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电源管理IC失效模式验证及定位方法 被引量：3
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作者 龚瑜 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期394-400,共7页
电源管理集成电路（IC）的自动测试机（ATE）测试故障主要包括连续性失效、直流参数测试失效、交流参数测试失效和功能测试失效。ATE测试适用于大规模量产的不良产品的筛选,但是将ATE测试结果直接应用于失效分析依然存在覆盖局限性问题... 电源管理集成电路（IC）的自动测试机（ATE）测试故障主要包括连续性失效、直流参数测试失效、交流参数测试失效和功能测试失效。ATE测试适用于大规模量产的不良产品的筛选,但是将ATE测试结果直接应用于失效分析依然存在覆盖局限性问题。针对不同功能测试结果,采用了不同的失效模式验证和分析方法。综合运用I-V曲线测试仪、示波器、函数发生器等仪器进行失效模式验证;使用微光显微镜、光诱导电阻变化仪器进行缺陷的失效定位;并借助电路原理图、版图进行故障假设;分析由过电应力、静电放电损伤、封装缺陷等导致的物理损伤;最终揭示了电源管理IC功能失效的主要原因。 展开更多
关键词 失效定位 功能测试失效 自动测试机(ATE) 微光显微镜(EMMI) 光束诱导电阻变化(obirch)
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