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题名基于太赫兹时域光谱的半导体材料参数测量
被引量：3
- 1
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作者
李雅卓
李向军
洪治
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机构
中国计量学院太赫兹技术与应用研究所
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期1074-1076,1099,共4页
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基金
浙江省科技厅资金支持项目(2008C23018)
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文摘
根据太赫兹时域光谱系统(TDS)的测量原理,提出了一个考虑F-P效应的半导体材料参数测量方案。利用该方案可以在时域波形中,截取多个反射回峰,以提高材料参数提取的精确度。另外,考虑到多重反射对样品厚度的准确性要求较高,提出了一种有效的厚度优化方法。以GaAs为待测样品,利用上述方法精确提取了其折射率与消光系数谱。并采用返波振荡器(BWO)作为太赫兹辐射源对相同样品进行测量,有效的验证了使用TDS系统对半导体材料参数测量的准确性。
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关键词
太赫兹时域光谱技术
Fabry-Perot效应
光学材料参数
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Keywords
THz time-domain spectroscopy
Fabry-Perot effect
optical material parameter
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分类号
TN307
[电子电信—物理电子学]
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题名基于返波振荡器的光学材料参数高精度测量
被引量：2
- 2
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作者
李雅卓
尚艳丽
陈海滨
何金龙
洪治
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机构
中国计量学院太赫兹技术与应用研究所
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期2909-2912,共4页
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基金
国家自然科学基金(60576042)
中国计量学院校立自然科学基金(2006ZD01)资助
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文摘
以返波振荡器作为太赫兹波辐射源,搭建了一个基于Fabry-Perot干涉原理的光学材料参数测量系统.利用返波振荡器的可调谐特性,测量了样品的透射谱,并提出了精确提取材料光学参数的方案.该方案包括:基于模拟退火的光学材料介质常数寻优算法,针对样品厚度误差的厚度优化方法以及根据测量系统特点设计的峰谷权值优化.并以半导体砷化镓(GaAs)样品的光学材料参数测量为例,验证了材料光学参数提取方案的有效性.
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关键词
太赫兹光谱
返波振荡器
Fabry-Perot效应
光学材料参数
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Keywords
Terahertz spectroscopy
Backward-wave oscillator
Fabry-Perot effect
Optical material parameter
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分类号
O434.3
[机械工程—光学工程]
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题名国防科工委光学计量一级站
- 3
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2004年第3期F002-F004,共3页
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关键词
国防科工委光学计量一级站
红外辐射计量
激光参数计量
色度参数测量
西安市
光学材料参数计量
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分类号
TB96-24
[机械工程—光学工程]
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