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腔室清洗的单臂组合设备初始暂态调度
1
作者
郭文有
潘春荣
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期303-310,共8页
为了提升腔室洁净度,晶圆厂需对组合设备腔室进行清洗操作,从而提高晶圆的加工质量.考虑腔室清洗时间和晶圆驻留时间的约束条件下,本文研究了单臂组合设备的初始暂态调度问题.首先,提出了机械手的初始暂态活动规则,并对机械手活动序列...
为了提升腔室洁净度,晶圆厂需对组合设备腔室进行清洗操作,从而提高晶圆的加工质量.考虑腔室清洗时间和晶圆驻留时间的约束条件下,本文研究了单臂组合设备的初始暂态调度问题.首先,提出了机械手的初始暂态活动规则,并对机械手活动序列进行描述,实现了系统的初始暂态可调度性;其次,对机械手在初始暂态和稳态的活动时间进行了建模;然后,根据系统的时间特性,建立了初始暂态调度的线性规划模型;最后,通过实例验证了该方法的有效性.与已有的虚拟晶圆方法相比,该调度方法能有效减少初始暂态的完工时间,提高了组合设备的晶圆生产效率.
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关键词
组合设备
腔室清洗
初始
暂态
晶圆制造
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职称材料
基于小波变换的T型线路故障测距新算法
被引量：
26
2
作者
周鑫
吕飞鹏
+1 位作者
吴飞
张默霓
《电力系统保护与控制》
CSCD
北大核心
2010年第2期8-11,33,共5页
针对当前多分支线路故障测距中方法较复杂,精确度不够高的不足,提出一种基于小波变换的T型输电线路精确故障定位算法。该算法利用电流行波到达T接线三端时间差与故障点距离T接线三端长度差的关系,只需初始行波电流信息即可确定故障支路...
针对当前多分支线路故障测距中方法较复杂,精确度不够高的不足,提出一种基于小波变换的T型输电线路精确故障定位算法。该算法利用电流行波到达T接线三端时间差与故障点距离T接线三端长度差的关系,只需初始行波电流信息即可确定故障支路,并对故障定位。在T节点附近不存在故障测距死区,且不受故障类型、分布电容、行波速度等因素的影响。大量Matlab仿真结果表明,该算法简单精确,能够满足故障定位的要求。
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关键词
T接线
故障测距
时间差
距离差
初始
电流
暂态
行波
小波分析
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职称材料
题名
腔室清洗的单臂组合设备初始暂态调度
1
作者
郭文有
潘春荣
机构
江西理工大学机电工程学院
出处
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期303-310,共8页
基金
国家自然科学基金项目(72161019)
江西省高等学校井冈学者特聘教授岗位资助.
文摘
为了提升腔室洁净度,晶圆厂需对组合设备腔室进行清洗操作,从而提高晶圆的加工质量.考虑腔室清洗时间和晶圆驻留时间的约束条件下,本文研究了单臂组合设备的初始暂态调度问题.首先,提出了机械手的初始暂态活动规则,并对机械手活动序列进行描述,实现了系统的初始暂态可调度性;其次,对机械手在初始暂态和稳态的活动时间进行了建模;然后,根据系统的时间特性,建立了初始暂态调度的线性规划模型;最后,通过实例验证了该方法的有效性.与已有的虚拟晶圆方法相比,该调度方法能有效减少初始暂态的完工时间,提高了组合设备的晶圆生产效率.
关键词
组合设备
腔室清洗
初始
暂态
晶圆制造
Keywords
cluster tool
chamber cleaning operation
start-up process
wafer fabrication
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于小波变换的T型线路故障测距新算法
被引量：
26
2
作者
周鑫
吕飞鹏
吴飞
张默霓
机构
四川大学电气信息学院
成都电业局
出处
《电力系统保护与控制》
CSCD
北大核心
2010年第2期8-11,33,共5页
文摘
针对当前多分支线路故障测距中方法较复杂,精确度不够高的不足,提出一种基于小波变换的T型输电线路精确故障定位算法。该算法利用电流行波到达T接线三端时间差与故障点距离T接线三端长度差的关系,只需初始行波电流信息即可确定故障支路,并对故障定位。在T节点附近不存在故障测距死区,且不受故障类型、分布电容、行波速度等因素的影响。大量Matlab仿真结果表明,该算法简单精确,能够满足故障定位的要求。
关键词
T接线
故障测距
时间差
距离差
初始
电流
暂态
行波
小波分析
Keywords
T-connection
fault location
time difference
distance difference
initial current transient traveling waves
wavelet analysis
分类号
TM755 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
腔室清洗的单臂组合设备初始暂态调度
郭文有
潘春荣
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
基于小波变换的T型线路故障测距新算法
周鑫
吕飞鹏
吴飞
张默霓
《电力系统保护与控制》
CSCD
北大核心
2010
26
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职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
统计分析
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