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毫米波三维异质异构集成技术的进展与应用
被引量：
5
1
作者
周亮
黄银山
+2 位作者
杨晓
张成瑞
毛军发
《微波学报》
CSCD
北大核心
2022年第5期91-98,共8页
三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优...
三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。
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关键词
微型化
毫米波
三维异质异构集成
微机电系统(MEMS)
光敏
复合
薄膜
多层布线
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职称材料
掺偶氮苯TiO_(2)/ormosils光敏复合薄膜制备及其光响应特性分析
2
作者
孙莉峰
《塑料助剂》
CAS
2021年第5期23-27,共5页
为实现低反应温度下制备光敏复合材料,于50℃环境下,利用钛酸正四丁酯、4-羟基偶氮苯、无水乙醇等试剂制备掺偶氮苯TiO_(2)/ormosils光敏复合薄膜,并通过紫外可见分光光度计对该材料的光响应特性进行检测。经实验研究发现,在钛含量为0.2...
为实现低反应温度下制备光敏复合材料,于50℃环境下,利用钛酸正四丁酯、4-羟基偶氮苯、无水乙醇等试剂制备掺偶氮苯TiO_(2)/ormosils光敏复合薄膜,并通过紫外可见分光光度计对该材料的光响应特性进行检测。经实验研究发现,在钛含量为0.2 mol,偶氮苯含量为3%(质量分数,下同)的情况下,掺偶氮苯TiO_(2)/ormosils光敏复合薄膜的光响应特性可达到最优水准。
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关键词
光敏
复合
薄膜
二氧化钛
掺偶氮苯
光响应特性
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职称材料
题名
毫米波三维异质异构集成技术的进展与应用
被引量：
5
1
作者
周亮
黄银山
杨晓
张成瑞
毛军发
机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院
出处
《微波学报》
CSCD
北大核心
2022年第5期91-98,共8页
基金
国家自然科学基金(62188102,61831016)。
文摘
三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。
关键词
微型化
毫米波
三维异质异构集成
微机电系统(MEMS)
光敏
复合
薄膜
多层布线
Keywords
miniaturization
millimeter wave
three-dimensional heterogeneous integration
micro-electro-mechanical system(MEMS)
photosensitive composite film
multilayer interconnection
分类号
O441.4 [理学—电磁学]
TN03 [理学—物理]
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职称材料
题名
掺偶氮苯TiO_(2)/ormosils光敏复合薄膜制备及其光响应特性分析
2
作者
孙莉峰
机构
宝鸡职业技术学院
出处
《塑料助剂》
CAS
2021年第5期23-27,共5页
文摘
为实现低反应温度下制备光敏复合材料,于50℃环境下,利用钛酸正四丁酯、4-羟基偶氮苯、无水乙醇等试剂制备掺偶氮苯TiO_(2)/ormosils光敏复合薄膜,并通过紫外可见分光光度计对该材料的光响应特性进行检测。经实验研究发现,在钛含量为0.2 mol,偶氮苯含量为3%(质量分数,下同)的情况下,掺偶氮苯TiO_(2)/ormosils光敏复合薄膜的光响应特性可达到最优水准。
关键词
光敏
复合
薄膜
二氧化钛
掺偶氮苯
光响应特性
Keywords
photosensitive composite film
titanium dioxide
azobenzene doped
photoresponse characteristics
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
毫米波三维异质异构集成技术的进展与应用
周亮
黄银山
杨晓
张成瑞
毛军发
《微波学报》
CSCD
北大核心
2022
5
下载PDF
职称材料
2
掺偶氮苯TiO_(2)/ormosils光敏复合薄膜制备及其光响应特性分析
孙莉峰
《塑料助剂》
CAS
2021
0
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职称材料
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