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GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统检测长光栅传感器误差分析及评定
1
作者
赵安太
《光电工程》
CAS
CSCD
1999年第S1期154-160,共7页
对"GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统"进行了较系统的误差分析,用仪器的系统误差和随机误差合成的方法,评定本仪器测试长光栅传感器光栅位置误差的不确定度.
关键词
光栅
检验
光栅
传感器
光栅
检查仪
误差分析
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职称材料
题名
GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统检测长光栅传感器误差分析及评定
1
作者
赵安太
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1999年第S1期154-160,共7页
文摘
对"GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统"进行了较系统的误差分析,用仪器的系统误差和随机误差合成的方法,评定本仪器测试长光栅传感器光栅位置误差的不确定度.
关键词
光栅
检验
光栅
传感器
光栅
检查仪
误差分析
Keywords
Grating testing, Grating sensors, Grating inspection devices, Error analysis.
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统检测长光栅传感器误差分析及评定
赵安太
《光电工程》
CAS
CSCD
1999
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