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基于像差修正的同轴度测量方法 被引量:4
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作者 吴国俊 闫亚东 +2 位作者 仓玉萍 吴玲玲 陈良益 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1712-1720,共9页
为了实现在同轴度测量中平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)两个量的同时测量,建立了基于激光准直性的光斑接收系统。该系统由接收物镜、分光棱镜和CCD构成。以物镜光轴、准直光束几何中心线和两个CCD接收面构成的三角关系进行两个偏差量... 为了实现在同轴度测量中平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)两个量的同时测量,建立了基于激光准直性的光斑接收系统。该系统由接收物镜、分光棱镜和CCD构成。以物镜光轴、准直光束几何中心线和两个CCD接收面构成的三角关系进行两个偏差量的计算;并通过对系统像差的分析,提出了显著降低物镜像差对测量结果影响的算法。理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1.6 cm的系统,平偏测量精度可达0.02 mm,角偏测量精度可达9.5″。因此,该系统可以满足较大范围内的旋转机械同轴度测量的需要。 展开更多
关键词 激光准直 接收物镜 光线追迹 平行偏差(平) 倾斜偏差()
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一种同时测量平行偏差、倾斜偏差的方法 被引量:3
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作者 吴国俊 吴玲玲 +2 位作者 闫亚东 仓玉萍 陈良益 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2098-2102,共5页
提出了一种仅由接收物镜和CCD构成的接收器,通过物镜位置的调整,可以同时完成平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)这两个参量的测量.通过对系统像差的分析,提出了可显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量... 提出了一种仅由接收物镜和CCD构成的接收器,通过物镜位置的调整,可以同时完成平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)这两个参量的测量.通过对系统像差的分析,提出了可显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1/1 .6 inch的系统,平偏测量准确度可达0 .02 mm,角偏测量准确度可达9 .5″. 展开更多
关键词 光学测量 光斑接收器 光线追迹 平行偏差(平) 倾斜偏差()
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