驱动器。驱动结果表明,PMMA微静电梳齿驱动器制备工艺具有可行性。 展开更多
关键词 微驱动器 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 硅模具 热模压工艺 切削减薄工艺
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