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题名硼轻掺杂对a-Si∶H光电导层性能影响的研究
被引量：3
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作者
钱祥忠
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机构
电子科技大学光电子技术系
淮南工业学院数理系淮南
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第3期254-257,共4页
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基金
安徽省自然科学基金资助项目! (99JL0 191)
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文摘
用等离子体增强化学气相沉积法制备了厚为 1μm左右的B轻掺杂a Si∶H光电导层 ,得到了a Si∶H的暗电导率与淀积工艺参数和B掺杂比关系的实验曲线 ,利用该曲线确定了最佳工艺参数和最佳掺杂比。测量了最佳参数下淀积的a Si∶H薄膜的电学和光学性能及其受掺杂比的影响。结果表明 ,当B掺杂比增大时 ,a Si∶H的暗电导率先减小后增大 ,并可发生几个数量级的变化。光电导率减小 ,折射率略有降低 ,线性吸收系数显著增大 ,光学带隙减小。测量的数据表明 ,我们制备的B轻掺杂a Si∶H光电导层满足投影机用液晶光阀的要求。
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关键词
硼轻掺杂
光导层
掺杂比
等离子体增强化学气相沉积
硅氢薄膜
投影机
液晶光阀
非晶半导体
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Keywords
Boron light doped,a Si∶H photoconductive layer,Doping ratio,PECVD
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分类号
TN141
[电子电信—物理电子学]
TN304.2
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题名行业纵横
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出处
《中国印刷物资商情》
1998年第2期41-43,46,共4页
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文摘
“半导体激光光源用非银盐胶印直接版材的研制”在北京通过专家鉴定 由北京印刷学院承担的国家新闻出版署科研项目“半导体激光光源用非银盐胶印直接版材的研制”于1997年12月5日,在北京通过了新闻出版署主持的专家鉴定。 该项目采用静电照相成像原理,利用有机光导体感色范围宽和感光度高的特点,使版材在半导体激光的发光波长范围内(780nm～820mm)
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关键词
半导体激光
光导层
静电照相性能
光谱感光度
包装业
银盐
凹版
丝网版
鳌江
成膜树脂
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分类号
F768
[经济管理—产业经济]
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题名复合光导层液晶光阀的研究
被引量：4
- 3
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作者
于永红
杜丕一
王瑞春
韩高荣
翁文剑
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机构
浙江大学材料系硅材料国家重点实验室
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出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2003年第3期305-308,共4页
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基金
国家自然科学基金(69776004
69890230)
教育部重点基础研究基金的资助
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文摘
介绍了一种具有柱状结构的a-Si:H/nc-Si复合光导层的液晶光阀,复合光导层是通过热蒸发和等离子体辉光放电沉积方法,采用Al诱导a-Si:H制成的。经过测试,这种柱状结构薄膜具有电导各向异性,其横向电导率小于纵向电导率。用这种薄膜制成的液晶光阀其分辨率达到500lp/inch。
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关键词
液晶光阀
柱状结构
a-Si:H/nc-Si
复合光导层
电导率
分辨率
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Keywords
liquid crystal light valve
column microstructure
a- Si:H/nc- Si composite film
photoconductor
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分类号
TN141.9
[电子电信—物理电子学]
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