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一种高分辨率和高频响的光栅纳米测量细分方法 被引量：14
1
作者 余文新 胡小唐 邹自强 《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期1-4,共4页
提出了一种高分辨率、高频响的光栅纳米测量细分方法——动态跟踪细分法 .它综合了计算机正切细分法细分份数大、电阻链细分法工作速度快、频响亮的优点 ,电路原理清晰、结构简单 ,能够同时适用于动态和静态测量 ,较好地解决了光栅纳米... 提出了一种高分辨率、高频响的光栅纳米测量细分方法——动态跟踪细分法 .它综合了计算机正切细分法细分份数大、电阻链细分法工作速度快、频响亮的优点 ,电路原理清晰、结构简单 ,能够同时适用于动态和静态测量 ,较好地解决了光栅纳米测量的信号处理过程中的高速度与高分辨率、高准确度的矛盾 .实验表明 ,动态跟踪细分法能够在 40 0细分时实现10 0 k Hz以上的频率响应速度 ,配合信号周期 2μm的光栅传感器 ,可以得到 5 nm的测量分辨率 ,为光栅纳米测量技术应用于实时测量和实时控制打下了良好的基础 。 展开更多
关键词 光栅纳米测量 莫尔条纹 分辨率 动态跟踪细分法 频率响应 信号处理
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叠栅条纹信号细分误差的一种动态补偿方法 被引量：7
2
作者 朴伟英 袁怡宝 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1301-1306,共6页
缺乏有效的误差补偿方法是制约长光栅测量精度提高的关键原因之一。提出一种动态的误差补偿方法,可以消除由直流漂移、两路信号不等幅和非正交导致的细分误差。其原理是跟踪光栅信号在一个周期上的8个特征值点(正余弦信号的过零点及绝... 缺乏有效的误差补偿方法是制约长光栅测量精度提高的关键原因之一。提出一种动态的误差补偿方法,可以消除由直流漂移、两路信号不等幅和非正交导致的细分误差。其原理是跟踪光栅信号在一个周期上的8个特征值点(正余弦信号的过零点及绝对值交点),从特征值点的幅度值中首先分解出正弦信号的直流漂移误差,对其进行补偿;然后继续跟踪补偿后的信号,从中又能分解出余弦信号的直流漂移误差。再补偿,再跟踪,又能依次分解出不等幅误差和非正交误差。最多只需要3个光栅信号周期,就能对三种误差依次实现补偿。分析了谐波对该方法的影响并提出了改进措施。实验证实了该方法的有效性。 展开更多
关键词 光学测量 动态误差补偿 参量连续性 细分误差 光栅纳米测量
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光栅纳米测量的研究与进展 被引量：5
3
作者 马修水 费业泰 +2 位作者 陈晓怀 李桂华 权继平 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第4期53-55,共3页
概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的纳米光栅测量系统的测量原理及其关键技术,重点讨论了基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理。在对上述各测量系统分析研究的基础上,指出光... 概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的纳米光栅测量系统的测量原理及其关键技术,重点讨论了基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理。在对上述各测量系统分析研究的基础上,指出光栅纳米测量进一步研究的关键在于:研究基于新型测量原理的光栅纳米测量系统,研制光栅纳米测量系统的精密机械调整机构、光电信号处理和细分技术、误差分离和修正技术等。 展开更多
关键词 光栅纳米测量 双光栅测量系统 炫耀光栅 误差修正技术 二次莫尔条纹
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纳米测量精度光栅传感器研究综述 被引量：3
4
作者 马修水 费业泰 +2 位作者 陈晓怀 李桂华 权继平 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2006年第9期69-72,共4页
概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的光栅纳米测量系统、基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理,介绍了纳米测量精度光栅传感器研究的关键技术。
关键词 光栅纳米测量 双光栅测量系统 炫耀光栅 误差修正技术 二次莫尔条纹
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非同步采样法的光栅纳米测量 被引量：5
5
作者 徐从裕 余晓芬 《计量学报》 CSCD 北大核心 2008年第4期293-296,共4页
光栅计量技术向纳米测量发展需要更高的光栅细分倍数。基于所研制的快速互补函数细分算法,细分精度即仅取决于测量启停时刻的光栅信号采样精度,选用市场上货源丰富的、低成本的扫描式多通道模数转换卡,即可实现光栅纳米测量所需的高倍... 光栅计量技术向纳米测量发展需要更高的光栅细分倍数。基于所研制的快速互补函数细分算法,细分精度即仅取决于测量启停时刻的光栅信号采样精度,选用市场上货源丰富的、低成本的扫描式多通道模数转换卡,即可实现光栅纳米测量所需的高倍数细分。在测量的启停时刻对光栅信号进行精确测量,在测量过程中对光栅信号进行快速跟踪测量。实验表明,当采用15位200 kHz的A/D转换卡对20μm栅距的光栅信号进行非同步采样时,可以得到小于1 nm的测量分辨率及大于120 mm/s的测量速度。 展开更多
关键词 计量学 光栅纳米测量 非同步采样 数据处理 分辨率
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基于TMS320F28335+PCI的光栅纳米测量卡的设计 被引量：1
6
作者 郭言文 徐从裕 《电子测量技术》 2013年第6期100-104,共5页
光栅纳米测量卡精度高,动态测量范围广,广泛应用于现代几何量计量设备中。目前国内市场上的光栅测量卡主要来自于国外,价格昂贵,自主产品比较少。为了打破这一现状,设计了一种基于DSP+PCI的光栅纳米测量卡,通过预放大电路对光栅信号进... 光栅纳米测量卡精度高,动态测量范围广,广泛应用于现代几何量计量设备中。目前国内市场上的光栅测量卡主要来自于国外,价格昂贵,自主产品比较少。为了打破这一现状,设计了一种基于DSP+PCI的光栅纳米测量卡,通过预放大电路对光栅信号进行处理,采用TMS320F28335对处理的光栅信号进行细分处理,基于PCI接口芯片CH365与计算机相连,实现高精度、快速光栅纳米在线测量。实验表明,运用光栅纳米测量卡测量的位移达到了纳米级。 展开更多
关键词 光栅纳米测量 TMS320F28335 PCI
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