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刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法
被引量：
12
1
作者
李晓天
巴音贺希格
+2 位作者
齐向东
于海利
唐玉国
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期35-44,共10页
光栅刻线误差与基底面型误差影响平面光栅衍射波前、分辨本领、鬼线、卫线及杂散光等光谱性能,研究光栅性能指标与光栅刻线误差及基底加工误差之间的因果关系,对提高光栅质量极为重要。根据光栅衍射中产生的源于刻线误差与面型误差的光...
光栅刻线误差与基底面型误差影响平面光栅衍射波前、分辨本领、鬼线、卫线及杂散光等光谱性能,研究光栅性能指标与光栅刻线误差及基底加工误差之间的因果关系,对提高光栅质量极为重要。根据光栅衍射中产生的源于刻线误差与面型误差的光程差,推导出了在光栅锥面衍射情况下的光栅刻线误差、基底面型误差、入射角θ、衍射级次m与衍射波前关系的数学表达式,得到构建非理想光栅衍射波前的理论模型。以理论模型为依据,采用干涉仪测量光栅对称级次衍射波前,实现在测量结果中对光栅刻线误差与基底面型误差的分离,并基于二维快速傅里叶变换分析光栅衍射波前,考察了刻线误差与面型误差对光栅性能指标的影响。借助此方法通过重构的光栅衍射波前,分析光栅分辨本领、鬼线等光谱性能,还可以反演光栅全表面刻线误差与面型误差的大小,为光栅基底加工、光栅制造和使用技术提供理论依据。
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关键词
光栅
快速傅里叶变换
衍射波前
光栅
指标
光栅
刻线
误差
原文传递
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法
被引量：
19
2
作者
李晓天
巴音贺希格
+2 位作者
齐向东
于海利
唐玉国
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期227-234,共8页
机械刻划法是制作平面光栅的重要方法之一。深入分析了机械刻划光栅的等间距刻线弯曲和刻线位置误差对平面光栅分辨本领和杂散光等光谱性能的影响,对改善光栅质量和提高应用水平有重要的意义。根据费马原理,建立了单色平行光入射、含有...
机械刻划法是制作平面光栅的重要方法之一。深入分析了机械刻划光栅的等间距刻线弯曲和刻线位置误差对平面光栅分辨本领和杂散光等光谱性能的影响,对改善光栅质量和提高应用水平有重要的意义。根据费马原理,建立了单色平行光入射、含有刻线弯曲和刻线位置误差的平面光栅在焦平面上成像的光线追迹数学模型,研究了上述两种刻线误差对光栅光谱性能的影响。结果表明,刻线弯曲和刻线位置误差分别主要影响光栅弧矢和子午方向光谱性能,刻线弯曲对光栅分辨本领和杂散光影响较小。据此对光栅刻划机刻划系统进行了修正。修正后的刻划系统产生的刻线位置误差的统计平均值降低至原有幅值的一半以下,从而有效抑制了光栅杂散光。
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关键词
光栅
平面
光栅
光栅
刻线
弯曲
光栅
刻线
位置
误差
衍射波前
光栅
指标
原文传递
题名
刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法
被引量：
12
1
作者
李晓天
巴音贺希格
齐向东
于海利
唐玉国
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期35-44,共10页
基金
国家自然科学基金(60478034)
国家创新方法工作专项项目(2008IM040700)
+2 种基金
国家重大科研装备研制项目(ZDY2008-1)
国家重大科学仪器设备开发专项项目(11YQ120023)
吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)资助课题
文摘
光栅刻线误差与基底面型误差影响平面光栅衍射波前、分辨本领、鬼线、卫线及杂散光等光谱性能,研究光栅性能指标与光栅刻线误差及基底加工误差之间的因果关系,对提高光栅质量极为重要。根据光栅衍射中产生的源于刻线误差与面型误差的光程差,推导出了在光栅锥面衍射情况下的光栅刻线误差、基底面型误差、入射角θ、衍射级次m与衍射波前关系的数学表达式,得到构建非理想光栅衍射波前的理论模型。以理论模型为依据,采用干涉仪测量光栅对称级次衍射波前,实现在测量结果中对光栅刻线误差与基底面型误差的分离,并基于二维快速傅里叶变换分析光栅衍射波前,考察了刻线误差与面型误差对光栅性能指标的影响。借助此方法通过重构的光栅衍射波前,分析光栅分辨本领、鬼线等光谱性能,还可以反演光栅全表面刻线误差与面型误差的大小,为光栅基底加工、光栅制造和使用技术提供理论依据。
关键词
光栅
快速傅里叶变换
衍射波前
光栅
指标
光栅
刻线
误差
Keywords
gratings
fast Fourier transform
diffraction wavefront
grating specification
grating line error
分类号
O433.4 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法
被引量：
19
2
作者
李晓天
巴音贺希格
齐向东
于海利
唐玉国
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期227-234,共8页
基金
国家自然科学基金(60478034)
国家创新方法工作专项项目(2008IM040700)
+2 种基金
国家重大科研装备研制项目(ZDY2008-1)
国家重大科学仪器设备开发专项项目(11YQ120023)
吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)资助课题
文摘
机械刻划法是制作平面光栅的重要方法之一。深入分析了机械刻划光栅的等间距刻线弯曲和刻线位置误差对平面光栅分辨本领和杂散光等光谱性能的影响,对改善光栅质量和提高应用水平有重要的意义。根据费马原理,建立了单色平行光入射、含有刻线弯曲和刻线位置误差的平面光栅在焦平面上成像的光线追迹数学模型,研究了上述两种刻线误差对光栅光谱性能的影响。结果表明,刻线弯曲和刻线位置误差分别主要影响光栅弧矢和子午方向光谱性能,刻线弯曲对光栅分辨本领和杂散光影响较小。据此对光栅刻划机刻划系统进行了修正。修正后的刻划系统产生的刻线位置误差的统计平均值降低至原有幅值的一半以下,从而有效抑制了光栅杂散光。
关键词
光栅
平面
光栅
光栅
刻线
弯曲
光栅
刻线
位置
误差
衍射波前
光栅
指标
Keywords
grating plane grating grating line＇s curve grating line＇s location error
diffraction wavefronts grating specification
分类号
O433.4 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法
李晓天
巴音贺希格
齐向东
于海利
唐玉国
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
12
原文传递
2
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法
李晓天
巴音贺希格
齐向东
于海利
唐玉国
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
19
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