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等离子体浸没注入超低能注入掺杂研究
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作者 汪明刚 刘杰 +2 位作者 杨威风 李超波 夏洋 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期370-373,共4页
基于感应耦合等离子体(ICP)技术设计了一套用于在硅基片上制作形成超浅结的等离子体浸没注入(PIII)系统。该ICP PIII系统工作腔室为圆柱形,采用射频功率源,注入偏压源为一脉冲直流电压源,系统与Langmiur探针相连。探针诊断结果表明,该... 基于感应耦合等离子体(ICP)技术设计了一套用于在硅基片上制作形成超浅结的等离子体浸没注入(PIII)系统。该ICP PIII系统工作腔室为圆柱形,采用射频功率源,注入偏压源为一脉冲直流电压源,系统与Langmiur探针相连。探针诊断结果表明,该系统的等离子体离子密度达到1017m-3,离子密度径向均匀性达到3.53%。硼和磷的超低能注入试验的二次离子质谱测试结果表明:掺杂离子注入深度在10nm左右,最浅的注入深度为8.6nm(在注入离子密度为1018cm-3时);注入离子剂量达到了1015cm-2以上;掺杂离子浓度峰值在表面以下;注入陡峭度达到了2.5nm/decade。 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 浸没注入 低能注入 注入掺杂 ENERGY 离子密度 注入深度 系统工作 掺杂离子浓度 二次离子质谱 直流电压源 射频功率源 径向均匀性 诊断结果 探针 离子剂量 技术设计 硅基片上 测试结果 圆柱形
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大剂量Mn离子注入GaAs的性质 被引量:1
2
作者 宋书林 陈诺夫 +3 位作者 柴春林 尹志岗 杨少延 刘志凯 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期24-27,共4页
在室温条件下在半绝缘性GaAs衬底上进行了大剂量Mn离子的低能注入,并进行了不同条件的退火.借助于X射线衍射(XRD)和高分辨X射线衍射(HR-XRD)进行了结构分析,经过退火后生成的新相衍射峰增多,根据衬底(004)峰摇摆曲线分析结果退火后更多... 在室温条件下在半绝缘性GaAs衬底上进行了大剂量Mn离子的低能注入,并进行了不同条件的退火.借助于X射线衍射(XRD)和高分辨X射线衍射(HR-XRD)进行了结构分析,经过退火后生成的新相衍射峰增多,根据衬底(004)峰摇摆曲线分析结果退火后更多的Mn离子进入晶格.运用原子力显微镜分析了样品的表面,发现退火后突起的起伏度增加.磁性分析表明,退火样品的磁化强度增大. 展开更多
关键词 低能注入 砷化镓 X射线衍射 梯度磁强计
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离子注入技术现状与发展趋势 被引量:2
3
作者 本刊编辑部 《电子工业专用设备》 2009年第10期1-8,共8页
离子注入制程已成为器件设计的最前端工作,现在更被视为实现32nm和22nm晶体管制程的推动要素。器件漏电流、浅结面制作,器件尺寸缩小,以及急速增加成本的挑战,正在限制摩尔定律的延伸。针对32nm节点离子注入制程器件的工艺要求,介绍了... 离子注入制程已成为器件设计的最前端工作,现在更被视为实现32nm和22nm晶体管制程的推动要素。器件漏电流、浅结面制作,器件尺寸缩小,以及急速增加成本的挑战,正在限制摩尔定律的延伸。针对32nm节点离子注入制程器件的工艺要求,介绍了离子注入设备的发展方向。 展开更多
关键词 32 nm节点器件 漏电流控制 超浅结注入 大束流低能注入 单晶片注入 机械扫描
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低能离子注入对紫花苜蓿种子发芽及幼苗生理生化变化的影响 被引量:18
4
作者 吕杰 李冠 王新绘 《种子》 CSCD 北大核心 2004年第8期32-34,41,共4页
以紫花苜蓿新疆大叶苜蓿和陇东苜蓿为材料 ,研究不同剂量N+ 离子注入后对种子发芽及幼苗生理生化变化的影响。结果表明 ,注入剂量为 6× 10 16N+ /cm2 能提高两个品种种子的发芽势和发芽率 ,并且两个品种种子存活率剂量效应曲线呈... 以紫花苜蓿新疆大叶苜蓿和陇东苜蓿为材料 ,研究不同剂量N+ 离子注入后对种子发芽及幼苗生理生化变化的影响。结果表明 ,注入剂量为 6× 10 16N+ /cm2 能提高两个品种种子的发芽势和发芽率 ,并且两个品种种子存活率剂量效应曲线呈“马鞍型”。通过对发芽率的方差分析 ,得出N+ 离子注入后 ,品种间和剂量间差异显著 ,而品种与剂量互作效应间差异未达显著水平。同时不同剂量离子注入可不同程度提高过氧化物酶 (POD)、过氧化氢酶 (CAT)、超氧化物歧化酶 (SOD)活性。说明适宜N+ 离子注入可提高紫花苜蓿种子的活力 。 展开更多
关键词 低能离子注入 紫花苜蓿 种子发芽特性 幼苗 生理变化 生化变化 过氧化物酶 过氧化氢酶 超氧化物歧化酶
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低能离子注入技术在生物学中的研究和应用 被引量:13
5
作者 贾瀚超 张斓 周云龙 《生物学通报》 2007年第2期2-5,共4页
20年前,我国科学工作者率先开展了低能离子与生物体系相互作用的研究。如今,低能离子注入技术已在农业、花卉业以及发酵工程中广泛应用。对离子注入的概念、机理、应用和研究的主要成果及其前景作了简要介绍。
关键词 低能离子注入 生物学 应用
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低能离子注入麻黄种子生物效应初步研究 被引量:12
6
作者 甄卫军 孙月华 马凤云 《种子》 CSCD 北大核心 2003年第2期26-27,44,共3页
本文初步研究了离子束注入麻黄种子后的当代生物效应 ,研究表明 :离子注入对麻黄种子的生长起良好的生物效应。注入剂量为 4× 1 0 1 6 N+ / cm2 时 ,伊吾蓝麻黄种子发芽率最高为 76 % ,相对空白增长 4 3.4 % ;在注入剂量为 4×... 本文初步研究了离子束注入麻黄种子后的当代生物效应 ,研究表明 :离子注入对麻黄种子的生长起良好的生物效应。注入剂量为 4× 1 0 1 6 N+ / cm2 时 ,伊吾蓝麻黄种子发芽率最高为 76 % ,相对空白增长 4 3.4 % ;在注入剂量为 4× 1 0 1 6 N+ / cm2 ,伊吾蓝麻黄种子的发芽 3天时呼吸速率达 1 .1 4 0 mg/ g· h。这也表明发芽率高的剂量下 ,种子的呼吸速率增加 ,注入剂量为 1 2× 1 0 1 6 N+ / cm2 ,伊吾蓝麻黄种子的盆栽出土率最大为 2 2 .7%。 4× 1 0 1 6 N+ / cm2 剂量离子注入和硕蓝麻黄种子时 ,其盆栽出土率最大为 4 2 .3% ,比对照增加了 6 4 %。 展开更多
关键词 麻黄 低能离子注入 种子 生物效应 中药材
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果树诱变育种研究进展 被引量:12
7
作者 范建新 邓仁菊 李金强 《安徽农业科学》 CAS 北大核心 2008年第22期9455-9457,9598,共4页
综述了物理、化学和空间诱变的原理及其在果树上的应用研究进展。经过七十多年的发展,果树诱变的手段、诱变剂的选择、分离筛选和鉴定技术已经成熟并被广泛应用,果树诱变育种体系日趋完善,并获得很多优良性状或品种。采用γ射线辐射、... 综述了物理、化学和空间诱变的原理及其在果树上的应用研究进展。经过七十多年的发展,果树诱变的手段、诱变剂的选择、分离筛选和鉴定技术已经成熟并被广泛应用,果树诱变育种体系日趋完善,并获得很多优良性状或品种。采用γ射线辐射、低能离子注入、激光诱变、空间诱变及复合诱变对相应品种(系)进行系统的诱变研究必将会在果树育种研究中起到更加重要的作用。 展开更多
关键词 γ射线诱变 低能离子注入 激光诱变 化学诱变 空间诱变 复合诱变 果树
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离子注入水稻愈伤组织提高农杆菌转化效率的初步研究 被引量:7
8
作者 李红 吴丽芳 余增亮 《激光生物学报》 CAS CSCD 2000年第1期19-22,共4页
通过 GUS报告基因表达的组织化学染色分析 ,我们发现低能氮离子束注入水稻愈伤组织可显著提高根癌农杆菌介导转基因效率 ,这为克服单子叶植物对根癌农杆菌不敏感性、提高遗传转化效率的研究提供了一条新的途径。
关键词 低能离子注入 水稻 根癌农杆菌 遗传转化效率
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低能离子注入小麦种子胚内的射程分布 被引量:8
9
作者 卫增泉 袁世斌 +2 位作者 颉红梅 赵力民 毛淑红 《原子核物理评论》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期218-221,共4页
采用110keV56Fe1+离子束垂直注入小麦种胚后,将小麦沿腹面的纵沟掰开,形成剖面,将剖面水平朝上粘贴在金属铜托上,用扫描电镜在剖面上从胚表面向纵深进行点分析,测定不同深度上由Fe元素激发出的特征X射线强度,由此得到了该种离子注入小... 采用110keV56Fe1+离子束垂直注入小麦种胚后,将小麦沿腹面的纵沟掰开,形成剖面,将剖面水平朝上粘贴在金属铜托上,用扫描电镜在剖面上从胚表面向纵深进行点分析,测定不同深度上由Fe元素激发出的特征X射线强度,由此得到了该种离子注入小麦胚内的最大射程约5μm,最可几射程为0.935μm.并对这种低能离子注入作物种子能诱发突变的机理进行了详细讨论. 展开更多
关键词 低能离子注入 小麦 种子 射程分布 X射线能谱分析
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低能离子注入后小麦苗期损伤效应研究 被引量:11
10
作者 王卫东 闻捷 +2 位作者 苏明杰 秦广雍 霍裕平 《华北农学报》 CSCD 北大核心 2005年第2期80-83,共4页
以鉴54、豫农118及豫麦18号为材料,研究了不同剂量率、剂量离子注入对小麦幼苗生长的影响。结果表明,随着剂量率和剂量的增加小麦幼苗损伤程度逐渐加剧,具体表现在苗高降低、第一叶长变短。剂量率间差异显著,品种间有辐射敏感性差异。... 以鉴54、豫农118及豫麦18号为材料,研究了不同剂量率、剂量离子注入对小麦幼苗生长的影响。结果表明,随着剂量率和剂量的增加小麦幼苗损伤程度逐渐加剧,具体表现在苗高降低、第一叶长变短。剂量率间差异显著,品种间有辐射敏感性差异。另外苗期还发现了一些变异,主要表现为主叶脉失绿和形态畸形。离子束诱变的合适剂量在6×1017ions/cm2以上。 展开更多
关键词 低能离子注入 效应研究 苗期 敏感性差异 离子束诱变 剂量率 幼苗生长 损伤程度 小麦幼苗 差异显著 品种间 苗高 体表 畸形
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低能离子注入引起的植物种子微结构的变化 被引量:8
11
作者 陆挺 《物理》 CAS 北大核心 2002年第9期555-557,共3页
以植物干种子芸豆和花生为生物体材料 ,采用正电子湮没技术 (PAT)测定了该两类生物样品的正电子湮没寿命谱 (PAL) .测量结果表明 ,在芸豆和花生生物体内存在着大量微小的孔洞 ,孔洞的直径分别为 0 4 8nm和0 7nm .植物种子的这类特殊... 以植物干种子芸豆和花生为生物体材料 ,采用正电子湮没技术 (PAT)测定了该两类生物样品的正电子湮没寿命谱 (PAL) .测量结果表明 ,在芸豆和花生生物体内存在着大量微小的孔洞 ,孔洞的直径分别为 0 4 8nm和0 7nm .植物种子的这类特殊的微孔结构是低能离子注入生物效应机理的基础 .对注入 2 0 0keV低能V离子的花生样品也测量了它的PAL谱 ,并与未经离子注入的花生样品的PAL谱作了比较 . 展开更多
关键词 低能离子注入 微结构 正电子湮没 植物种子 离子注入生物效应机理 辐射育种
原文传递
低能重离子注入花生干种子深度-浓度分布的方向效应研究 被引量:9
12
作者 谢竞祎 周宏余 +5 位作者 王平 丁晓纪 刘志国 宋海 陆挺 朱光华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期2530-2533,共4页
用双光子激光扫描显微镜技术观测 2 0 0keVV+离子从不同方向注入花生干种子的深度 浓度分布 ,发现沿纵向和横向注入的离子在样品中的深度 浓度分布有显著差别 ,即分布具有方向效应 .
关键词 低能重离子注入 深度-浓度分布 方向效应 花生干种子 植物种子 遗传诱变
原文传递
低能离子束辐照氨基酸结构变化的傅立叶变换红外光谱法研究 被引量:5
13
作者 张冬梅 孙素琴 +2 位作者 马志龙 陈国强 崔福斋 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第4期213-218,共6页
利用傅立叶变换红外光谱(FTIR)法研究了30keV的N~+离子束辐照引起氨基酸结构的变化。结果表明:经相同剂量N~+离子束辐照后,天冬氨酸(Asp)和苯丙氨酸(Phe)的基团有相似的变化规律,即羧酸根离子(COO)的 ... 利用傅立叶变换红外光谱(FTIR)法研究了30keV的N~+离子束辐照引起氨基酸结构的变化。结果表明:经相同剂量N~+离子束辐照后,天冬氨酸(Asp)和苯丙氨酸(Phe)的基团有相似的变化规律,即羧酸根离子(COO)的 V_C=O伸缩振动(分别为1646cm^(-1)和1626cm^(-1))均增强, NH3~+的谱峰(分别主要为1517cm^(-1)和1560cm^(-1))强度均减弱。 Phe较Asp中的基因强度变化更明显。随注入剂量增加,Asp的各基团相对浓度呈规律性变化。同时对产生上述变化的原因进行了探讨,并对较高剂量辐照时Asp的分解产物进行了初步分析。 展开更多
关键词 低能离子注入 辐照效应 FTIR 辐射 氨基酸
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低能氮离子注入西瓜胚芽的存活率的初步研究 被引量:8
14
作者 尹若春 吴丽芳 +3 位作者 郭金华 黄群策 吴李君 余增亮 《激光生物学报》 CAS CSCD 2002年第3期207-211,共5页
以西瓜胚芽为材料 ,研究了低能氮离子注入植物活体组织的存活率和二甲亚砜 (DMSO)预处理对存活率的影响。结果表明 ,真空冰冻对存活率有一定影响 ,离子注入损伤是植物活组织在离子注入时存活率降低的主要原因 ;在能量为 2 5 ke V,总剂量... 以西瓜胚芽为材料 ,研究了低能氮离子注入植物活体组织的存活率和二甲亚砜 (DMSO)预处理对存活率的影响。结果表明 ,真空冰冻对存活率有一定影响 ,离子注入损伤是植物活组织在离子注入时存活率降低的主要原因 ;在能量为 2 5 ke V,总剂量为 3.9× 10 1 6ions/ cm2 ,脉冲剂量为 1.3× 10 1 4 ions/ cm2 的注入参数下 ,1%的 DMSO预处理 2 5~ 35分钟可以降低失水率并大大提高胚芽的存活率。由此讨论了进一步扩大低能离子注入的应用范围 ,以及在果树、花卉和无性繁殖的作物上进行诱变育种或遗传转化的可能性。 展开更多
关键词 低能氮离子注入 西瓜 胚芽 存活率
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离子束注入胸腺嘧啶的紫外、红外效应研究 被引量:3
15
作者 谷运红 秦广雍 +3 位作者 霍裕平 卞坡 王卫东 苏明杰 《光散射学报》 2001年第1期39-44,共6页
本文中我们利用紫外、红外光谱等分析手段获取低能离子束生物诱变的信息。发现用30 ke V低能氮离子和氩离子在 0 - 2× 1 0 16 ions/cm2注入剂量范围内注入胸腺嘧啶 ,其残存率随剂量的变化趋势均出现了不同于γ射线等辐照时的线性... 本文中我们利用紫外、红外光谱等分析手段获取低能离子束生物诱变的信息。发现用30 ke V低能氮离子和氩离子在 0 - 2× 1 0 16 ions/cm2注入剂量范围内注入胸腺嘧啶 ,其残存率随剂量的变化趋势均出现了不同于γ射线等辐照时的线性或肩型曲线 ,而呈现一种新的变化趋势——“马鞍型”曲线 ,表明参与结构的质量沉积不足以解释“马鞍型”曲线。红外光谱的分析结果表明在离子束注入过程中胸腺嘧啶分子确实存在结构上的修复。研究结果表明紫外、红外光谱可以给出离子束注入前后生物分子结构突变或重组、分子结构突变与注入剂量的关系以及分子的修复等信息。 展开更多
关键词 低能离子束注入 胸腺嘧啶 “马鞍型”曲线 紫外光谱 红外光谱 生物诱变 注入剂量 分子修复 分子结构
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低能离子注入过程中真空和注入对小麦过氧化物酶同工酶的影响 被引量:8
16
作者 谷运红 秦广雍 霍裕平 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期441-444,共4页
本文报道了真空处理和低能离子束注入处理对小麦过氧化物酶同工酶的影响。研究发现,经真空处理后的样品,其酶活随着培养时间的延长呈增加的趋势,与对照样保持一致;而且相同取样时间不同样品之间的酶活性随真空时间的延长呈现略为增加的... 本文报道了真空处理和低能离子束注入处理对小麦过氧化物酶同工酶的影响。研究发现,经真空处理后的样品,其酶活随着培养时间的延长呈增加的趋势,与对照样保持一致;而且相同取样时间不同样品之间的酶活性随真空时间的延长呈现略为增加的趋势;各剂量的N+注入处理后,种子的发芽率未受影响,而剂量较大时种子的芽长增长速度受到了明显的抑制;低剂量处理能刺激过氧化物酶酶活升高,而较高剂量处理则使酶活降低。 展开更多
关键词 真空 低能离子注入 小麦 过氧化物酶同工酶 活性
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低能离子注入对大豆种子吸胀冷害的影响 被引量:7
17
作者 谷运红 苏明杰 秦广雍 《激光生物学报》 CAS CSCD 2003年第5期364-367,共4页
本文分别从浸种液中无机离子的浓度、可溶性糖的浓度以及溶液的pH值,研究了低能离子注入对大豆种子吸胀冷害的影响。结果发现一定剂量的氮离子注入大豆种子后,其无机离子、可溶性糖、酸性物质的泄漏量均有低于对照组的趋势,而且其长势... 本文分别从浸种液中无机离子的浓度、可溶性糖的浓度以及溶液的pH值,研究了低能离子注入对大豆种子吸胀冷害的影响。结果发现一定剂量的氮离子注入大豆种子后,其无机离子、可溶性糖、酸性物质的泄漏量均有低于对照组的趋势,而且其长势好于对照组。说明离子注入能在一定程度上减轻大豆遭受的吸胀冷害。 展开更多
关键词 低能离子注入 大豆 吸胀冷害
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H^(+)、N^(+)、Ar^(+)注入对啤酒酵母存活率的影响及SEM和ESR研究 被引量:6
18
作者 邓玉清 王纪 +1 位作者 蒋海波 余增亮 《激光生物学报》 CAS CSCD 2001年第3期170-173,共4页
研究了H+ 、N+ 、Ar+ 低能离子注入酵母菌剂量对存活率的影响 ;离子注入对酵母细胞的刻蚀损伤作用和离子注入后对细胞内自由基产生的影响。结果表明 :酵母的存活率随着注入剂量的增加而减少 ,离子注入对其存活率影响程度是H+ >N+ >... 研究了H+ 、N+ 、Ar+ 低能离子注入酵母菌剂量对存活率的影响 ;离子注入对酵母细胞的刻蚀损伤作用和离子注入后对细胞内自由基产生的影响。结果表明 :酵母的存活率随着注入剂量的增加而减少 ,离子注入对其存活率影响程度是H+ >N+ >Ar+ ,其半致死剂量分别是 2 .1× 10 1 4 ions cm2 ,5 .5× 10 1 4 ions cm2 ,6 .8× 10 1 4 ions cm2 。随着离子注入剂量的增加对酵母细胞的损伤和刻蚀作用逐渐增大 ,刻蚀损伤作用具有不均匀性 ;离子注入后酵母细胞内自由基产额明显增加 ,随着注入剂量的增大 ,自由基的强度也增大 。 展开更多
关键词 低能离子注入 存活率 刻蚀损伤 啤酒酵母 SEM ESR
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低能离子注入介导外源DNA大分子转化的研究及应用 被引量:8
19
作者 黄国伟 毛培宏 +3 位作者 金湘 吕杰 凌海秋 武宝山 《生物技术》 CAS CSCD 2008年第6期86-89,共4页
低能离子注入介导外源DNA大分子转化作为一种新的遗传育种方法,被广泛应用于植物和微生物的品质改良及种质创新,并取得显著成果。该文简述了低能离子注入介导外源DNA大分子转化的理论研究进展,总结了该方法在植物和微生物方面的研究及... 低能离子注入介导外源DNA大分子转化作为一种新的遗传育种方法,被广泛应用于植物和微生物的品质改良及种质创新,并取得显著成果。该文简述了低能离子注入介导外源DNA大分子转化的理论研究进展,总结了该方法在植物和微生物方面的研究及应用概况,并就其发展前景作了展望。 展开更多
关键词 低能离子注入 介导 外源DNA大分子 转化 遗传育种
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低能离子注入法诱变微生物育种 被引量:5
20
作者 吴定 路桂红 《中国酿造》 CAS 北大核心 2002年第C00期31-32,37,共3页
低能离子注入诱变育种技术刚介入微生物品种改良,低能离子通过能量沉积,动量传递,离子注入及电荷交换等引起生物细胞内遗传物质发生非致死性,局部突变,突变率达10%-20%,回复突变率极低。该诱变育种技术操作简单,成本低廉,不... 低能离子注入诱变育种技术刚介入微生物品种改良,低能离子通过能量沉积,动量传递,离子注入及电荷交换等引起生物细胞内遗传物质发生非致死性,局部突变,突变率达10%-20%,回复突变率极低。该诱变育种技术操作简单,成本低廉,不污染环境。经离子注入诱变,糖化菌的糖化酶活力提高5000单位;产利福霉菌素的发酵水平提高40%,产VC菌的摩尔转化率达97.5%;产VD菌的发酵水平提高50%;产红霉素菌的产量提高20%。 展开更多
关键词 诱变育种 微生物 低能离子注入 品种改良
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