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直流磁控溅射制备(Ti,Al)N薄膜研究
被引量:
3
1
作者
张月
张桂如
+5 位作者
马丽华
张帅拓
张盼盼
赵志方
党森
丁龙先
《真空》
CAS
2017年第6期29-32,共4页
本研究采用直流磁控溅射的方法在W 18Cr4V高速钢基体上制备不同Al/Ti比例的(Ti,Al)N薄膜,为此,在圆柱形磁控溅射Ti靶表面上,采用多弧离子镀技术覆盖不同面积和一定厚度的纯Al,结果表明:只有在靶材的外表面Ti与Al的交界附近的样品才能沉...
本研究采用直流磁控溅射的方法在W 18Cr4V高速钢基体上制备不同Al/Ti比例的(Ti,Al)N薄膜,为此,在圆柱形磁控溅射Ti靶表面上,采用多弧离子镀技术覆盖不同面积和一定厚度的纯Al,结果表明:只有在靶材的外表面Ti与Al的交界附近的样品才能沉积成薄膜,随着靶材表面覆盖纯A l的面积增大,所形成的结晶薄膜中的Al/Ti比例增大,膜层中的相组成AlN的数量增多,而TiAlN的数量减少,此外纯Al的覆盖面积过大,将导致溅射时所需要的气压过高而无法沉积成膜。
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关键词
磁控溅射
(Ti
Al)N薄膜
划痕
性能
膜基结合力
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职称材料
等离子喷涂碳化钛-硅化钛涂层的组织结构与性能
被引量:
3
2
作者
马玉夺
杨勇
+5 位作者
王磊
王彦伟
邵宇轩
崔宇航
孙文韦
王星宇
《材料研究与应用》
CAS
2022年第1期136-141,共6页
研究直接喷涂和反应喷涂合成的两种碳化钛-硅化钛复合涂层的组织结构与性能.通过等离子喷涂技术将两种不同复合粉(TiC-TiSi_(2)和Ti-SiC)分别喷涂在TC4钛合金表面制备成碳化钛-硅化钛复合涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、万能拉...
研究直接喷涂和反应喷涂合成的两种碳化钛-硅化钛复合涂层的组织结构与性能.通过等离子喷涂技术将两种不同复合粉(TiC-TiSi_(2)和Ti-SiC)分别喷涂在TC4钛合金表面制备成碳化钛-硅化钛复合涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、万能拉伸试验机、显微维式硬度计、划痕仪对所得涂层进行表征及测试.结果表明:等离子喷涂TiC-TiSi_(2)复合粉所得涂层中含TiC为58%,Ti_(5)Si_(3)为21%,TiSi_(2)为7%,Si为9%和SiO_(2)为5%,等离子喷涂Ti-SiC复合粉所得涂层含有TiC(47%),Ti_(5)Si_(3)(40%)和SiC(13%);在等离子喷涂过程中Ti-SiC复合粉中的Ti与SiC发生了明显的化学反应,反应生成了TiC和Ti_(5)Si_(3);等离子喷涂Ti-SiC复合粉所得涂层,具有更薄的层片和更小的晶粒尺寸.与等离子喷涂TiC-TiSi_(2)复合粉所得碳化钛-硅化钛涂层相比,等离子喷涂Ti-SiC复合粉所得碳化钛-硅化钛涂层具有更高的结合强度、更高的显微硬度(提高了18.7%)、更好的韧性及更好的耐划痕性能,这主要在于等离子喷涂Ti-SiC复合粉反应合成的碳化钛-硅化钛涂层中硬质相的相对含量更高且反应合成的碳化钛、硅化钛晶粒更细小.
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关键词
等离子喷涂
Ti-SiC
反应合成
碳化钛-硅化钛
复合涂层
划痕
性能
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职称材料
人造板表面耐划痕性能和后成型性能检测与试验机
3
作者
于梅松
张怀统
李永刚
《试验技术与试验机》
2000年第3期54-57,共4页
人造板行业是一个新兴的行业。为使我国的人造板行业产品质量尽快迭到世界先进水平,人造板行业的技术工作者付出了辛勤的劳动。我们试验机行业的技术人员也应为此做出相应的努力。为此,我试金集团开发研制了人造板及饰面人造板的各种类...
人造板行业是一个新兴的行业。为使我国的人造板行业产品质量尽快迭到世界先进水平,人造板行业的技术工作者付出了辛勤的劳动。我们试验机行业的技术人员也应为此做出相应的努力。为此,我试金集团开发研制了人造板及饰面人造板的各种类型的试验机和试验仪。在执行相关标准时,我们遇到了一些困难,提出了一些其他的试验和测试方法,请有关人士讨论。(1)按照“标准”规定,在进行表面耐划痕性能测定试验时,试件安装在划痕试验仪上的转盘上旋转。转盘的半径不同,划痕位置的线速度不同,如果不规定试验半径,是否会影响试验结果?(2)“标准”规定,后成型性能测定的测试方法,采用“135~191℃不同热熔区域的物质(如热熔蜡笔或蜡)”做温度指示剂,在实施过程中存在许多不方便的地方,是否可以改为采用热电偶做感温元件?
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关键词
人造板
试验机
耐
划痕
性能
后成型
性能
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职称材料
题名
直流磁控溅射制备(Ti,Al)N薄膜研究
被引量:
3
1
作者
张月
张桂如
马丽华
张帅拓
张盼盼
赵志方
党森
丁龙先
机构
沈阳大学机械工程学院
沈阳亚特重型装备制造有限公司
科汇纳米技术有限公司
中国科学院兰州化学物理研究所
河南鑫磊集团
东北大学基础学院
出处
《真空》
CAS
2017年第6期29-32,共4页
文摘
本研究采用直流磁控溅射的方法在W 18Cr4V高速钢基体上制备不同Al/Ti比例的(Ti,Al)N薄膜,为此,在圆柱形磁控溅射Ti靶表面上,采用多弧离子镀技术覆盖不同面积和一定厚度的纯Al,结果表明:只有在靶材的外表面Ti与Al的交界附近的样品才能沉积成薄膜,随着靶材表面覆盖纯A l的面积增大,所形成的结晶薄膜中的Al/Ti比例增大,膜层中的相组成AlN的数量增多,而TiAlN的数量减少,此外纯Al的覆盖面积过大,将导致溅射时所需要的气压过高而无法沉积成膜。
关键词
磁控溅射
(Ti
Al)N薄膜
划痕
性能
膜基结合力
Keywords
magnetron sputtering
(Ti, Al) N film
scratch performance
film adhesion
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
等离子喷涂碳化钛-硅化钛涂层的组织结构与性能
被引量:
3
2
作者
马玉夺
杨勇
王磊
王彦伟
邵宇轩
崔宇航
孙文韦
王星宇
机构
河北工业大学材料科学与工程学院
河北省新型功能材料重点实验室
出处
《材料研究与应用》
CAS
2022年第1期136-141,共6页
基金
国家自然科学基金(52072110)
河北省自然科学基金(E2018202034)。
文摘
研究直接喷涂和反应喷涂合成的两种碳化钛-硅化钛复合涂层的组织结构与性能.通过等离子喷涂技术将两种不同复合粉(TiC-TiSi_(2)和Ti-SiC)分别喷涂在TC4钛合金表面制备成碳化钛-硅化钛复合涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、万能拉伸试验机、显微维式硬度计、划痕仪对所得涂层进行表征及测试.结果表明:等离子喷涂TiC-TiSi_(2)复合粉所得涂层中含TiC为58%,Ti_(5)Si_(3)为21%,TiSi_(2)为7%,Si为9%和SiO_(2)为5%,等离子喷涂Ti-SiC复合粉所得涂层含有TiC(47%),Ti_(5)Si_(3)(40%)和SiC(13%);在等离子喷涂过程中Ti-SiC复合粉中的Ti与SiC发生了明显的化学反应,反应生成了TiC和Ti_(5)Si_(3);等离子喷涂Ti-SiC复合粉所得涂层,具有更薄的层片和更小的晶粒尺寸.与等离子喷涂TiC-TiSi_(2)复合粉所得碳化钛-硅化钛涂层相比,等离子喷涂Ti-SiC复合粉所得碳化钛-硅化钛涂层具有更高的结合强度、更高的显微硬度(提高了18.7%)、更好的韧性及更好的耐划痕性能,这主要在于等离子喷涂Ti-SiC复合粉反应合成的碳化钛-硅化钛涂层中硬质相的相对含量更高且反应合成的碳化钛、硅化钛晶粒更细小.
关键词
等离子喷涂
Ti-SiC
反应合成
碳化钛-硅化钛
复合涂层
划痕
性能
Keywords
plasma spraying
Ti-SiC
reaction synthesis
titanium carbide-titanium silicide
composite coating
scratch resistant
分类号
TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
人造板表面耐划痕性能和后成型性能检测与试验机
3
作者
于梅松
张怀统
李永刚
机构
济南试金集团有限公司
出处
《试验技术与试验机》
2000年第3期54-57,共4页
文摘
人造板行业是一个新兴的行业。为使我国的人造板行业产品质量尽快迭到世界先进水平,人造板行业的技术工作者付出了辛勤的劳动。我们试验机行业的技术人员也应为此做出相应的努力。为此,我试金集团开发研制了人造板及饰面人造板的各种类型的试验机和试验仪。在执行相关标准时,我们遇到了一些困难,提出了一些其他的试验和测试方法,请有关人士讨论。(1)按照“标准”规定,在进行表面耐划痕性能测定试验时,试件安装在划痕试验仪上的转盘上旋转。转盘的半径不同,划痕位置的线速度不同,如果不规定试验半径,是否会影响试验结果?(2)“标准”规定,后成型性能测定的测试方法,采用“135~191℃不同热熔区域的物质(如热熔蜡笔或蜡)”做温度指示剂,在实施过程中存在许多不方便的地方,是否可以改为采用热电偶做感温元件?
关键词
人造板
试验机
耐
划痕
性能
后成型
性能
分类号
TS653 [轻工技术与工程]
TH873 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流磁控溅射制备(Ti,Al)N薄膜研究
张月
张桂如
马丽华
张帅拓
张盼盼
赵志方
党森
丁龙先
《真空》
CAS
2017
3
下载PDF
职称材料
2
等离子喷涂碳化钛-硅化钛涂层的组织结构与性能
马玉夺
杨勇
王磊
王彦伟
邵宇轩
崔宇航
孙文韦
王星宇
《材料研究与应用》
CAS
2022
3
下载PDF
职称材料
3
人造板表面耐划痕性能和后成型性能检测与试验机
于梅松
张怀统
李永刚
《试验技术与试验机》
2000
0
下载PDF
职称材料
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