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原子制造与原子微系统:A2P与强约束集成微系统技术的结合 被引量：4
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作者 李沫 李倩 张健 《太赫兹科学与电子信息学报》 2016年第5期793-799,共7页
介绍了国外从原子到产品(A2P)研究,阐述了强约束集成微系统技术的微观架构及其两"微"内涵。在此基础上,将A2P与强约束集成微系统理念相结合,提出了原子制造和原子微系统概念,并初步分析了其科学技术框架体系。我们认为,原子... 介绍了国外从原子到产品(A2P)研究,阐述了强约束集成微系统技术的微观架构及其两"微"内涵。在此基础上,将A2P与强约束集成微系统理念相结合,提出了原子制造和原子微系统概念,并初步分析了其科学技术框架体系。我们认为,原子制造和原子微系统技术是从"材料到系统"的集成微系统技术向原子层次的进一步延伸和发展,主要包含如下内涵:a)研究如何开发先进工艺,跨越原子尺度到宏观尺度的制造鸿沟,使得从原子出发集成定制的宏观尺度产品或系统能够保持优良的"原子级"特性;b)研究原子层级微观特性在向宏观产品传递过程中的变化的物理过程,讨论如何实现原子层次优良特性的选择性保留以及新特性开发,进而实现系统更强功能及更高性能。原子制造和原子微系统技术具有很强的前沿性、颠覆性,有望为后摩尔定律时代提供一条全新的技术途径,引发一场新的重大技术革命。 展开更多
关键词 从原子到产品 强约束集成微系统 微观架构 原子制造 原子微系统
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