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高纯水制备工艺的两点改进
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作者 赵玉清 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第1期18-20,共3页
一、凝聚过滤法预处理原水国内外电子工业用高纯水,大多用市政自来水或厂备深井水作为原水来制备.预处理工艺一般仅包括选用各种粗、细及活性炭吸附过滤器,除去原水中各种悬浮颗粒、胶体、有机物、细菌、色素及产生的浊度等.很少用到加... 一、凝聚过滤法预处理原水国内外电子工业用高纯水,大多用市政自来水或厂备深井水作为原水来制备.预处理工艺一般仅包括选用各种粗、细及活性炭吸附过滤器,除去原水中各种悬浮颗粒、胶体、有机物、细菌、色素及产生的浊度等.很少用到加药凝聚过滤预处理. 展开更多
关键词 高纯水 凝聚过滤法 复床混床
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