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我国微纳几何量计量技术的研究进展 被引量：14
1
作者 高思田 李琪 +2 位作者 施玉书 李伟 黄鹭 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期1822-1829,共8页
随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先... 随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先优势,国外先进国家一直高度重视微纳几何量计量技术的研究。目前,我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置,并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。对我国现有的微纳几何量计量技术与计量标准装置进行了回顾和介绍,并对我国微纳计量的未来发展做出了展望。 展开更多
关键词 微纳几何量 关键尺寸 量值准确 溯源 标准装置
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集成电路制造在线光学测量检测技术:现状、挑战与发展趋势 被引量：10
2
作者 陈修国 王才 +3 位作者 杨天娟 刘佳敏 罗成峰 刘世元 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2022年第9期403-426,共24页
在线测量检测技术与装备是保证集成电路(IC)制造质量和良率的唯一有效技术手段,在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差,以及缺陷等进行快速、非破坏、精确测量与检测。本文首先从尺寸测量和缺陷检测两个方面介绍了IC制造... 在线测量检测技术与装备是保证集成电路(IC)制造质量和良率的唯一有效技术手段,在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差,以及缺陷等进行快速、非破坏、精确测量与检测。本文首先从尺寸测量和缺陷检测两个方面介绍了IC制造在线光学测量检测技术的研究现状。在此基础上,进一步分析了先进技术节点中所面临的一些新的纳米测量挑战,如更小的特征尺寸、更复杂的三维结构。最后,展望了IC制造在线光学测量检测技术的未来发展趋势。 展开更多
关键词 测量 集成电路制造 纳米测量 光学测量 光学检测 关键尺寸 套刻误差 缺陷
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多因素作用下的C形固体电枢优化设计方法 被引量：9
3
作者 李白 鲁军勇 +2 位作者 谭赛 李玉 张永胜 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2870-2875,共6页
针对传统方法在电枢设计中的局限性,以电枢发射过程中应力、温度及质量为优化目标对象,提出了一种将响应面模型与多目标遗传算法相结合的优化设计方法。采用拉丁超立方试验的设计方法,在设计空间抽取样本点,建立了由喉部厚度、臂长、尾... 针对传统方法在电枢设计中的局限性,以电枢发射过程中应力、温度及质量为优化目标对象,提出了一种将响应面模型与多目标遗传算法相结合的优化设计方法。采用拉丁超立方试验的设计方法,在设计空间抽取样本点,建立了由喉部厚度、臂长、尾翼厚度及尾翼倾角等4个参数所决定的初始二阶响应面模型,利用多目标遗传算法NSGA-Ⅱ对响应面模型进行优化,求得Pareto最优解集,并根据最小距离选择法得到了最优妥协解。仿真结果表明,发射过程中电枢的应力、温度及质量不会同时达到最小,但选取的最优妥协解可使得上述3个指标中的其中1个在另外2个指标均不变差的前提下不会取得更小值,实现了电枢的优化设计,且该方法具有较高的准确性和可行性,为电枢结构的改进提供了有效的途径。 展开更多
关键词 电枢 关键尺寸 响应面模型 NSGA-Ⅱ 电枢温度 电枢应力 电枢质量
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基于硅晶格常数的纳米线宽计量技术 被引量：6
4
作者 王芳 施玉书 +1 位作者 张树 李伟 《计量科学与技术》 2022年第4期13-18,47,共7页
随着集成电路中关键尺寸的不断减小,测量精度要求达到原子级才能保证器件的有效性,这给纳米线宽的精确测量带来了新的挑战。2018年第26届国际计量大会提出使用硅{220}晶面间距作为米定义的复现方式,这为原子尺度纳米线宽计量技术提供了... 随着集成电路中关键尺寸的不断减小,测量精度要求达到原子级才能保证器件的有效性,这给纳米线宽的精确测量带来了新的挑战。2018年第26届国际计量大会提出使用硅{220}晶面间距作为米定义的复现方式,这为原子尺度纳米线宽计量技术提供了新的思路与方法。目前,我国已掌握基于硅晶格常数的纳米线宽计量技术的原理,研制了系列小量值纳米线宽标准器,建立了纳米线宽的智能化定值方法,为初步建立我国自己的原子尺度纳米线宽计量溯源体系奠定了基础。此外,介绍了我国纳米线宽计量技术下一阶段的研究目标,并对我国纳米线宽计量技术未来在国际的影响力,以及在我国自主知识产权大规模集成电路发展中的支撑作用作出了展望。 展开更多
关键词 硅晶格常数 纳米线宽 透射电子显微镜 关键尺寸 溯源性
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铝制发罩内板模具开发全流程分析
5
作者 胡勇 陈文峰 +2 位作者 刘新洋 宋铁明 丛立国 《锻造与冲压》 2024年第8期22-24,共3页
当前,整车开发对周期、质量、成本要求越来越严苛,经过设计阶段的精算和回弹补偿后,关键尺寸理论合格率普遍能够达到90%以上的情况,但受各种实际因素的影响,制件的首件合格率难以达到预期目标,与理论存在一定差异;提升制件的首件合格率... 当前,整车开发对周期、质量、成本要求越来越严苛,经过设计阶段的精算和回弹补偿后,关键尺寸理论合格率普遍能够达到90%以上的情况,但受各种实际因素的影响,制件的首件合格率难以达到预期目标,与理论存在一定差异;提升制件的首件合格率,保证尺寸精度,减少尺寸整改.提升产品质量,是所有模具人一致追寻的目标。 展开更多
关键词 模具开发 尺寸精度 流程分析 回弹补偿 关键尺寸 设计阶段 整车开发 合格率
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基于3DCS的双前轴商用车转向拉杆关键尺寸识别方法
6
作者 刘晓 晋振业 +2 位作者 王佳 王玉明 高月辉 《重型汽车》 2024年第3期21-22,共2页
双前轴商用车辆的转向系统杆系多、尺寸链组成环多,转向直拉杆的定位精度直接决定着车辆的直行能力,进而影响着轮胎异常磨损、跑偏等车辆故障率。文章以某国产双前轴商用车为研究对象,借助3DCS分析软件建立三维仿真模型并通过蒙特卡洛... 双前轴商用车辆的转向系统杆系多、尺寸链组成环多,转向直拉杆的定位精度直接决定着车辆的直行能力,进而影响着轮胎异常磨损、跑偏等车辆故障率。文章以某国产双前轴商用车为研究对象,借助3DCS分析软件建立三维仿真模型并通过蒙特卡洛模拟分析法进行仿真计算,求解出直拉杆长度的调节范围,并识别出影响直拉杆参数的关键因素。 展开更多
关键词 双前轴 转向拉杆 尺寸精度 蒙特卡洛 关键尺寸
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质控算法在挤出吹塑制品中的应用研究
7
作者 孙宗涛 杨民 +7 位作者 任德宸 孙铭 林浩 张骁 李清励 任明建 王龙 高一鸣 《上海塑料》 CAS 2024年第2期27-30,共4页
以挤出吹塑成型制品的质量-关键尺寸数学模型为基础,构建吹塑制品的质控算法。该算法可根据吹塑制品质量信息判断制品质量状态,并输出吹塑成型的工艺参数调整意见,从而实现对制品质量的有效控制,并试验验证了该算法的正确性和可行性。
关键词 挤出吹塑 质控算法 关键尺寸
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曝光单元内线宽均匀度优化对产品工艺窗口的提升分析
8
作者 吕煜坤 余寅生 卞玉洋 《集成电路应用》 2024年第5期66-69,共4页
阐述随着半导体工艺节点的发展,关键光刻层的最小线宽变得越来越小,由此导致图形边缘位置误差容许范围也越来越小。其中曝光单元内线宽均匀度提升受光罩制作、曝光行为等多方面影响很难控制,导致很多产品在良率验证时出现在Field固定位... 阐述随着半导体工艺节点的发展,关键光刻层的最小线宽变得越来越小,由此导致图形边缘位置误差容许范围也越来越小。其中曝光单元内线宽均匀度提升受光罩制作、曝光行为等多方面影响很难控制,导致很多产品在良率验证时出现在Field固定位置发生失效的问题。为此,探讨在28nm HKC+工艺的产品上使用不同的补偿方式优化曝光单元内线宽均匀度,旨在寻找快速高效的补偿方式降低Intra-field CDU,提升图形工艺的工艺窗口。 展开更多
关键词 集成电路制造 关键尺寸 曝光单元 线宽均匀度 工艺窗口
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二维正交光栅结构的掠入射小角X射线散射测量
9
作者 方彤 王成龙 喻虹 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期324-331,共8页
掠入射小角X射线散射(GISAXS)可进行光栅纳米结构的高分辨无损测量,有望应对半导体在未来节点的测量挑战。然而,传统的GISAXS方法主要用于线光栅的测量,对于二维正交光栅的测量缺乏较好的方案。本文提出了一种测量二维正交光栅结构关键... 掠入射小角X射线散射(GISAXS)可进行光栅纳米结构的高分辨无损测量,有望应对半导体在未来节点的测量挑战。然而,传统的GISAXS方法主要用于线光栅的测量,对于二维正交光栅的测量缺乏较好的方案。本文提出了一种测量二维正交光栅结构关键尺寸的方法。建立了在任意入射角和旋转角下定位二维正交光栅布拉格峰的理论模型,基于此模型可以从GISAXS散射信号中提取样品倒易空间信息,从而实现三维结构重建。仿真结果表明,该方法可准确测量二维正交光栅纳米结构的立体轮廓,并显著减小所需的旋转扫描角度范围。这将为GISAXS在半导体测量中的应用奠定基础。 展开更多
关键词 X射线光学 X射线散射 周期性纳米结构 关键尺寸
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Micro-OLED显示斜纹Mura的研究及改善
10
作者 杨宗顺 李世鹏 +6 位作者 苏冬冬 李云龙 杨盛际 黄寅虎 单庆山 何云川 陶雄 《科技创新与应用》 2024年第26期96-99,104,共5页
硅基微显示(Micro-OLED)工艺中,在进行驱动线路制备时,需进行化学机械研磨(CMP)处理,保证金属互联层的稳定性及均一性。不同材料对CMP工艺的耐受性存在差别,切割道或净空区通常为介电材料层(SiO、SiNx等绝缘层),较金属膜层区域更易受CM... 硅基微显示(Micro-OLED)工艺中,在进行驱动线路制备时,需进行化学机械研磨(CMP)处理,保证金属互联层的稳定性及均一性。不同材料对CMP工艺的耐受性存在差别,切割道或净空区通常为介电材料层(SiO、SiNx等绝缘层),较金属膜层区域更易受CMP磨损,经过多次CMP制程后段差累积加深。在进行Spin涂胶工艺时,段差区偏大(>1μm)会引起涂胶、显影后的关键尺寸(CD)差异过大,造成斜纹Mura显示不良。验证发现,调试不同曝光能量与CD均一性无明显相关性;Spin涂胶转速调整对显影后CD均一性有一定改善,但效果有限,无法完全改善。胶厚0.8~2.5μm验证中,当Spin涂覆胶厚大于2.0μm时,能有效减弱涂胶过程的飞溅效应,斜纹Mura的发生率降低到0%。作为根本防止措施,可在切割道或Dummy区域设计与CMP当层相同的Dummy Pattern,提升CMP工艺制程均一性,从而确保斜纹Mura发生率小于0%。 展开更多
关键词 微显示 涂覆 关键尺寸 不均一 化学机械研磨
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摆线偏心轴加工工艺及专用工装设计研究 被引量：5
11
作者 张毅锋 龙文武 +1 位作者 曹义东 关晓琼 《制造技术与机床》 北大核心 2022年第2期99-104,共6页
摆线减速器作为一种新型减速器,可用于火炮炮塔传动机构、工业机器人、数控机床和雷达等方面。摆线偏心轴作为摆线减速器的核心零件,被称为“摆线轨迹发生器”,决定了摆线减速器的性能,所以摆线偏心轴的加工就成为了摆线减速器的关键技... 摆线减速器作为一种新型减速器,可用于火炮炮塔传动机构、工业机器人、数控机床和雷达等方面。摆线偏心轴作为摆线减速器的核心零件,被称为“摆线轨迹发生器”,决定了摆线减速器的性能,所以摆线偏心轴的加工就成为了摆线减速器的关键技术之一。为了提高摆线偏心轴的合格率,该文从摆线偏心轴的结构形式出发,阐述了摆线偏心轴在摆线齿轮相位形成中的作用,通过3层偏心台阶摆线偏心轴工程技术要求对其进行了工艺分析,制定了加工工艺流程,针对摆线偏心轴的成型设计了摆线偏心轴精加工工装,特别指出了专用工装设计中的关键点,按照编写工艺卡片进行了摆线偏心轴的加工。经实物测量,摆线偏心轴关键尺寸合格率为100%,表明了该工艺及专用工装的设计研究的有效性。 展开更多
关键词 摆线偏心轴 工艺分析 摆线偏心轴精加工工装 关键尺寸
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内禀硅晶格常数的22纳米线宽标准器研制
12
作者 王芳 施玉书 张树 《计量科学与技术》 2024年第2期10-15,59,共7页
纳米线宽作为典型纳米几何特征参量之一,其量值准确性对于先进制造等领域尤为重要。随着纳米尺度向着极小尺寸发展,测量精度要求达到亚纳米级,这给纳米线宽的精确测量带来了新的挑战。2018年第26届国际计量大会提出使用硅{220}晶面间距... 纳米线宽作为典型纳米几何特征参量之一,其量值准确性对于先进制造等领域尤为重要。随着纳米尺度向着极小尺寸发展,测量精度要求达到亚纳米级,这给纳米线宽的精确测量带来了新的挑战。2018年第26届国际计量大会提出使用硅{220}晶面间距作为米定义的复现方式,这为原子尺度纳米线宽计量技术提供了新的思路与方法。基于多层膜沉积技术制备了22 nm内禀硅晶格的线宽标准器,采用高分辨透射电子显微镜,以标准器中的硅晶格常数为标尺实现对纳米线宽的直接测量,测量不确定度优于1 nm。 展开更多
关键词 计量学 硅晶格常数 纳米线宽 透射电子显微镜 关键尺寸 溯源性
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数学建模在吹塑制品关键尺寸控制中的应用研究 被引量：1
13
作者 孙宗涛 林浩 +5 位作者 任明建 王龙 孙铭 张培培 杨民 李波 《上海塑料》 CAS 2023年第3期48-51,共4页
以喷雾喷粉机的药箱为研究对象,通过Matlab软件构建吹塑制品“质量-关键尺寸”的数学模型,求取吹塑制品关键尺寸与吹塑制品质量之间的函数关系。通过对吹塑制品进行称重,实时监控吹塑制品关键尺寸的状态,并根据尺寸状态及时调整吹塑参数... 以喷雾喷粉机的药箱为研究对象,通过Matlab软件构建吹塑制品“质量-关键尺寸”的数学模型,求取吹塑制品关键尺寸与吹塑制品质量之间的函数关系。通过对吹塑制品进行称重,实时监控吹塑制品关键尺寸的状态,并根据尺寸状态及时调整吹塑参数,以保证吹塑制品质量的稳定性。 展开更多
关键词 吹塑制品 关键尺寸 监控 数学模型
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案例二:关键零件内滚道关键尺寸精密测量技术助力航天器研制
14
作者 马遥 陈权 《中国计量》 2023年第6期35-38,共4页
1案例概况1.1背景摘要近年来,伴随航天器研制任务的多样化,越来越多新的设计工艺投入生产,对零部件精密测试提出了更高的要求。例如机械臂主轴套、齿轮轴等,采用了同一类将轴承内滚道直接加工至钛合金基体的关键件回转类零件内孔中的设... 1案例概况1.1背景摘要近年来,伴随航天器研制任务的多样化,越来越多新的设计工艺投入生产,对零部件精密测试提出了更高的要求。例如机械臂主轴套、齿轮轴等,采用了同一类将轴承内滚道直接加工至钛合金基体的关键件回转类零件内孔中的设计及加工工艺。 展开更多
关键词 齿轮轴 精密测量技术 精密测试 尺寸精度 关键尺寸 钛合金基 关键件 机械臂
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面向功能的产品变参数设计方法研究 被引量：2
15
作者 刘敏 潘晓弘 +2 位作者 程耀东 钱碧波 王正肖 《机械设计与研究》 EI CSCD 北大核心 1998年第3期12-14,共3页
在分析传统设计方法的基础上，本文提出面向产品功能的变参数设计模型加快产品的开发、设计过程，并成功地将该设计模型应用于多圆弧减速器系列化设计系统的研究开发之中。
关键词 功能型零件 面向功能 关键尺寸 建模 产品设计
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蚀刻腔条件对刻蚀工艺的影响研究 被引量：4
16
作者 陈乐乐 朱亮 +3 位作者 包大勇 季高明 蔡辉 李东霞 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1088-1090,1094,共4页
在ULSI制造中蚀刻腔条件的变化是导致刻蚀工艺重复性差的一个重要原因。在刻蚀过程中,一层聚合物会淀积在蚀刻腔壁上。通过XPS分析得知,聚合物的主要成分为(CF2)n。实验过程发现不同的聚合物量会影响等离子体中CF2基团的浓度。聚合物越... 在ULSI制造中蚀刻腔条件的变化是导致刻蚀工艺重复性差的一个重要原因。在刻蚀过程中,一层聚合物会淀积在蚀刻腔壁上。通过XPS分析得知,聚合物的主要成分为(CF2)n。实验过程发现不同的聚合物量会影响等离子体中CF2基团的浓度。聚合物越多,CF2浓度越高;反之,聚合物越少,CF2浓度就越低。在这种情况下,蚀刻腔上的聚合物被认为是等离子中CF2基团的一个源。CF2浓度的变化又导致最终刻蚀特性(CD,蚀刻率)的变化和工艺漂移。 展开更多
关键词 蚀刻腔条件 SiO2刻蚀 关键尺寸
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CD-AFM在45nm节点半导体芯片检测过程中的应用 被引量：4
17
作者 殷伯华 初明璋 +1 位作者 林云生 韩立 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期127-130,共4页
本文介绍了关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)在半导体芯片制造中的应用。通过对比现有的半导体检测仪器与原子力显微镜的工作原理和检测方法,详细探讨了原子力显微镜在目前的半导体芯片45nm节点工艺关键尺寸检测中的优势地位。根据芯片在... 本文介绍了关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)在半导体芯片制造中的应用。通过对比现有的半导体检测仪器与原子力显微镜的工作原理和检测方法,详细探讨了原子力显微镜在目前的半导体芯片45nm节点工艺关键尺寸检测中的优势地位。根据芯片在线关键尺寸检测的具体要求,提出了原子力显微镜急待解决的相关研究内容。 展开更多
关键词 关键尺寸 原子力显微镜 扫描电子显微镜 3D图像
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汽车座椅舒适性分析研究 被引量：4
18
作者 张忠海 胡仁其 《汽车与配件》 2021年第8期67-70,共4页
随着社会的进步,汽车行业飞速发展,人们对汽车座椅舒适性的要求也越来越高。而影响汽车座椅舒适性的因素众多,文章通过对比不同车型上座椅关键尺寸、发泡硬度、发泡结构、座椅骨架结构及面套结构等差异,分析不同因素对座椅乘坐舒适性的... 随着社会的进步,汽车行业飞速发展,人们对汽车座椅舒适性的要求也越来越高。而影响汽车座椅舒适性的因素众多,文章通过对比不同车型上座椅关键尺寸、发泡硬度、发泡结构、座椅骨架结构及面套结构等差异,分析不同因素对座椅乘坐舒适性的影响,并在文中最后讨论了一种测试座椅舒适性方法-座椅挠度测试方法。汽车座椅通常由骨架、发泡、面套、头枕、调节装置以及其它组件构成。 展开更多
关键词 汽车座椅 调节装置 乘坐舒适性 座椅骨架 关键尺寸 挠度测试 汽车行业 舒适性分析
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半球型动压气体轴承关键尺寸影响分析
19
作者 闫亚超 王建青 +1 位作者 党建军 张海雄 《微特电机》 2023年第4期15-19,共5页
在雷诺方程和惠普尔平行槽对称压力分布理论的基础上,建立半球型动压轴承的分析模型。以某型号高精度三浮陀螺用半球型动压轴承结构参数特征为例,通过改变半球轴承结构参数,分析了输出指标的变化规律。结果显示,轴承半径与输出指标呈线... 在雷诺方程和惠普尔平行槽对称压力分布理论的基础上,建立半球型动压轴承的分析模型。以某型号高精度三浮陀螺用半球型动压轴承结构参数特征为例,通过改变半球轴承结构参数,分析了输出指标的变化规律。结果显示,轴承半径与输出指标呈线性变化规律,轴承螺旋槽结构参数与轴承的力学性能呈非线性关系,轴承间隙对轴承的刚度特性呈幂指数关系。计算结果与测试结果进行了对比,其误差在20%以内。 展开更多
关键词 半球型轴承 气体轴承 关键尺寸
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呼吸对人体尺寸的影响 被引量：3
20
作者 李雪君 《纺织科技进展》 CAS 2015年第6期59-61,共3页
通过对三种不同呼吸状态、两种身体姿态下30位实验模特人体关键部位尺寸测量数据的对比分析及不同呼吸状态下呼吸松量与被测者关键部位尺寸、身高和BMI指数的相关性分析,发现呼吸对人体胸围、腰围尺寸有明显影响,对臀围、背长尺寸几乎... 通过对三种不同呼吸状态、两种身体姿态下30位实验模特人体关键部位尺寸测量数据的对比分析及不同呼吸状态下呼吸松量与被测者关键部位尺寸、身高和BMI指数的相关性分析,发现呼吸对人体胸围、腰围尺寸有明显影响,对臀围、背长尺寸几乎没有影响。其影响与胸腰围位静态尺寸、人体身高及BMI指数均略有相关,但相关性不显著。 展开更多
关键词 呼吸松量 关键尺寸 身高 BMI指数
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