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六氟化硫气体中微量杂质分析的研究 被引量:7
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作者 邱惠珍 周卉 +2 位作者 孙叶青 薛伟明 杨遂平 《低温与特气》 CAS 2010年第2期26-29,共4页
用两种气相色谱法测定了六氟化硫气体中微量杂质:Air、CF4、C3F8、SO2F2、SOF2、S2F10O,比较了热导—火焰光度串联法与氦离子色谱法的分析结果,相对误差小于3.0%,并对分析结果中的问题进行了讨论。
关键词 氟化硫分析 色谱法 低硫氟化物 SOF SOF SFO
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