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GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统检测长光栅传感器误差分析及评定
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作者 赵安太 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第S1期154-160,共7页
对"GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统"进行了较系统的误差分析,用仪器的系统误差和随机误差合成的方法,评定本仪器测试长光栅传感器光栅位置误差的不确定度.
关键词 光栅检验 光栅传感器 光栅检查仪 误差分析
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