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功能梯度类金刚石薄膜的脉冲激光制备
被引量：
4
1
作者
魏秋明
J.Sankar
J.Narayan
《金属热处理学报》
CSCD
2000年第2期57-63,共7页
长期以来 ,高质量的纯类金刚石薄膜的成功制备一直受其巨大内部压应力的阻碍 ,因为这种压应力导致严重的附着问题。厚度大于 50 0nm的类金刚石薄膜中的压应力常使薄膜与基体剥离。作者采用功能梯度的设计概念 ,应用准分子脉冲激光沉积方...
长期以来 ,高质量的纯类金刚石薄膜的成功制备一直受其巨大内部压应力的阻碍 ,因为这种压应力导致严重的附着问题。厚度大于 50 0nm的类金刚石薄膜中的压应力常使薄膜与基体剥离。作者采用功能梯度的设计概念 ,应用准分子脉冲激光沉积方法 ,成功制备了厚度超过 1 0 μm的高质量类金刚石薄膜。薄膜中的SP3碳原子含量超过 6 0 %。纳米硬度测试表明 ,薄膜的弹性模量高达 50 0GPa ,纳米硬度高达 6 0GPa ,薄膜与基体间附着良好。证明功能梯度的设计概念可以用于制备较厚的超硬类金刚石薄膜。
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关键词
类金刚石薄膜
功能梯度设计
准分子
脉冲
激光
沉积
原文传递
制膜技术与装置
2
《中国光学与应用光学》
2007年第1期64-65,共2页
关键词
准分子
脉冲
激光
沉积
薄膜材料
汽相
沉积
FESI
复合薄膜
SBN
Δ掺杂
制膜技术
声表面波器件
声学器件
透射光谱
激光
沉积
法
衬底
基片
PLD
装置
下载PDF
职称材料
准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究
被引量：
7
3
作者
章宁琳
宋志棠
+2 位作者
邢溯
万青
林成鲁
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期345-348,共4页
采用准分子脉冲激光沉积法 (PLD)分别在Pt/Ti/SiO2 /Si和SiO2 /Si衬底上制备了ZrO2 薄膜 ,采用扩展电阻法 (SRP)研究了薄膜纵向电阻分布 ;采用X射线衍射法 (XRD)研究了衬底温度对ZrO2 薄膜结晶性能的影响 ;精确测试了薄膜的表面粗糙度 ...
采用准分子脉冲激光沉积法 (PLD)分别在Pt/Ti/SiO2 /Si和SiO2 /Si衬底上制备了ZrO2 薄膜 ,采用扩展电阻法 (SRP)研究了薄膜纵向电阻分布 ;采用X射线衍射法 (XRD)研究了衬底温度对ZrO2 薄膜结晶性能的影响 ;精确测试了薄膜的表面粗糙度 ;讨论了薄膜结晶性能与其电学I V特性之间的关系。
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关键词
准分子
脉冲
激光
沉积
法
ZRO2薄膜
衬底温度
结晶结构
电学性能
原文传递
AlN薄膜的KrF准分子脉冲激光沉积
被引量：
1
4
作者
丁艳芳
门传玲
+2 位作者
陈韬
朱自强
林成鲁
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1831-1833,1836,共4页
研究了采用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上AlN薄膜的制备及其性质。结果表明,衬底温度从室温到800℃的范围内,所得到的AlN薄膜为(002)择优取向的纤锌矿结构。随着衬底温度的升高,AlN薄膜从纳米晶结构转为多晶结构,同时表面微粗...
研究了采用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上AlN薄膜的制备及其性质。结果表明,衬底温度从室温到800℃的范围内,所得到的AlN薄膜为(002)择优取向的纤锌矿结构。随着衬底温度的升高,AlN薄膜从纳米晶结构转为多晶结构,同时表面微粗糙度上升。AlN晶粒呈柱状生长机制。
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关键词
A1N薄膜
KrF
准分子
脉冲
激光
沉积
微结构
下载PDF
职称材料
题名
功能梯度类金刚石薄膜的脉冲激光制备
被引量：
4
1
作者
魏秋明
J.Sankar
J.Narayan
机构
NSF Center for Advanced Materials and Smart Structures
Department of Materials Science and Engineering
出处
《金属热处理学报》
CSCD
2000年第2期57-63,共7页
基金
美国国家科学基金!通过NSF CAMSS资助
文摘
长期以来 ,高质量的纯类金刚石薄膜的成功制备一直受其巨大内部压应力的阻碍 ,因为这种压应力导致严重的附着问题。厚度大于 50 0nm的类金刚石薄膜中的压应力常使薄膜与基体剥离。作者采用功能梯度的设计概念 ,应用准分子脉冲激光沉积方法 ,成功制备了厚度超过 1 0 μm的高质量类金刚石薄膜。薄膜中的SP3碳原子含量超过 6 0 %。纳米硬度测试表明 ,薄膜的弹性模量高达 50 0GPa ,纳米硬度高达 6 0GPa ,薄膜与基体间附着良好。证明功能梯度的设计概念可以用于制备较厚的超硬类金刚石薄膜。
关键词
类金刚石薄膜
功能梯度设计
准分子
脉冲
激光
沉积
Keywords
diamondlike carbon
thin films
functionally gradient design
pulsed laser desposition
分类号
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
TB43 [一般工业技术]
原文传递
题名
制膜技术与装置
2
出处
《中国光学与应用光学》
2007年第1期64-65,共2页
关键词
准分子
脉冲
激光
沉积
薄膜材料
汽相
沉积
FESI
复合薄膜
SBN
Δ掺杂
制膜技术
声表面波器件
声学器件
透射光谱
激光
沉积
法
衬底
基片
PLD
装置
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究
被引量：
7
3
作者
章宁琳
宋志棠
邢溯
万青
林成鲁
机构
中国科学院上海微系统和信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期345-348,共4页
基金
国家 973(G2 0 0 0 0 36 5 0 6 )
国家自然科学基金 (J96 0 2 0 2 s和 90 10 10 12 )资助项目
文摘
采用准分子脉冲激光沉积法 (PLD)分别在Pt/Ti/SiO2 /Si和SiO2 /Si衬底上制备了ZrO2 薄膜 ,采用扩展电阻法 (SRP)研究了薄膜纵向电阻分布 ;采用X射线衍射法 (XRD)研究了衬底温度对ZrO2 薄膜结晶性能的影响 ;精确测试了薄膜的表面粗糙度 ;讨论了薄膜结晶性能与其电学I V特性之间的关系。
关键词
准分子
脉冲
激光
沉积
法
ZRO2薄膜
衬底温度
结晶结构
电学性能
Keywords
Crystal structure
Deposition
Diffraction
Substrates
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
原文传递
题名
AlN薄膜的KrF准分子脉冲激光沉积
被引量：
1
4
作者
丁艳芳
门传玲
陈韬
朱自强
林成鲁
机构
华东师范大学信息学院
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1831-1833,1836,共4页
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(G2000036506)
文摘
研究了采用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上AlN薄膜的制备及其性质。结果表明,衬底温度从室温到800℃的范围内,所得到的AlN薄膜为(002)择优取向的纤锌矿结构。随着衬底温度的升高,AlN薄膜从纳米晶结构转为多晶结构,同时表面微粗糙度上升。AlN晶粒呈柱状生长机制。
关键词
A1N薄膜
KrF
准分子
脉冲
激光
沉积
微结构
Keywords
A1N thin film
pulsed KrF laser deposition
microstructure
分类号
TN383 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
功能梯度类金刚石薄膜的脉冲激光制备
魏秋明
J.Sankar
J.Narayan
《金属热处理学报》
CSCD
2000
4
原文传递
2
制膜技术与装置
《中国光学与应用光学》
2007
0
下载PDF
职称材料
3
准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究
章宁琳
宋志棠
邢溯
万青
林成鲁
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
7
原文传递
4
AlN薄膜的KrF准分子脉冲激光沉积
丁艳芳
门传玲
陈韬
朱自强
林成鲁
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
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