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题名一种高精度快速激光修调方案设计
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作者
贾晨强
李文昌
阮为
刘剑
张天一
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机构
中国科学院半导体研究所固态光电信息技术实验室
中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室
中国科学院大学集成电路学院
中国科学院大学材料与光电研究中心
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出处
《半导体技术》
北大核心
2024年第2期171-177,共7页
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文摘
在激光修调过程中,激光的修调路径和控制策略是影响修调精度和修调速度的关键因素,而常规激光修调方案难以同时满足高精度和快速修调。因此,提出了一种高精度快速激光修调方案,使用“离散+连续”结构的金属薄膜电阻图形提高修调效率和可靠性;利用阶梯形的激光修调路径提升修调精度;采用动态测试步长的控制策略提高修调速度。采用上述方案对60个金属薄膜电阻样品进行激光修调,结果表明:修调精度可达0.004%,平均测试步长为2.53,验证了所提出的修调方案可有效提升修调精度和修调速度。进一步将该方案应用在200个温度传感器芯片的校准中,结果表明200个温度传感器芯片的测温误差均校准至±0.2℃以内,平均测试步长为6.29。
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关键词
激光修调
修调精度
修调速度
金属薄膜电阻
阶梯形修调路径
动态测试步长
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Keywords
laser trimming
trimming accuracy
trimming speed
metal film resistor
step cut trimming path
dynamic testing step
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TN43
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