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高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计 被引量：13
1
作者 毛姗姗 李艳秋 +3 位作者 刘克 刘丽辉 郑猛 闫旭 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第8期170-176,共7页
高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求,往往造成遮拦,破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面EUVL物镜设计方法。... 高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求,往往造成遮拦,破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面EUVL物镜设计方法。依据物镜形态参数判别引入自由曲面的最佳位置,能够有效校正系统像差,在不影响成像性能的情况下增大系统NA。应用该方法设计了一套高NA自由曲面EUVL投影物镜(PO)。与初始非球面物镜相比,通过增加四面自由曲面,将物镜数值孔径从0.3增大至0.35,波像差均方根(RMS)值从1nm减小至0.4nm,整个系统光路无遮拦。设计结果表明:该方法有效提高了自由曲面EUVL物镜设计效率,在不产生遮拦的情况下,不但增大了系统NA且减小了系统波像差,提高了物镜整体性能。 展开更多
关键词 物镜系统设计 几何光学设计 自由曲面 极紫外
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消色差的1/4波长延迟器的几何光学设计 被引量：7
2
作者 马万里 陈良尧 +3 位作者 周仕明 张荣君 郑玉祥 戴宁 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期236-239,共4页
在许多光谱学测量和实验研究中 ,常需要一个消色差 1 / 4波长延迟器来满足各种实验测量条件 .这可以通过一个在工作波长范围内折射率变化较小的菱型棱镜来实现 .为了使用方便 ,在光学系统中可设计一个具有三个全内反射面的 V型棱镜 ,其... 在许多光谱学测量和实验研究中 ,常需要一个消色差 1 / 4波长延迟器来满足各种实验测量条件 .这可以通过一个在工作波长范围内折射率变化较小的菱型棱镜来实现 .为了使用方便 ,在光学系统中可设计一个具有三个全内反射面的 V型棱镜 ,其总的相位延迟达90°,同时可避免光路偏差 .在实际应用中 ,需对棱镜的尺寸和通光孔径进行优化设计 ,以达到最佳效果 .在本文中 ,我们给出了具有这种结构的几何设计例子 ,还结合不同参量成功地设计研制了一个消色差的 1 / 4波长延迟器 ,并应用于磁光材料的克尔效应测量中 .文中给出了详细计算和误差修正 ,所给出的计算公式可用于其他尺寸的消色差 1 / 4波长器的设计和研制 . 展开更多
关键词 消色差1/4波长延迟器 光学棱镜 几何光学设计 光偏振态 光谱学测量
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双波段长后工作距连续变焦光学系统设计 被引量：2
3
作者 王金沙 巩岩 +3 位作者 高志山 郑汉青 张艳微 汪路涵 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第21期301-310,共10页
为满足目前生物医学活体成像研究领域对多波段荧光成像的迫切需求,提出并设计了一种可见光(486~656 nm)、近红外(900~1700 nm)双波段长后工作距有限远变焦光学系统。针对双波段、长后工作距变焦系统带来的色差变化范围大、组分光焦度选... 为满足目前生物医学活体成像研究领域对多波段荧光成像的迫切需求,提出并设计了一种可见光(486~656 nm)、近红外(900~1700 nm)双波段长后工作距有限远变焦光学系统。针对双波段、长后工作距变焦系统带来的色差变化范围大、组分光焦度选择受限等技术难题,通过理论分析,选择了适合该双波段系统的变焦结构,计算得到了系统4组变焦结构的初始光焦度,并利用理想近轴面验证变焦方案初始结构的可行性,在此基础上对系统每一组元进行独立像差设计,共光路部分兼顾双波段像差进行优化,后组采用分光棱镜对两个波段分光,并针对双波段设计不同的后固定组以校正系统残余像差,同时实现长后工作距下的双波段成像。系统公差特性良好,变焦曲线平滑无拐点,变倍过程中像面稳定,成像质量良好。 展开更多
关键词 几何光学设计 变焦光学系统 双波段成像 近红外二区
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基于视觉密码的远距离光学信息认证系统 被引量：2
4
作者 陶冶 祝玉鹏 +2 位作者 杨栋宇 吕文晋 史祎诗 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第16期33-40,共8页
提出一种基于视觉密码的远距离光学信息认证系统。该系统可将远处的视觉密钥通过望远镜系统与系统内的视觉密钥配对实现非相干叠加以完成认证操作,减少了共享密钥的人为传递过程,也解决了实际应用中密钥携带运输不方便的问题。而且,在... 提出一种基于视觉密码的远距离光学信息认证系统。该系统可将远处的视觉密钥通过望远镜系统与系统内的视觉密钥配对实现非相干叠加以完成认证操作,减少了共享密钥的人为传递过程,也解决了实际应用中密钥携带运输不方便的问题。而且,在整个提取过程中视场受限于系统,仅操作者能在系统内看见认证信息,其他人即便在附近也无法查看,加强了信息显示和复现的安全性。认证的过程仅需要操作者将两块共享密钥仔细对准即可,无需其他的光学和密码学知识,整个过程简单高效。此外,光学实验也证明了该系统可应用于实际且具有很高的安全性。 展开更多
关键词 几何光学设计 远距离光学信息认证 视觉密码学 显示安全
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三重共轭消杂散光光学系统的设计方法研究（英文） 被引量：2
5
作者 于清华 肖锡晟 +1 位作者 陈凡胜 孙胜利 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期8-14,共7页
杂散光抑制能力是光学系统的重要评价指标.红外光学系统不仅受到外部杂散光影响,而且受到仪器内部杂散光影响.传统的"物-像"共轭光学系统的设计方法未能全面考虑杂散光的抑制问题.提出一种三重共轭光学系统的设计方法,该方法... 杂散光抑制能力是光学系统的重要评价指标.红外光学系统不仅受到外部杂散光影响,而且受到仪器内部杂散光影响.传统的"物-像"共轭光学系统的设计方法未能全面考虑杂散光的抑制问题.提出一种三重共轭光学系统的设计方法,该方法设计出的光学系统具有"物-像"、"物-中间像"和"入瞳-出瞳"三重共轭关系,具有同时抑制内部和外部杂散光的能力.基于该方法设计出一种离轴三反射式消像散光学系统,该系统F/#=4、一维线视场7°,离轴5度视场外点源透过率低于5×10^(-4),系统冷屏效率达到96%,并获得良好的在轨图像. 展开更多
关键词 成像系统 几何光学设计 红外光学遥感仪器
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一种球柱面一体化透镜的几何光学设计 被引量：2
6
作者 孙桂林 张小星 杜玲 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期26-29,共4页
提出了一种可使光轴折转９０°，利用球面的折射和反射使子午面内的光束变为平行光，利用球面和柱面使弧矢光束会聚且有实焦点的球柱面一体化透镜，分析讨论了其近轴光学特性，给出了一些约束条件。这种透镜具有批量生产成本低、数... 提出了一种可使光轴折转９０°，利用球面的折射和反射使子午面内的光束变为平行光，利用球面和柱面使弧矢光束会聚且有实焦点的球柱面一体化透镜，分析讨论了其近轴光学特性，给出了一些约束条件。这种透镜具有批量生产成本低、数值孔径大等优点，可用于把基模高斯细圆光束变换为线光束。 展开更多
关键词 透镜 几何光学设计 高斯光束变换 球面 柱面
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离轴格里高利系统中失调对远场时空特性影响 被引量：1
7
作者 胡必龙 李伟 +7 位作者 王逍 左言磊 母杰 王晓东 吴朝辉 李钊历 曾小明 粟敬钦 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第21期200-205,共6页
扩束是超高峰值功率激光装置中必不可少的一环,由离轴抛物面镜组成的反射式扩束系统可解决传统透射式扩束带来的色散、色差及激光脉冲前沿畸变等问题。利用光线追迹法和惠更斯-菲涅耳原理对反射式扩束和聚焦过程进行分析,计算了在反射... 扩束是超高峰值功率激光装置中必不可少的一环,由离轴抛物面镜组成的反射式扩束系统可解决传统透射式扩束带来的色散、色差及激光脉冲前沿畸变等问题。利用光线追迹法和惠更斯-菲涅耳原理对反射式扩束和聚焦过程进行分析,计算了在反射式扩束系统参数不同时,离轴抛物面镜失调对激光脉冲远场时空特性的影响,给出了激光脉冲斯特列尔比和峰值强度的误差允许范围。 展开更多
关键词 物理光学 几何光学设计 激光扩束 离轴抛物面镜 光线追迹 矢量衍射 超快激光脉冲 时空特性
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分步法快速实现LED小视场角矩形均匀照明 被引量：1
8
作者 刘典宏 张晓晖 《光电技术应用》 2017年第1期6-9,49,共5页
提出一种基于分步法控制纵向视场角的改进方法,可以快速实现LED横纵向小视场角矩形均匀照明。通过设计三个轮廓线可以快速构造三个光学曲面,基于光学曲面构造折射透镜和紧邻的反射器组成光学系统。系统仿真结果表明,当光源距透镜内曲面... 提出一种基于分步法控制纵向视场角的改进方法,可以快速实现LED横纵向小视场角矩形均匀照明。通过设计三个轮廓线可以快速构造三个光学曲面,基于光学曲面构造折射透镜和紧邻的反射器组成光学系统。系统仿真结果表明,当光源距透镜内曲面尺寸与光源尺寸的比值大于6时,光束横向视场角不超过1°,纵向视场角不超过2.6°,且照明均匀性大于0.75。该方法为具有小视场角矩形均匀照明要求的光学系统提供了一种有效途径。 展开更多
关键词 几何光学设计 矩形均匀照明 小视场角 LED
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