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孔洞聚丙烯驻极体膜中空间电荷与孔洞击穿电荷的俘获特性 被引量:2
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作者 赵敏 安振连 +2 位作者 姚俊兰 解晨 夏钟福 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期482-487,共6页
对孔洞聚丙烯(PP)驻极体膜系统的研究结果表明:孔洞PP膜中空间电荷的俘获特性随注入的空间电荷量或试样表面电位而变化,注入的电荷量较少时空间电荷主要被俘获在表面深陷阱和近表面次深陷阱中,较多的注入电荷量时空间电荷在进一步填充表... 对孔洞聚丙烯(PP)驻极体膜系统的研究结果表明:孔洞PP膜中空间电荷的俘获特性随注入的空间电荷量或试样表面电位而变化,注入的电荷量较少时空间电荷主要被俘获在表面深陷阱和近表面次深陷阱中,较多的注入电荷量时空间电荷在进一步填充表层(表面和近表面)陷阱的同时,还将填充体内浅陷阱;这三类陷阱中心所对应的电荷脱阱温度分别约为160℃,138℃和92℃.而孔洞击穿电荷不仅被俘获在与试样表层空间电荷陷阱相似的孔洞表层陷阱中,还有相当的量穿过孔洞表层进入体内、成为浅阱俘获孔洞击穿电荷. 展开更多
关键词 孔洞聚丙烯膜 空间电荷 孔洞击穿电荷 俘获特性
原文传递
77KFowler-Nordheim电子注入和栅氧化层俘获特性研究
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作者 刘卫东 李志坚 刘理天 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第8期601-606,共6页
本文研究77K下薄栅NMOSFET在F-N均匀电子注入时栅氧化层对电荷的俘获特性.发现沟道区上方栅氧化层将俘获净正电荷,使阈值电压下降;而栅边缘氧化层对电子的俘获明显增强,并高于室温下的对应值,从而导致NMOSFET... 本文研究77K下薄栅NMOSFET在F-N均匀电子注入时栅氧化层对电荷的俘获特性.发现沟道区上方栅氧化层将俘获净正电荷,使阈值电压下降;而栅边缘氧化层对电子的俘获明显增强,并高于室温下的对应值,从而导致NMOSFET关态特性变差,沟道电阻增大,以及电流驱动能力的显著降低;提出了栅边缘氧化层增强电子俘获的深能级中性陷阱机制. 展开更多
关键词 NMOSFET 电子注入 栅氧化层 俘获特性 MOS器件
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