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题名计算全息板干涉检测工业镜头凸自由曲面(特邀)
被引量：3
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作者
朱德燕
唐骏伟
国成立
李元正
赵烈烽
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机构
南京航空航天大学航天学院
南京航空航天大学空间光电探测与感知工信部重点实验室
浙江舜宇光学有限公司
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第9期84-90,共7页
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文摘
工业镜头元件口径小、数量多、精度要求高,将自由曲面用在镜头凸面上会导致面形复杂、偏离量大,对表面面形检测提出了很高的挑战。提出了基于计算全息板(Computer-Generated-Hologram,CGH)的干涉检测方法,并利用Zemax对光路进行优化设计,建立了镜头装夹误差对检测结果的影响分析模型,提出了镜头高精度干涉检测方案,并结合实验验证了分析模型和检测方案的可靠性。实验结果表明:利用CGH可实现凸自由曲面工业镜头的全口径干涉检测,检测结果为0.57μm PV (满足镜头检测需求),并结合轮廓仪对比验证了干涉测量的可靠性。
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关键词
干涉检测
凸自由曲面
工业镜头
计算全息板
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Keywords
interferometric testing
freeform surface
industrial lens
CGH
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
O436.1
[理学—光学]
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