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电子器件无损检测光学微扫描显微热成像系统 被引量：4
1
作者 高美静 范祥瑞 +1 位作者 顾海华 吴伟龙 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期779-784,共6页
为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段,完成电子电路的故障检测、失效分析和可靠性检测等,本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的光学微扫描显微热像仪。介绍了系统的工作原理、系统构成、工作... 为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段,完成电子电路的故障检测、失效分析和可靠性检测等,本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的光学微扫描显微热像仪。介绍了系统的工作原理、系统构成、工作过程,研究推导了系统噪声等效温差(NETD)和噪声等效辐射率差(NEED)模型,为系统的设计提供了理论指导,基于Matlab完成了整个系统的图像采集处理界面设计。实际图像采集和处理结果表明了本系统设计的合理性。随着产品化,本系统将会用到其他需要显微热分析的场合,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 光学工程 光学微扫描显微热像仪 噪声等效温差 噪声等效辐射率差 电子器件 故障检测
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