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超短激光脉冲对硅表面微构造的研究
被引量:
38
1
作者
李平
王煜
+3 位作者
冯国进
郑春弟
赵利
朱京涛
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期1688-1691,共4页
在特定的气体氛围下,用一定能量密度的超短脉冲激光连续照射单晶硅片表面,制备出表面具有准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的“黑硅”新材料。不同背景气体下的实验表明,激光脉宽和背景气体对表面微构造的形成起着决定性的作用。具...
在特定的气体氛围下,用一定能量密度的超短脉冲激光连续照射单晶硅片表面,制备出表面具有准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的“黑硅”新材料。不同背景气体下的实验表明,激光脉宽和背景气体对表面微构造的形成起着决定性的作用。具体分析了SF6气体氛围中,皮秒和飞秒激光脉冲作用下硅表面微结构的演化过程。虽然两者均可造成硅表面的准规则排列微米量级尖峰结构,但不同脉冲宽度的激光与硅表面相互作用的物理机制并不相同。在皮秒激光脉冲作用下,尖峰结构形成之前硅片表面先熔化;而飞秒激光脉冲作用下尖峰的演化过程中始终没有出现液相。对材料的光辐射吸收的初步研究表明,该材料对1.5~16μm的红外光辐射吸收率不低于80%。
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关键词
激
光
技术
表面微构造
硅
超短激
光
脉冲
光辐射
吸收
原文传递
黑腔光辐射吸收比的测量
2
作者
马振生
《计量技术》
北大核心
1998年第11期23-25,共3页
一、概述在光辐射测量中,常要用黑腔将测量过程中的某些应扣除掉的光辐射通量吸收掉。一般情况下,由于黑腔对光辐射的吸收是无选择性的,而且黑腔的吸收比σ又近似等于1,因此在准确度要求不太高的光辐射测量中,将黑腔的吸收比σ近...
一、概述在光辐射测量中,常要用黑腔将测量过程中的某些应扣除掉的光辐射通量吸收掉。一般情况下,由于黑腔对光辐射的吸收是无选择性的,而且黑腔的吸收比σ又近似等于1,因此在准确度要求不太高的光辐射测量中,将黑腔的吸收比σ近似取为1,不会对测量结果有明显的影...
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关键词
黑腔
光辐射
吸收
比
测量装置
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职称材料
题名
超短激光脉冲对硅表面微构造的研究
被引量:
38
1
作者
李平
王煜
冯国进
郑春弟
赵利
朱京涛
机构
中国计量科学研究院光学材料与光谱实验室
复旦大学物理系表面物理国家重点实验室
同济大学物理系精密光学工程技术研究所
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期1688-1691,共4页
基金
国家自然科学基金(10321003)资助项目。
文摘
在特定的气体氛围下,用一定能量密度的超短脉冲激光连续照射单晶硅片表面,制备出表面具有准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的“黑硅”新材料。不同背景气体下的实验表明,激光脉宽和背景气体对表面微构造的形成起着决定性的作用。具体分析了SF6气体氛围中,皮秒和飞秒激光脉冲作用下硅表面微结构的演化过程。虽然两者均可造成硅表面的准规则排列微米量级尖峰结构,但不同脉冲宽度的激光与硅表面相互作用的物理机制并不相同。在皮秒激光脉冲作用下,尖峰结构形成之前硅片表面先熔化;而飞秒激光脉冲作用下尖峰的演化过程中始终没有出现液相。对材料的光辐射吸收的初步研究表明,该材料对1.5~16μm的红外光辐射吸收率不低于80%。
关键词
激
光
技术
表面微构造
硅
超短激
光
脉冲
光辐射
吸收
Keywords
laser technique
surface micro-structuring
silicon
ultra short laser pulse
light absorption
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
O613.72 [理学—无机化学]
原文传递
题名
黑腔光辐射吸收比的测量
2
作者
马振生
机构
中国计量科学研究院
出处
《计量技术》
北大核心
1998年第11期23-25,共3页
文摘
一、概述在光辐射测量中,常要用黑腔将测量过程中的某些应扣除掉的光辐射通量吸收掉。一般情况下,由于黑腔对光辐射的吸收是无选择性的,而且黑腔的吸收比σ又近似等于1,因此在准确度要求不太高的光辐射测量中,将黑腔的吸收比σ近似取为1,不会对测量结果有明显的影...
关键词
黑腔
光辐射
吸收
比
测量装置
分类号
O432.1 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超短激光脉冲对硅表面微构造的研究
李平
王煜
冯国进
郑春弟
赵利
朱京涛
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
38
原文传递
2
黑腔光辐射吸收比的测量
马振生
《计量技术》
北大核心
1998
0
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
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