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光场调制技术在超快激光加工中的应用(特邀)
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作者 柴源 闫跃潇 +1 位作者 方红华 孙洪波 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期161-182,共22页
光场调制技术通过改变激光波前振幅、相位、偏振等信息,可以改变焦平面光场分布,实现特种加工。简要介绍了光场调制的原理,以及光场调制技术在无衍射光束加工、多焦点并行加工、图案化光场加工、矢量光场加工和光斑形貌校正等方面的研... 光场调制技术通过改变激光波前振幅、相位、偏振等信息,可以改变焦平面光场分布,实现特种加工。简要介绍了光场调制的原理,以及光场调制技术在无衍射光束加工、多焦点并行加工、图案化光场加工、矢量光场加工和光斑形貌校正等方面的研究进展和应用现状,并对光场调制的问题挑战和未来前景进行展望。 展开更多
关键词 光场调制 超快激光加工 无衍射光束 图案化光场 矢量光场 光斑形貌校正
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