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题名新型喷水室及其应用
被引量：2
- 1
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作者
黄翔
李刚
颜苏芊
强天伟
张峦
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机构
西安工程科技学院
西安农垦建筑设计所
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出处
《洁净与空调技术》
2002年第2期54-56,53,共4页
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文摘
喷水室作为一种传统的热湿处理空调设备,现在已被应用于微电子行业来去除分子态污染物,并且还可以被应用于直接蒸发冷却技术和热回收系统。介绍了几种新型喷水室及喷嘴,指出喷水室的发展方向。
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关键词
喷水室
分子态污染物
蒸发冷却
热回收
空调设备
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Keywords
Air washer Airborne molecular contaminants Evaporative cooling Heat recovery Impinging stream theory
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分类号
TU831
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名微电子工业空气洁净技术的若干进展
被引量：13
- 2
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作者
范存养
徐文华
林忠平
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机构
同济大学
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出处
《暖通空调》
北大核心
2001年第5期20-38,共19页
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文摘
微电子工业的飞速发展对生产环境的空气洁净度提出了更高的要求。从分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品。
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关键词
微电子工业
空气洁净
分子态污染物质
微环境控制
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Keywords
micro electronic industry, air cleaning technology, airborne molecular contaminants, micro environment control
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分类号
TU834.8
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名国外空气洁净技术发展的若干现状
被引量：10
- 3
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作者
范存养
徐文华
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机构
同济大学
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出处
《洁净与空调技术》
2003年第1期8-18,共11页
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文摘
本文仅以微电子工业的发展对空气洁净技术提出的要求为中心,介绍了国外在分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品开发以及大型洁净室运行节能等方面,在近几年中的技术进展。
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关键词
国外
空气洁净
微电子工业
分子态污染物质
微环境
控制
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Keywords
Microelectronicsindusty Airclean technology Molecule contaminant Minien-vironment control
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分类号
TU834.8
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名国外空气洁净技术发展的若干现状
- 4
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作者
范存养
徐文华
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机构
同济大学
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出处
《电子电路与贴装》
2003年第5期50-62,共13页
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文摘
本文仅以微电子工业的发展对空气洁净技术提出的要求为中心，介绍了国外在分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品开发以及大型洁净室运行节能等方面，在近几年中的技术进展。
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关键词
微电子工业
空气洁净技术
分子态污染物质
微环境控制
节能
现状
喷水室处理新风
化学污染过滤器
硼污染
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TN305.97
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