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题名多孔硅研究的发展
被引量：5
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作者
王晓静
李清山
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机构
曲阜师范大学物理系
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出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2003年第6期421-427,共7页
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基金
山东省自然科学基金资助项目(Y2002A09)
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文摘
多年来,人们对多孔硅的制备方法、微结构特征及其化学成分、发光特性以及发光机制等方面做了深入的研究和探讨,文章对这几个方面的研究工作做了介绍,并对目前的研究状况和应用研究中存在的问题进行了分析。制备出均匀性好、发光效率高、性质稳定、机械强度较高的多孔硅是促进其实用化进程的基本途径。人们对多孔硅进行大量研究的目的主要在于获得硅发光集成装置,另外多孔硅的应用研究也体现在光电子器件、光学器件和传感器件3个方面。多孔硅在微电子学、晶片机械加工、生物工艺学等领域也具有潜在的应用价值。
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关键词
多孔硅
发光特性
发光机制
发光效率
光电子器件
电化学腐蚀法
光化学腐蚀法
晶体机构
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Keywords
porous silicon
preparation methods
photoluminescence mechanism
application
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分类号
O734.3
[理学—晶体学]
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题名一种重氮萘醌系光致抗蚀剂的制备与性质研究
被引量：1
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作者
李源纯
汪宇浩
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机构
北京师范大学化学学院
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出处
《山东工业技术》
2015年第18期226-227,共2页
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文摘
本实验采用2,3,4-三羟基二苯甲酮作为接枝化母体,与2,1,4-重氮萘醌磺酰氯进行酯化,合成感光化合物,得到产物1.46g,测得熔点为143℃,并测定其红外光谱,之后再制得酚醛树脂-重氮萘醌磺酸酯正性抗蚀剂,然后进行成像实验,发现最佳曝光时间为90s,最小分辨率为10μm.
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关键词
重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂正性光致抗蚀剂
光化学腐蚀法
合成
成像实验
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分类号
TQ421
[化学工程]
TB37
[一般工业技术—材料科学与工程]
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