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精密光栅角位移传感器的设计 被引量：4
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作者 李敏 《中央民族大学学报（自然科学版）》 2003年第2期145-150,共6页
　本文论述了一种精密光栅角位移测量系统,它体积小、重量轻、精度可达±1 5秒.并以此测量系统为例,介绍光栅角位移传感器的用途及测量原理,论述其结构设计及选型原则,并对光栅角位移传感器的误差进行了仔细分析.
关键词 精密光栅角位移测量系统 光栅角位移传感器 测量原理 结构设计 选型原则
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