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纳米级微间距的多波长干涉测量方法 被引量：6
1
作者 沈邦兴 汪威 张海波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期103-108,共6页
多波长干涉测量法适用于纳米级微间距的实时动态非接触测量。纳米级间隙之间的空气形成一层具有光学特性的空气薄膜。该空气薄膜的光强反射率是关于入射光波长和薄膜厚度的函数。在多波长干涉法中,以包含多种波长的复合入射光照射薄膜,... 多波长干涉测量法适用于纳米级微间距的实时动态非接触测量。纳米级间隙之间的空气形成一层具有光学特性的空气薄膜。该空气薄膜的光强反射率是关于入射光波长和薄膜厚度的函数。在多波长干涉法中,以包含多种波长的复合入射光照射薄膜,入射光被空气薄膜分成2部分,一部分穿过薄膜,另一部分则被反射回来。利用一种特殊的方法测得该薄膜的光强反射率,进而根据薄膜厚度与入射光波长和相应的光强反射率之间的函数关系建立方程组。通过对方程组求解,计算出薄膜的厚度。多波长干涉测量法能够避免移相干涉法中移相器所带来的误差,并且可根据不同波长的光波测出的结果相互校正,提高了测量精度。通过实验对多波长干涉测量法进行了验证,实验结果充分证明了系统设计及理论依据的正确性。 展开更多
关键词 纳米测量 多波长干涉 光强反射率
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基于反射光强度检测的棱镜SPR传感器 被引量：5
2
作者 曾捷 梁大开 +1 位作者 杜艳 曾振武 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期159-163,共5页
提出一种基于Kretschmann结构的新型棱镜表面等离子体波共振(SPR)传感方法。基于常规SPR角度检测系统,固定入射光角度,检测不同待测液体介质所对应的光强反射率,实现对液体相关性质的检测。通过建立理论模型和数值模拟,考察棱镜基体类... 提出一种基于Kretschmann结构的新型棱镜表面等离子体波共振(SPR)传感方法。基于常规SPR角度检测系统,固定入射光角度,检测不同待测液体介质所对应的光强反射率,实现对液体相关性质的检测。通过建立理论模型和数值模拟,考察棱镜基体类型、金属薄膜介电常数和厚度、入射光波长等参数对SPR光强反射率的影响,进而提出耦合系数η用以衡量SPR效应强弱和变化趋势。此检测方法可省去常规角度调制系统中精密角度旋转装置,无需实时调整光探测器接收角度,并可根据需要动态调整检测范围。 展开更多
关键词 光强反射率 表面等离子体波共振(SPR) 棱镜结构 液体折射率
原文传递
空间调制傅里叶变换红外光谱仪干涉系统透射效率研究 被引量：2
3
作者 吕金光 梁静秋 +2 位作者 梁中翥 秦余欣 田超 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期850-854,共5页
光学系统表面的反射与材料的吸收会降低空间调制傅里叶变换红外光谱仪中光的透过率。通过对干涉系统透过率函数的计算和对采样干涉图与复原光谱的仿真,结果显示透过率函数作用下的干涉图像对比度下降,复原光谱中的谱线强度发生衰减。分... 光学系统表面的反射与材料的吸收会降低空间调制傅里叶变换红外光谱仪中光的透过率。通过对干涉系统透过率函数的计算和对采样干涉图与复原光谱的仿真,结果显示透过率函数作用下的干涉图像对比度下降,复原光谱中的谱线强度发生衰减。分析表明,干涉图像对比度的下降主要是由分束器对入射光的有效反射引起的,而谱线强度的衰减则是由与增透膜的光强反射率R1、分束膜的光强反射率R2和材料的吸收系数α有关的透射效率函数所决定。通过分析论证,对于本文所研究的光谱波段,可以不考虑材料的吸收,所以透射效率主要由R1和R2决定。由此,将透射效率作为设计指标,根据系统的设计需求,就可以得到增透膜与分束膜光强反射率的容限值。 展开更多
关键词 傅里叶变换光谱仪 透射效率 光强反射率 吸收系数
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半导体技术
4
《中国无线电电子学文摘》 1997年第2期35-46,共12页
关键词 光强反射率 半导体技术 半导体工业 异质结器件 应用前景 微电子技术 GAAS表面 制造技术 敏感特性 优越性
原文传递
GaAs表面光强反射率的温度敏感特性
5
作者 肖韶荣 曾庆城 +1 位作者 管永红 熊黎明 《传感器技术》 CSCD 1996年第6期16-17,20,共3页
对ＧａＡｓ表面光强反射率随温度的变化特性进行了分析，实验结果表明，在一定的温度范围内，其表面光强反射率Ｒ随温度变化的曲线具有开关特性。
关键词 光强反射率 温度 敏感 砷化镓
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光纤SPR传感器测量液体折射率的研究 被引量：9
6
作者 曾捷 梁大开 曹振新 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第1期18-20,共3页
通过一套基于表面等离子体波共振(SPR)效应的新型光纤传感系统,对三种具有相同折射率而类型不同的液体介质进行测试。通过研究SPR传感探头在四种不同液体介质中的光谱输出特性,获得SPR光谱共振波长、最小光强反射率随液体折射率、类型... 通过一套基于表面等离子体波共振(SPR)效应的新型光纤传感系统,对三种具有相同折射率而类型不同的液体介质进行测试。通过研究SPR传感探头在四种不同液体介质中的光谱输出特性,获得SPR光谱共振波长、最小光强反射率随液体折射率、类型不同而改变的特性。这些工作为下一步使用光纤SPR传感探头进行复合材料的固化监测以及加工成型后的应变检测提供了依据。 展开更多
关键词 表面等离子体波共振(SPR) 共振波长 最小光强反射率 折射率
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