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193nm光刻曝光系统的现状及发展 被引量：21
1
作者 巩岩 张巍 《中国光学与应用光学》 2008年第1期25-35,共11页
投影曝光工艺是集成电路制造过程中的关键环节,曝光系统的工艺水平已成为衡量微电子制造技术的重要标志。重点介绍了目前193 nm光刻设备曝光系统的发展现状和趋势,以及为提高曝光质量所采用的相关分辨率增强技术;通过分析曝光系统的构... 投影曝光工艺是集成电路制造过程中的关键环节,曝光系统的工艺水平已成为衡量微电子制造技术的重要标志。重点介绍了目前193 nm光刻设备曝光系统的发展现状和趋势,以及为提高曝光质量所采用的相关分辨率增强技术;通过分析曝光系统的构成和其中的关键技术,探讨了国内研制相关曝光设备所面临的挑战。 展开更多
关键词 投影光刻 曝光系统 分辨率增强 照明 投影物镜 综述
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基于MAP的自适应图像配准及超分辨率重建 被引量：19
2
作者 杨欣 费树岷 周大可 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1771-1775,共5页
图像超分辨率重建是一种将多幅低分辨率图像合成为高分辨率图像的技术。当前的超分辨重建技术主要分为图像配准和超分辨率重建2个步骤,提出一种基于最大后验概率的图像超分辨率重建算法,将这2个步骤合二为一;与此同时,为了解决配准参数... 图像超分辨率重建是一种将多幅低分辨率图像合成为高分辨率图像的技术。当前的超分辨重建技术主要分为图像配准和超分辨率重建2个步骤,提出一种基于最大后验概率的图像超分辨率重建算法,将这2个步骤合二为一;与此同时,为了解决配准参数以及点扩展函数估计值的不精确性问题,在每一幅低分辨率图像代价函数的残差项引入了自适应加权系数并随之给出了迭代算法的总体框架。实验表明,该算法在收敛性和精确性上都达到了较好的效果。 展开更多
关键词 图像配准 超分辨率重建 最大后验概率 分辨率增强
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投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计 被引量：19
3
作者 张巍 巩岩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2081-2086,共6页
离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件(DOE)作为光刻照明系统的光束整形器件,能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于傅里叶变换的分步迭代... 离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件(DOE)作为光刻照明系统的光束整形器件,能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于傅里叶变换的分步迭代方法,优化设计了该类衍射光学元件(DOE)。DOE采用了多台阶位相结构,设计所得8台阶DOE设计结果分别实现了偶极、四极、环形及Bulls-Eye等照明方式,其照明效率都达到了80%以上,与目标光强分布的均方根偏差均<7%。 展开更多
关键词 衍射光学元件 投影光刻 分辨率增强 照明 光束整形
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基于小波变换的全向图像分辨率增强方法 被引量：9
4
作者 彭启民 贾云得 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1875-1879,共5页
本文提出了一种基于小波变换的全向图像分辨率增强算法 ,根据全向图像成像的退化模型 ,利用小波系数的自相似性及其模的极值点在各层间的传递性 ,对全向图像丢失的高频成分进行补偿 ,结合对图像序列中的各帧进行融合的方法 ,达到分辨率... 本文提出了一种基于小波变换的全向图像分辨率增强算法 ,根据全向图像成像的退化模型 ,利用小波系数的自相似性及其模的极值点在各层间的传递性 ,对全向图像丢失的高频成分进行补偿 ,结合对图像序列中的各帧进行融合的方法 ,达到分辨率增强的目的 . 展开更多
关键词 全向图像 分辨率增强 小波变换 图像融合
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红外图像校正与增强技术研究现状 被引量：12
5
作者 张宝辉 姚立斌 +2 位作者 张巍伟 陈莹妍 王润宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第6期481-488,共8页
非均匀校正和视觉增强是红外图像处理的关键性技术,其主要是为了解决红外系统在光学、焦平面、读出电路等设计和工艺中存在的问题。基于此,在非均匀校正方面,概述了近年来基于场景的非均匀校正技术和去除"鬼影"现象的发展现... 非均匀校正和视觉增强是红外图像处理的关键性技术,其主要是为了解决红外系统在光学、焦平面、读出电路等设计和工艺中存在的问题。基于此,在非均匀校正方面,概述了近年来基于场景的非均匀校正技术和去除"鬼影"现象的发展现状。在视觉增强方面,从灰度值的动态压缩角度阐述了传统方法和红外图像细节增强技术的最新研究成果,以及640×512中波数字化焦平面探测器在增强方面采用的最新技术和成像效果;并从分辨率增强角度介绍了"微扫"技术在红外系统分辨率增强方面的突破技术和相关产品。最后,对红外图像处理发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 红外图像处理 非均匀校正 分辨率增强 视觉增强
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图像分辨率增强的偏微分方程方法 被引量：8
6
作者 谢美华 王正明 《遥感学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第6期673-679,共7页
讨论一种新的图像分辨率增强的偏微分方程模型。新模型利用图像为分片连续的二维曲面的先验信息,采用非线性扩散方程对基于最近邻方法放大后的图像进行光滑以消除因放大引起的“块状”效应,同时在迭代过程中加入插值条件使处理后的图像... 讨论一种新的图像分辨率增强的偏微分方程模型。新模型利用图像为分片连续的二维曲面的先验信息,采用非线性扩散方程对基于最近邻方法放大后的图像进行光滑以消除因放大引起的“块状”效应,同时在迭代过程中加入插值条件使处理后的图像能较好的保留边缘,由此构造出基于偏微分方程的图像分辨率增强模型和相应的迭代算法,使图像的分辨率增强到亚像元级。遥感图像的仿真计算结果表明,该方法具有比现有方法更高的峰值信噪比和更高的边缘保护指数。 展开更多
关键词 分辨率增强 插值 偏微分方程 超分辨 遥感
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基于二次规划的光刻机光源优化方法 被引量：10
7
作者 闫观勇 李思坤 王向朝 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期249-256,共8页
提出一种基于二次规划的光刻机光源优化方法。采用空间像与目标像的图形误差为目标函数,根据空间像强度与不同位置的点光源之间的线性关系,将光源优化转换成二次规划问题。将掩模图形区域分成限制区域和比较区域,对限制区域应用约束条件... 提出一种基于二次规划的光刻机光源优化方法。采用空间像与目标像的图形误差为目标函数,根据空间像强度与不同位置的点光源之间的线性关系,将光源优化转换成二次规划问题。将掩模图形区域分成限制区域和比较区域,对限制区域应用约束条件,对比较区域采用目标函数优化。采用一维孤立空图形和二维接触孔阵列图形对该方法进行验证,分析光刻胶阈值和离焦量对优化结果的影响。仿真表明,提出的光源优化方法获得了光源的全局最优解,提高了光刻成像质量,增大了工艺窗口。 展开更多
关键词 光学设计 光刻 分辨率增强 光源掩模优化 光源优化 二次规划 全局最优解
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基于稀疏先验的光学及SAR图像的分辨率增强统一框架 被引量：7
8
作者 周宏潮 王正明 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期135-140,共6页
研究了基于稀疏型先验的光学及SAR图像的分辨率增强的统一框架。在定义稀疏型先验的基础上, 分析了稀疏型先验与分辨率增强的关系,并从参数估计的角度解释了为什么稀疏型先验的合理利用可以实现分辨率增强。其次给出了光学及SAR图像的... 研究了基于稀疏型先验的光学及SAR图像的分辨率增强的统一框架。在定义稀疏型先验的基础上, 分析了稀疏型先验与分辨率增强的关系,并从参数估计的角度解释了为什么稀疏型先验的合理利用可以实现分辨率增强。其次给出了光学及SAR图像的统一观测模型。再次给出了光学及SAR图像先验模型的统一描述。最后给出了光学及SAR图像分辨率增强的目标函数构造的统一形式。并结合光学图像和SAR图像,在不同数据域的先验信息,分别构造各自的目标函数,实现图像分辨率增强。 展开更多
关键词 图像处理 稀疏型先验 分辨率增强 SAR 参数估计
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极紫外光刻离轴照明技术研究 被引量：8
9
作者 王君 金春水 +1 位作者 王丽萍 卢增雄 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期140-145,共6页
离轴照明技术(OAI)是极紫外光刻技术中提高光刻分辨率的关键技术之一。为了实现考虑掩模阴影效应情况下离轴照明的优化选择,构造了一种新型实现OAI曝光的成像模型。将照射到掩模上的非相干光等效为一系列具有连续入射方向的等强度平行光... 离轴照明技术(OAI)是极紫外光刻技术中提高光刻分辨率的关键技术之一。为了实现考虑掩模阴影效应情况下离轴照明的优化选择,构造了一种新型实现OAI曝光的成像模型。将照射到掩模上的非相干光等效为一系列具有连续入射方向的等强度平行光,基于阿贝成像原理分别对掩模进行成像,最终在像面进行强度叠加实现OAI方式下空间成像的计算;并通过向投影系统函数添加离焦像差项实现不同离焦面上空间成像计算。该模型极大地简化了OAI条件下对掩模阴影效应的计算,提高了成像质量计算效率。结合光刻胶特性及投影曝光系统焦深设计要求,以显影后光刻胶轮廓的侧壁倾角为判据,获得了采用数值孔径为0.32的投影系统实现16nm线宽黑白线条曝光的最优OAI参数。 展开更多
关键词 X射线光学 极紫外光刻 分辨率增强 离轴照明阴影效应 光刻胶
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基于自适应正则化的超分辨率重建方法 被引量：7
10
作者 谢琦 陈维义 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期82-88,共7页
传统正则化超分辨重建得到的图像往往存在过度平滑或伪信息残留的问题,结合超分辨重建模型对重建图像伪信息的产生进行了分析,针对传统方法的不足提出了基于图像区域信息自适应的正则化方法,通过图像的区域信息将图像划分为平滑区与非... 传统正则化超分辨重建得到的图像往往存在过度平滑或伪信息残留的问题,结合超分辨重建模型对重建图像伪信息的产生进行了分析,针对传统方法的不足提出了基于图像区域信息自适应的正则化方法,通过图像的区域信息将图像划分为平滑区与非平滑区域,对不同区域选用不同的先验模型进行约束。同时考虑人眼的视觉感知特性,结合区域信息实现正则化参数的自适应选取。实验结果表明该方法在抑制重建图像伪信息的同时能有效保护细节,效果要优于传统方法与单一的先验模型约束,对于红外与可见光图像重建效果的提升提供了一定的理论参考。 展开更多
关键词 超分辨率 图像序列 分辨率增强 自适应正则化 图像重建
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基于区域划分的红外超分辨率重建 被引量：7
11
作者 翟海天 李辉 李彬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2989-2996,共8页
提出了红外超分辨率重建系统以获取高分辨率红外数据。首先,根据红外图像获取过程建立了数学模型,讨论了降采样、模糊、运动以及高斯噪声对红外系统的影响;在非退化特征提取的基础上提出了基于特征的亚像素配准算法,其根据所得到的非退... 提出了红外超分辨率重建系统以获取高分辨率红外数据。首先,根据红外图像获取过程建立了数学模型,讨论了降采样、模糊、运动以及高斯噪声对红外系统的影响;在非退化特征提取的基础上提出了基于特征的亚像素配准算法,其根据所得到的非退化特征应用归一化均方根误差来估计两帧之间的亚像素位移。然后,分析了传统全变分因子在高分辨重建时的不足并对其进行改进;利用区域划分将图像划分为平滑区域和细节区域,并根据区域的不同情况自适应全变分因子,从而使细节区域不至于过平滑。最后,利用MM(Majorization Minimixation)算法对合成的低分辨率红外图像和真实红外图像进行了超锐度重建。与同类相关算法的比较实验显示:所提算法亚像素配准最大误差为0.09pixel,重建后的红外图像质量优于其他同类算法。所提算法可以对低分辨红外图像序列进行有效重建,具有配准精度高、重建图像细节丰富等特点,可应用于各种红外成像系统。 展开更多
关键词 分辨率增强 红外图像 超分辨率重建 亚像素 全变分
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基于带限信号恢复算法的近场声全息分辨率增强方法 被引量：6
12
作者 徐亮 毕传兴 +1 位作者 陈心昭 陈剑 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第14期1632-1639,共8页
提出了一种基于带限信号恢复算法的近场声全息空间分辨率增强方法.该方法利用实测全息面声压信号的波数域带限特性,采用带限信号恢复算法——Papoulis-Gerchberg方法(PGA)对全息面声压信号进行插值,从而等效地增加了全息面声压数据,减... 提出了一种基于带限信号恢复算法的近场声全息空间分辨率增强方法.该方法利用实测全息面声压信号的波数域带限特性,采用带限信号恢复算法——Papoulis-Gerchberg方法(PGA)对全息面声压信号进行插值,从而等效地增加了全息面声压数据,减小了测量间隔,一定程度上恢复由于测量间隔太大而损失了的高波数成分,从而有效地提高了全息图像的分辨率.单点激励固支板声全息实验表明,该方法可以有效提高近场声全息图像的分辨率. 展开更多
关键词 近场声全息 分辨率增强 带限信号 PGA
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应用于投影光刻离轴照明的自由曲面设计 被引量：7
13
作者 邢莎莎 吴仍茂 +2 位作者 李海峰 郑臻荣 刘旭 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期229-234,共6页
离轴照明是现代投影光刻中的一种重要的分辨率增强技术。针对不同的照明模式要求,提出了一种利用自由曲面来实现离轴照明的方法。根据入射面和目标面之间的坐标拓扑和能量守恒关系,利用数值求解法得出自相应的折射式自由曲面并对结果进... 离轴照明是现代投影光刻中的一种重要的分辨率增强技术。针对不同的照明模式要求,提出了一种利用自由曲面来实现离轴照明的方法。根据入射面和目标面之间的坐标拓扑和能量守恒关系,利用数值求解法得出自相应的折射式自由曲面并对结果进行模拟,分别设计了环形、二极和四极照明,照明效率均达到90%以上,照明均匀性均优于93%。结果表明,可以满足193 nm投影光刻照明系统的设计要求。 展开更多
关键词 光学设计 自由曲面 投影光刻 分辨率增强 照明 光束整形
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用星载寄生式SAR提高空间二维分辨率的信号处理 被引量：1
14
作者 何峰 梁甸农 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1128-1131,共4页
星载寄生式SAR(SyntheticApertureRadar)是分布式小卫星SAR的一种典型形式.本文用数学推导的方法,以统一的形式给出了提高距离和方位分辨率的原理公式,公式表明:提高距离和方位分辨率的原理能以二维地面散射谱在距离维和方位维的频谱偏... 星载寄生式SAR(SyntheticApertureRadar)是分布式小卫星SAR的一种典型形式.本文用数学推导的方法,以统一的形式给出了提高距离和方位分辨率的原理公式,公式表明:提高距离和方位分辨率的原理能以二维地面散射谱在距离维和方位维的频谱偏移这一统一的观点来解释,进而可一并考虑并同时实现.基于此提出一种提高系统空间分辨率的实现方法,同时考虑了固定相位差和两个方向的频移,可直接合成多幅图像.实现中充分考虑了图像频域支撑区的规则分布问题,以保证获得时域高质量图像.仿真验证了该方法的有效性. 展开更多
关键词 星载寄生式SAR SAR 雷达分辨率 分辨率增强
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一种新颖的基于遗传算法的正则化图像插值方法 被引量：3
15
作者 刘志军 蔡超 +2 位作者 彭晓明 周成平 丁明跃 《中国图象图形学报（A辑）》 CSCD 北大核心 2004年第8期934-940,共7页
传统的图像插值方法 ,包括零阶插值或最近邻插值、双线性插值、立方样条插值等 ,是先经补零疏化、后经内插滤波实现的。由于这些内插滤波器不能完成理想的低通滤波功能 ,传统插值图像会增加一定的虚假内容 ,即导致方块效应、模糊等。另... 传统的图像插值方法 ,包括零阶插值或最近邻插值、双线性插值、立方样条插值等 ,是先经补零疏化、后经内插滤波实现的。由于这些内插滤波器不能完成理想的低通滤波功能 ,传统插值图像会增加一定的虚假内容 ,即导致方块效应、模糊等。另外 ,由于内插滤波器是确定的 ,因而这些插值算法就缺乏利用图像本身信息的机制。为了提高插值图像的质量和增强图像的分辨率 ,首次提出了一种基于遗传算法的正则化图像插值方法。在该遗传算法中 ,编码采用实值方式 ,变异采用“引导”方式 ,适应度评价函数的正则化项采用图像质量评价的一些客观标准。最后 ,还分析了在遗传算法中怎样直接调整正则化系数 ,并将实验获得的该正则化系数应用于相同实验条件下的迭代正则化插值算法中 ,取得了良好效果。实验证明 ,该方法实用。 展开更多
关键词 图像插值 实值遗传算法 正则化 分辨率增强
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微结构形貌的光场显微三维重构分辨率增强技术 被引量：5
16
作者 陈卓 胡摇 +2 位作者 蒋晓黎 李腾飞 郝群 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期385-390,共6页
扫描式的测量技术是目前微结构表面形貌测量的主流技术,但需要高精度的机械扫描、较长的测量时间。针对其问题,结合光场显微技术和傅里叶叠层显微技术,提出了一种分辨率增强的三维重构技术,通过在常规显微成像系统中加入光学编码元件,... 扫描式的测量技术是目前微结构表面形貌测量的主流技术,但需要高精度的机械扫描、较长的测量时间。针对其问题,结合光场显微技术和傅里叶叠层显微技术,提出了一种分辨率增强的三维重构技术,通过在常规显微成像系统中加入光学编码元件,使用单次曝光而获得被测工件的光学切片序列,基于傅里叶叠层显微技术实现了对切片图像横向分辨率的增强,克服了光场成像技术中的分辨率损失。实验证明,提出的三维重构技术对于微结构表面加工过程的在线测量具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 微结构 光场 傅里叶叠层显微 分辨率增强 三维重构
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纳米时代的可制造性设计 被引量：2
17
作者 付本涛 郑学仁 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期532-537,共6页
集成电路产业在遵循摩尔定律发展进入纳米时代后,制造工艺效应对芯片电学性能的影响越来越大,使得在设计的各个阶段都必须考虑可制造性因素。介绍了可制造性设计中的分辨率增强技术、工艺可变性,以及建立可制造性设计机制中的多方合作... 集成电路产业在遵循摩尔定律发展进入纳米时代后,制造工艺效应对芯片电学性能的影响越来越大,使得在设计的各个阶段都必须考虑可制造性因素。介绍了可制造性设计中的分辨率增强技术、工艺可变性,以及建立可制造性设计机制中的多方合作问题。 展开更多
关键词 集成电路 可制造性设计 分辨率增强 工艺可变性 光学邻近校正 化学机械抛光
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基于回返器和反射偏振片的分辨率增强集成成像3D显示器 被引量：4
18
作者 何伟 李强 +1 位作者 郭兆达 邓欢 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期555-561,共7页
随着3D显示被应用到军事医疗等尖端领域,高分辨率的3D图像变得尤为重要。然而,集成成像的3D显示性能受制于2D显示屏的分辨率。为了突破2D显示屏的分辨率限制,本文提出了基于回返器和反射偏振片的集成成像3D显示装置。该装置将显示器上... 随着3D显示被应用到军事医疗等尖端领域,高分辨率的3D图像变得尤为重要。然而,集成成像的3D显示性能受制于2D显示屏的分辨率。为了突破2D显示屏的分辨率限制,本文提出了基于回返器和反射偏振片的集成成像3D显示装置。该装置将显示器上的微图像阵列(elemental image array,EIA)通过反射型偏振片分离成偏振方向正交的两束光线,回返器、四分之一波片和反射型偏振片分别将两束偏振光反射,并沿着像素的对角线方向以√2/2个像素错位叠加,形成一个具有更小像素单元和更多像素数量的高分辨率EIA。根据两个偏振EIA和叠加的高分辨率EIA之间的像素索引关系,反向计算出偏振EIA的像素值。实验结果表明,该系统不仅可以重构出高分辨率的3D图像,还减弱了像素间的黑网格。 展开更多
关键词 分辨率增强 集成成像 偏振复用 回返器 反射偏振片
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一种强杂波背景下SAR目标超分辨成像方法 被引量：5
19
作者 景国彬 盛佳恋 +3 位作者 陈溅来 孙光才 邢孟道 保铮 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期12-17,87,共7页
针对合成孔径雷达图像中存在较强杂波,难以提取目标信息和进行分辨率增强处理的问题,提出了一种强杂波背景下的超分辨成像方法.首先,从信号相关性的角度出发,估计杂波自适应门限来提取目标强散射点;然后,结合梯度下降搜索法提取出目标... 针对合成孔径雷达图像中存在较强杂波,难以提取目标信息和进行分辨率增强处理的问题,提出了一种强杂波背景下的超分辨成像方法.首先,从信号相关性的角度出发,估计杂波自适应门限来提取目标强散射点;然后,结合梯度下降搜索法提取出目标弱散射点;最后,利用提取后的目标散射点在图像域的稀疏性,通过简化的正则化处理方法,对目标进行分辨率增强处理,实现了目标超分辨成像.角反射器和静止的机动车目标实测数据处理的结果验证了文中方法的有效性. 展开更多
关键词 强杂波 合成孔径雷达 目标提取 分辨率增强 超分辨成像
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复杂运动目标ISAR成像技术进展与展望 被引量：5
20
作者 黎湘 高勋章 刘永祥 《数据采集与处理》 CSCD 北大核心 2014年第4期508-515,共8页
逆合成孔径雷达成像是宽带雷达实现目标信息获取和精细描述的重要途径,但在成像过程中存在复杂运动导致散焦和成像分辨率不高两个难题。针对目标复杂运动导致成像散焦问题,本文总结了微动对雷达波调制、进动目标成像、三维运动成像、分... 逆合成孔径雷达成像是宽带雷达实现目标信息获取和精细描述的重要途径,但在成像过程中存在复杂运动导致散焦和成像分辨率不高两个难题。针对目标复杂运动导致成像散焦问题,本文总结了微动对雷达波调制、进动目标成像、三维运动成像、分离部件成像等技术现状;针对成像分辨率不高问题,分析了多频段宽带回波相参配准、融合成像等技术进展。本文介绍了雷达成像新技术,为解决上述两个难题带来新的思路和途径,其中,雷达关联成像不依赖于雷达与目标的相对运动,可避免成像的复杂运动补偿;太赫兹雷达成像容易实现大带宽和窄波束,获得目标精细雷达像。最后对新兴技术的难点和发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 逆合成孔径雷达 微动 分辨率增强 雷达关联成像 太赫兹雷达成像
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