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MOEMS光开关动力学过程分析 被引量：2
1
作者 孙东明 董玮 +4 位作者 郭文滨 刘彩霞 王国东 徐宝琨 陈维友 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1448-1453,共6页
采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果.对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运... 采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果.对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运动过程,得到精确的驱动条件分析结果.本文从MOEMS倾斜下电极扭臂式光开关出发,介绍了动力学分析方法的过程.通过数值求解方程,得到器件的可动部分的运动速度等方面的结果,将其在不同驱动条件下的运动状态描述出来,从而达到确定光开关静电驱动条件的目的. 展开更多
关键词 MOEMS 动力学分析 角速度 倾斜下电极
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MOEMS光开关响应时间的分析计算 被引量：2
2
作者 孙东明 董玮 +5 位作者 刘彩霞 郭文滨 张歆东 纪平 徐宝琨 陈维友 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1671-1673,共3页
本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关 ,给出了响应时间的计算方法 ,得出开关时间的计算公式 .分析了器件几何参数对开关时间的影响 ,给出了开关时间随参数的变化趋势 .通过优化结构给出一组几何参数 ,保证了驱动电压在 10V左右 ,开关时... 本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关 ,给出了响应时间的计算方法 ,得出开关时间的计算公式 .分析了器件几何参数对开关时间的影响 ,给出了开关时间随参数的变化趋势 .通过优化结构给出一组几何参数 ,保证了驱动电压在 10V左右 ,开关时间可以达到 1至 2ms. 展开更多
关键词 MOEMS 扭臂结构 倾斜下电极 静电驱动 开关时间
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体硅MOEMS阵列光开关的制作 被引量：2
3
作者 董玮 梁静秋 +5 位作者 刘彩霞 张歆东 贾翠萍 周敬然 王立军 陈维友 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第8期573-575,587,共4页
设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列。具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直... 设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列。具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直,各单元的微镜面平行,反射镜面的尺寸较大等优点。对光开关的参数进行了测试,指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题。 展开更多
关键词 光开关阵列 微光电子机械系统 微反射镜 倾斜下电极
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MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应 被引量：1
4
作者 孙东明 董玮 +4 位作者 郭文滨 刘彩霞 王国东 徐宝琨 陈维友 《吉林大学学报（理学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期343-347,共5页
从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发, 求解雷诺方程, 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式. 通过求解动力学方程, 给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
关键词 空气压膜阻尼效应 微机械光电系统 雷诺方程 倾斜下电极 响应时间
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低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作 被引量：1
5
作者 董玮 阮圣平 +7 位作者 张歆东 刘彩霞 贾翠萍 潘建旋 张龙 孙东明 纪平 陈维友 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2003年第7期46-49,共4页
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2... 利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片上制作倾斜下电极结构 ,实验测得的 pull in电压为 1 3 2V ,几乎比平面下电极的 pull in电压降低一半。采用准直光纤耦合 ,开关的插入损耗小于 1 4dB ,串话小于 - 5 0dB。 展开更多
关键词 微机械 光开关 微反射镜 硅 静电驱动 扭臂结构 倾斜下电极 自对准V型糟 制作方法 全光网络
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光电-静电复合驱动器的驱动性能 被引量：1
6
作者 吕振 王新杰 +1 位作者 刘亚风 赵勇筌 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期178-185,共8页
基于镧改性锆钛酸铅陶瓷(PLZT)的光电效应,提出具有倾斜下电极的新型光电-静电复合驱动器,通过闭环控制仿真研究该驱动器的驱动性能.构建光照和光停阶段光电-静电复合驱动器的数学模型,对所构建的光生电压数学模型进行参数识别.建立光电... 基于镧改性锆钛酸铅陶瓷(PLZT)的光电效应,提出具有倾斜下电极的新型光电-静电复合驱动器,通过闭环控制仿真研究该驱动器的驱动性能.构建光照和光停阶段光电-静电复合驱动器的数学模型,对所构建的光生电压数学模型进行参数识别.建立光电-静电复合驱动器输出位移的闭环控制模型,对不同辐射照度下具有不同倾斜角下电极的驱动器进行位移闭环控制仿真分析.结果表明,当目标位移和辐射照度一致时,具有倾斜下电极结构的光电-静电复合驱动器输出位移的响应时间约为平行下电极结构的45%.光电-静电复合驱动器输出位移的响应时间与辐射照度和下电极倾斜角成正相关变化,输出位移的控制精度与辐射照度和下电极倾斜角成反相关变化. 展开更多
关键词 PLZT陶瓷 光电-静电 闭环控制 倾斜下电极 驱动器
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具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作 被引量：1
7
作者 董玮 阮圣平 +7 位作者 张歆东 刘彩霞 贾翠萍 潘建旋 张龙 孙东明 纪平 陈维友 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1196-1199,共4页
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系 ,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构 ,并通过倾斜一定角度的 (111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极 .理论分析和实验结果表明 ,倾斜下电极的 pull-in电压几乎比平面下电... 分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系 ,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构 ,并通过倾斜一定角度的 (111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极 .理论分析和实验结果表明 ,倾斜下电极的 pull-in电压几乎比平面下电极的 pull- in电压降低一半 . 展开更多
关键词 微机械 光开关 扭臂 倾斜下电极
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