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分体圆柱谐振腔法用于金刚石膜微波介电性能测试的研究
被引量：
4
1
作者
苏静杰
杨梓
+3 位作者
李义锋
唐伟忠
安晓明
郭辉
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期751-756,共6页
针对金刚石膜微波介电损耗低、厚度薄带来的微波介电性能测试难点,研制了一台分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置。利用不同直径的蓝宝石单晶样品,用上述装置对低损耗薄膜类样品微波介电性能的测试能力及样品直径对测试结果的影响进...
针对金刚石膜微波介电损耗低、厚度薄带来的微波介电性能测试难点,研制了一台分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置。利用不同直径的蓝宝石单晶样品,用上述装置对低损耗薄膜类样品微波介电性能的测试能力及样品直径对测试结果的影响进行了实验研究。在此基础上,使用分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置对微波等离子体化学气相沉积法和直流电弧等离子体喷射法制备的高品质金刚石膜在Ka波段的微波介电性能进行了测试比较。测试结果表明,由Raman光谱、紫外-可见光谱等分析证明品质较优的微波等离子体化学气相沉积法制备的金刚石膜具有更高的微波介电性能,其相对介电常数和微波介电损耗值均低于直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜。
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关键词
微波介电性能
分体
圆柱
谐振腔
金刚石膜
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职称材料
MPCVD金刚石膜的品质对其在K-Ka波段微波介电性能的影响
2
作者
刘艳青
丁明辉
+2 位作者
苏静杰
李义峰
唐伟忠
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
2017年第4期32-36,共5页
针对MPCVD金刚石膜K-Ka波段(18～40 GHz)微波电子器件领域的应用需求,以及探索金刚石膜介电性能与品质之间的关系的需要,制备了5个金刚石膜样品,并建立了一套K波段分体圆柱谐振腔微波介电性能测试装置。使用Raman光谱表征金刚石膜质量,...
针对MPCVD金刚石膜K-Ka波段(18～40 GHz)微波电子器件领域的应用需求,以及探索金刚石膜介电性能与品质之间的关系的需要,制备了5个金刚石膜样品,并建立了一套K波段分体圆柱谐振腔微波介电性能测试装置。使用Raman光谱表征金刚石膜质量,采用K波段分体圆柱谐振腔测量金刚石膜的介电性能,并与Ka波段的结果进行比较。结果表明,不同品质的样品介电损耗在3.8×10^(-5)～76.8×10^(-5)范围内,且介电损耗与Raman半峰宽密切相关。同时,高品质金刚石膜K波段介电损耗高于Ka波段,而低品质的则呈现相反的结果。这是由于高品质金刚石膜介电损耗主要由导电性引起,而低品质金刚石膜内较高的缺陷密度导致单声子声学振动吸收和瑞利散射较大。
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关键词
MPCVD金刚石膜
拉曼光谱
品质
分体
圆柱
谐振腔
介电性能
K-Ka波段
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职称材料
题名
分体圆柱谐振腔法用于金刚石膜微波介电性能测试的研究
被引量：
4
1
作者
苏静杰
杨梓
李义锋
唐伟忠
安晓明
郭辉
机构
北京科技大学材料科学与工程学院
中国科学院北京纳米能源与系统研究所
河北省科学院激光研究所
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期751-756,共6页
文摘
针对金刚石膜微波介电损耗低、厚度薄带来的微波介电性能测试难点,研制了一台分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置。利用不同直径的蓝宝石单晶样品,用上述装置对低损耗薄膜类样品微波介电性能的测试能力及样品直径对测试结果的影响进行了实验研究。在此基础上,使用分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置对微波等离子体化学气相沉积法和直流电弧等离子体喷射法制备的高品质金刚石膜在Ka波段的微波介电性能进行了测试比较。测试结果表明,由Raman光谱、紫外-可见光谱等分析证明品质较优的微波等离子体化学气相沉积法制备的金刚石膜具有更高的微波介电性能,其相对介电常数和微波介电损耗值均低于直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜。
关键词
微波介电性能
分体
圆柱
谐振腔
金刚石膜
Keywords
dielectric property
split-cylinder resonator
diamond film
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
MPCVD金刚石膜的品质对其在K-Ka波段微波介电性能的影响
2
作者
刘艳青
丁明辉
苏静杰
李义峰
唐伟忠
机构
北京科技大学新材料技术研究院
清华大学微电子学研究所
河北省激光研究所
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
2017年第4期32-36,共5页
基金
国家磁约束核聚变能专项资助(No.2013GB110003)
文摘
针对MPCVD金刚石膜K-Ka波段(18～40 GHz)微波电子器件领域的应用需求,以及探索金刚石膜介电性能与品质之间的关系的需要,制备了5个金刚石膜样品,并建立了一套K波段分体圆柱谐振腔微波介电性能测试装置。使用Raman光谱表征金刚石膜质量,采用K波段分体圆柱谐振腔测量金刚石膜的介电性能,并与Ka波段的结果进行比较。结果表明,不同品质的样品介电损耗在3.8×10^(-5)～76.8×10^(-5)范围内,且介电损耗与Raman半峰宽密切相关。同时,高品质金刚石膜K波段介电损耗高于Ka波段,而低品质的则呈现相反的结果。这是由于高品质金刚石膜介电损耗主要由导电性引起,而低品质金刚石膜内较高的缺陷密度导致单声子声学振动吸收和瑞利散射较大。
关键词
MPCVD金刚石膜
拉曼光谱
品质
分体
圆柱
谐振腔
介电性能
K-Ka波段
Keywords
MPCVD diamond films
Raman spectra
quality
split-cylinder resonator
dielectric property
K-Ka band
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
分体圆柱谐振腔法用于金刚石膜微波介电性能测试的研究
苏静杰
杨梓
李义锋
唐伟忠
安晓明
郭辉
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
4
下载PDF
职称材料
2
MPCVD金刚石膜的品质对其在K-Ka波段微波介电性能的影响
刘艳青
丁明辉
苏静杰
李义峰
唐伟忠
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
2017
0
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职称材料
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