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一维光学位置传感器融合的非接触多自由度位姿测量系统
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作者 莫嘉嗣 陈健欢 +3 位作者 温远航 梁杰俊 陈秋烁 闫国琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期344-356,共13页
为实现机器人末端位姿多自由度实时测量反馈,融合一维光学位置传感器(Position Sensitive Detector,PSD)建立了平面3自由度非接触测量系统,对其测量原理,信号处理电路,环境光干扰去除和非线性标定算法等进行研究。根据PSD传感器测量特... 为实现机器人末端位姿多自由度实时测量反馈,融合一维光学位置传感器(Position Sensitive Detector,PSD)建立了平面3自由度非接触测量系统,对其测量原理,信号处理电路,环境光干扰去除和非线性标定算法等进行研究。根据PSD传感器测量特性和平面3自由度测量要求设计了4-PSD测量系统,并建立测量系统数学模型。研究了PSD传感器的信号处理电路,通过运放和除法器实现了单个PSD的信号处理,结合单片机与A/DC采样电路,实现了上位机的高频率信号采集。对4-PSD测量系统进行预实验,为消除环境光干扰,通过激光调制和数字滤波等方法进行验证。最后,通过激光位移传感器标定4-PSD测量系统,介绍了4-PSD的标定步骤(原点、转角、长度和二阶非线性标定),测定了系统标定后的误差分布。该测量系统具有较高的测量频率(50 Hz)。标定实验结果表明:标定后的4-PSD测量系统在70 mm×70 mm内,测量精度平均为0.49 mm,比标定前降低了90%的误差,能满足大部分高速、高精度机器人末端的非接触式实时测量反馈需求。 展开更多
关键词 光学位置传感器 位姿测量 实时反馈 测量标定
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具有数字输出和误差修正功能的集成光学位置灵敏探测器
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作者 袁凤 《现代计量测试》 1995年第1期57-60,共4页
具有数字输出和误差修正功能的集成光学位置灵敏探测器F.R.Rieolijk等1.前言集成光学位置灵敏探测器(PSD)在诸如准直和邻近测量、机器观测、弹道控制等方面已获得广泛应用。目前,配电仪表系统都由各类传感器和传动... 具有数字输出和误差修正功能的集成光学位置灵敏探测器F.R.Rieolijk等1.前言集成光学位置灵敏探测器(PSD)在诸如准直和邻近测量、机器观测、弹道控制等方面已获得广泛应用。目前,配电仪表系统都由各类传感器和传动装置组成。传感器的广泛应用使建造廉... 展开更多
关键词 集成光学 光学位置传感器 传感器 数字输出 误差
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声光固体光学位置传感器
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作者 史永基 史东军 史战军 《传感器世界》 2002年第11期29-31,13,共4页
本文描述了基于相位测量有源三角测量技术的声光(AO)固体光学位置传感器。这种传感器具有广阔的应用范围。给出了传感器的系统结构、工作原理、特点和3-D表面分布测量结果。
关键词 声光固体 光学位置传感器 有源三角测量技术 表面分布 AO位置传感器 干涉仪
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