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氩稀释无氨氮化硅薄膜的制备 被引量：3
1
作者 赵润 高鹏飞 +2 位作者 刘浩 李庆伟 何刚 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第5期345-350,共6页
氮化硅(SiNx)薄膜是一种广泛应用于半导体光电器件的介质膜,其性质的优劣直接影响器件的性能。使用SiH4与NH3作为反应气体制备出的氮化硅薄膜含有大量氢,应用于某些光电器件时,会导致器件工作时光电特性不稳定。针对此问题研发了一种使... 氮化硅(SiNx)薄膜是一种广泛应用于半导体光电器件的介质膜,其性质的优劣直接影响器件的性能。使用SiH4与NH3作为反应气体制备出的氮化硅薄膜含有大量氢,应用于某些光电器件时,会导致器件工作时光电特性不稳定。针对此问题研发了一种使用SiH4与N2作为反应气体,Ar作为稀释气体的工艺方法,即无氨工艺。使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,通过研究各工艺参数对薄膜性能的影响,制备出了一种含氢量低的氮化硅薄膜。通过傅里叶变换红外吸收谱(FTIR)测试了无氨工艺制备的氮化硅薄膜的含氢量,和使用SiH4与NH3作为反应气体制备出的氮化硅薄膜相比含氢量明显降低。 展开更多
关键词 氮化硅(SiNx)薄膜 等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 无氨工艺 氩稀释 傅里叶变换红外光谱分析法(ftir)
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精制生物油和柴油混合燃料的柴油机性能 被引量：2
2
作者 麻剑 谢阳 +1 位作者 罗麒元 许沧粟 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期632-637,共6页
在柴油机上通过试验研究精制生物质热裂解油和柴油混合燃料的动力性、经济性和排放性等性能,其中试验用精制生物质热裂解油是根据其主要成分的比例由分析纯的单质配制的模型油.结果表明,在不改变柴油机参数的情况下,模型油代用部分柴油... 在柴油机上通过试验研究精制生物质热裂解油和柴油混合燃料的动力性、经济性和排放性等性能,其中试验用精制生物质热裂解油是根据其主要成分的比例由分析纯的单质配制的模型油.结果表明,在不改变柴油机参数的情况下,模型油代用部分柴油导致发动机外特性输出功率略有下降,模型油体积掺混比10%与20%的混合燃料(分别简称为B10和B20)降幅分别约为3%与7%;经济性略有改善,B10和B20的当量油耗率在外特性工况中相对纯柴油的平均降幅约为7%;在中高负荷工况中,混合燃料的不完全燃烧产物如CO、HC等排放下降明显,其中外特性下NMHC排放只有纯柴油的25%左右;外特性下B20的排气不透光度相对B10下降约10%. 展开更多
关键词 生物质热裂解油 柴油机 傅里叶变换红外光谱分析仪(ftir) 排放
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活性炭纤维联合脱硫脱硝的机理分析 被引量：12
3
作者 杨辉 刘豪 +3 位作者 朱德力 王泽安 邱建荣 曾汉才 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第10期2495-2503,共9页
在小型固定床吸附试验台上开展了黏胶基活性炭纤维吸附SO2和NO的实验研究,考察样品在N2和O2气氛下单独吸附SO2和NO及NO吸附暂态反应与联合吸附的区别,结合傅里叶变换红外光谱分析(FTIR)、程序升温脱附试验(TPD)分析吸附前后活性炭纤维... 在小型固定床吸附试验台上开展了黏胶基活性炭纤维吸附SO2和NO的实验研究,考察样品在N2和O2气氛下单独吸附SO2和NO及NO吸附暂态反应与联合吸附的区别,结合傅里叶变换红外光谱分析(FTIR)、程序升温脱附试验(TPD)分析吸附前后活性炭纤维表面官能团的变化及吸附强度,以此探讨活性炭纤维联合脱硫脱硝的机理。结果表明:氮气气氛下吸附态SO2和NO被活性炭纤维表面含氧官能团氧化。O2气氛下吸附SO2实验过程中,活性炭纤维表面部分含氮官能团被O2氧化为亚硝基基团,此基团为SO2的吸附提供活性位;O2气氛下吸附NO实验过程中,吸附态NO被氧化为—NO3官能团;联合吸附过程中,吸附态的NO在O2气氛下被氧化为—NO2、—NO3基团,吸附态NO被氧化为—NO2和—NO3形式,SO2与此含氮官能团形成络合物,络合过程中—NO2、—NO3基团被还原并释放出NO和NO2气体,吸附态的SO2被氧化为高价氧化态S形式。 展开更多
关键词 活性炭纤维(ACF) 脱硫脱硝 傅里叶变换红外光谱分析(ftir) 程序升温脱附试验(TPD)
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