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题名一种低温制备的高灵敏度MEMS电容传声器（英文）
被引量：1
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作者
张忠山
汤亮
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机构
中国科学院声学研究所
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期826-829,共4页
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文摘
MEMS传声器是将声音信号转换成电信号的传感器。目前,MEMS传声器的研究主要涉及MEMS电容传声器和MEMS压电传声器压阻传感器2种。与其它类型的MEMS传声器相比,MEMS电容传声器具有高灵敏度、高信噪比、频率响应平坦、低温度系数等突出的优点,被广泛使用在便携式设备、多媒体系统、助听器、信息采集等方面。设计和制备了一种高灵敏度的MEMS电容传声器,而且制备器件的工艺温度最高为300℃,可以兼容IC工艺。在本文,利用牺牲层的方法实现圆形振动薄膜,避免了方形薄膜存在的应力集中问题,并克服了干法制备圆形薄膜成本高的问题。基于聚酰亚胺材料,优化成膜工艺参数,实现低应力的圆形振动薄膜。通过设计防粘连结构,避免器件释放干燥过程中出现的薄膜粘连问题。根据振动膜应力为5 MPa,半径为2.5 mm,厚度为1μm,电极半径为380μm,间隙为1μm的设计参数进行理论计算,该器件的电容在1 Pa声压下的变化量为千分之一。与市场流通的MEMS传声器相比,高出约一个数量级,可被用于远场拾音,从信噪比极低的环境中拾取关键的声音信息。
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关键词
微机电系统
电容传声器
低应力聚酰亚胺薄膜
高灵敏度
远场拾音
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Keywords
MEMS
condenser microphone
low stress polyimide membrane
high sensitivity
far-field pickup
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分类号
TP393
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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