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SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型
被引量：
3
1
作者
侯彦青
聂陟枫
+4 位作者
谢刚
马文会
戴永年
俞小花
宋东明
《中南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期3627-3634,共8页
提出SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型(TKM),同时考虑传递过程和表面化学反应动力学对硅沉积速率的影响。研究硅沉积过程受表面化学反应速率限制和传递速率限制的边界条件,并且研究表面化学反应速率受氢气浓度限制或...
提出SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型(TKM),同时考虑传递过程和表面化学反应动力学对硅沉积速率的影响。研究硅沉积过程受表面化学反应速率限制和传递速率限制的边界条件,并且研究表面化学反应速率受氢气浓度限制或SiHCl_3(TCS)浓度限制的边界条件,提出同时受氢气浓度限制和TCS浓度限制的边界条件。为了验证TKM的有效性,应用该模型计算硅棒长度为2 m、硅棒直径为10 cm、气流速度为0.67 m/s、硅棒表面温度为1 398 K、常压(0.1 MPa)条件下,不同H_2/SiHCl_3配比下的硅沉积速率。研究结果表明:通过TKM的计算结果与Habuka所测得的实验数据比较,相对误差为3.6%(小于10%),表明该模型准确可靠。
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关键词
传递
-
动力学模型
多晶硅
化学气相沉积
硅沉积速率
传递
现象
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职称材料
题名
SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型
被引量：
3
1
作者
侯彦青
聂陟枫
谢刚
马文会
戴永年
俞小花
宋东明
机构
昆明理工大学省部共建复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室
昆明理工大学冶金与能源工程学院
昆明冶金研究院
出处
《中南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期3627-3634,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(21566015)
云南省应用基础研究资助项目(2015FB126)
云南省人才培养基金资助项目(kksy201352109)~~
文摘
提出SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型(TKM),同时考虑传递过程和表面化学反应动力学对硅沉积速率的影响。研究硅沉积过程受表面化学反应速率限制和传递速率限制的边界条件,并且研究表面化学反应速率受氢气浓度限制或SiHCl_3(TCS)浓度限制的边界条件,提出同时受氢气浓度限制和TCS浓度限制的边界条件。为了验证TKM的有效性,应用该模型计算硅棒长度为2 m、硅棒直径为10 cm、气流速度为0.67 m/s、硅棒表面温度为1 398 K、常压(0.1 MPa)条件下,不同H_2/SiHCl_3配比下的硅沉积速率。研究结果表明:通过TKM的计算结果与Habuka所测得的实验数据比较,相对误差为3.6%(小于10%),表明该模型准确可靠。
关键词
传递
-
动力学模型
多晶硅
化学气相沉积
硅沉积速率
传递
现象
Keywords
transport-kinetic model
polysilicon
chemical vapor deposition
silicon deposition rate
transport phenomena
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型
侯彦青
聂陟枫
谢刚
马文会
戴永年
俞小花
宋东明
《中南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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