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干涉法测量器件表面特征缺陷的计算机模拟 被引量：1
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作者 林秋宝 《集美大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2003年第1期80-82,共3页
光学干涉方法测量器件表面微小缺陷是一种有效的实验方法.对于多样性结果的唯一性分析,借助于计算机模拟,得到特征缺陷的干涉图样的模拟结果.该结果适用于不同波长,缺陷尺度连续变化的微小情况.使用误差跟踪计算办法,可分辨的缺陷尺度... 光学干涉方法测量器件表面微小缺陷是一种有效的实验方法.对于多样性结果的唯一性分析,借助于计算机模拟,得到特征缺陷的干涉图样的模拟结果.该结果适用于不同波长,缺陷尺度连续变化的微小情况.使用误差跟踪计算办法,可分辨的缺陷尺度变化从1/2波长的10-1量级倍数到102量级倍数. 展开更多
关键词 表面特征缺陷 缺陷测量 光学干涉方法 计算机模拟 干涉图样 缺陷尺度变化
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